1.一种气锁，包括多个用于承载晶圆的支撑柱，其特征在于，还包括控制器、以及设置于每一支撑柱表面的第一传感器；所述第一传感器，连接所述控制器，用于检测与其对应的支撑柱是否承载晶圆并将检测结果传输至所述控制器；所述控制器，用于判断是否全部支撑柱均承载晶圆，若否，则对气锁及与其连接的大气传送模组和/或真空传送模组进行停机处理。
2.根据权利要求1所述的气锁，其特征在于，所述气锁还包括支撑台；所述支撑柱的底面连接所述支撑台，且所述第一传感器覆盖于所述支撑柱顶面。
3.根据权利要求2所述的气锁，其特征在于，所述第一传感器为重力传感器。
4.根据权利要求3所述的气锁，其特征在于，多个支撑柱包括三个支撑柱，且每一支撑柱的顶面粘附一重力传感器。
5.根据权利要求2所述的气锁，其特征在于，还包括设置于所述支撑台表面的多个第二传感器；所述第二传感器，连接所述控制器，用于检测所述晶圆在所述气锁中的位置信息并传输至所述控制器；所述控制器，用于判断所述晶圆在所述气锁中的位置是否偏离预设位置，若是，则对气锁及与其连接的大气传送模组和/或真空传送模组进行停机处理。
6.根据权利要求5所述的气锁，其特征在于，多个第二传感器包括四个第二传感器，且四个第二传感器环绕多个支撑柱外围设置。
7.根据权利要求6所述的气锁，其特征在于，所述第二传感器为激光传感器。
8.一种晶圆传送装置，其特征在于，包括如权利要求1-7中任一项所述的气锁。