多通道离子源产生装置的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种多通道离子源产生装置，包括：热电子发生器以及与热电子发生器相连通的电离腔室，所述热电子发生器能产生并输送热电子至电离腔室，所述电离腔室侧壁设置有多个独立的进气通道以及与进气通道一一对应的射出通道，经所述热电子发生器产生的热电子或者经所述电离腔室产生的离子能经多个所述射出通道射出。

技术研发人员：朱岩;王文宝;周敏;李军旗
受保护的技术使用者：基准精密工业（惠州）有限公司
技术研发日：2018.12.28
技术公布日：2019.05.21