一种承载装置的制作方法

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种承载装置。

背景技术：

随着集成电路的半导体元件的积集度日益增加，相对的制程的精确度就显得格外重要。因为一旦制程过程中发生些微的错误或污染，就可能会造成制程的失败，导致晶圆的毁损或报废，因而耗费大量成本。在整个半导体制造设备中，在不同晶圆处理工具或设备的装载端口之间通常通过晶圆载体来分批地传送和存储多个晶圆。这种工具通常执行多种使用在IC芯片制造中的工艺，如光刻、蚀刻、材料/膜沉积、固化、退火、检查或其他工艺。一种这种晶圆载体是前端开启式晶圆传送盒(FOUP，front-opening-unified-pod)，这种晶圆载体是被设计成在受控环境下持有多个尺寸在300mm至450mm范围内的晶圆的塑料壳体。通常，每个晶圆载体均持有大约25个晶圆。各个晶圆均垂直地堆叠在FOUP中且存储在具有多个分离的晶圆架或槽的晶圆支撑框架中。

目前，通常根据人为判定在承载装置上FOUP的工作状态，并根据人为判定结果将FOUP从承载装置上搬运下来，以进行后续制程。而人为判断无法避免发生操作人员误拔FOUP事件，造成停机，同时FOUP里面的晶圆在FOUP被强力抱走的过程中极有可能与周围处于伸出状态的机械手臂发生撞击造成晶圆破碎和机械手臂变形。

针对上述问题，本领域技术人员一直在寻找一种行之有效的方法以减少这种人员误操作的事件发生。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种承载装置，以减少操作人员误拔FOUP的情况发生，避免因此产生的晶圆报废和周围机械手臂损坏的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种承载装置，用于承载承载晶圆的载体，所述承载装置包括：载物台、挡板、感测部件及调节部件，所述挡板与所述调节部件连接，并且所述挡板与所述载物台的载物面构成预定角度；所述感测部件与所述调节部件电连接，所述感测部件感测所述载物台上承载晶圆的载体的情况，并将感测结果传递给所述调节部件；所述调节部件根据感测结果调节所述挡板，以改变所述预定角度。

可选的，在所述的承载装置中，所述挡板与所述载物台旋转连接。

可选的，在所述的承载装置中，所述预定角度的调节范围为0°～270°。

可选的，在所述的承载装置中，所述载物台上承载晶圆的载体的情况包括：未完成工艺流程和已完成工艺流程；其中，

未完成工艺流程时，经所述调节部件根据感测结果调节所述挡板后的预定角度为90°；

已完成工艺流程时，经所述调节部件根据感测结果调节所述挡板后的预定角度为0°。

可选的，在所述的承载装置中，所述调节部件包括马达和电磁阀，所述马达驱动所述挡板移动位置；所述电磁阀接收所述感测部件感测输出的电信号，所述电信号承载有所述载物台上承载晶圆的载体的工作情况的信息。

可选的，在所述的承载装置中，还包括：夹持部件，设置于所述载物台上。

可选的，在所述的承载装置中，所述夹持部件包括两个夹子，所述载物台处于两个夹子之间。

可选的，在所述的承载装置中，还包括：万向轮，设置于所述载物台的底面上。

可选的，在所述的承载装置中，其特征在于，所述承载晶圆的载体为前端开启式晶圆传送盒。

可选的，在所述的承载装置中，所述挡板为金属挡板或具有彩色标记的挡板。

在本实用新型所提供的承载装置中，所述承载装置包括：载物台、挡板、感测部件及调节部件，所述挡板与所述调节部件连接，并且所述挡板与所述载物台的载物面构成预定角度；所述感测部件感测所述载物台上承载晶圆的载体的工作情况，并将感测结果传递给所述调节部件；所述调节部件根据感测结果调节所述挡板，以改变所述预定角度。基于本实用新型的承载装置，可以根据载物台上承载晶圆的载体的工作情况调节所述挡板，以挡板作为承载晶圆的载体是否完成工作的标识，让操作人员更直观清楚地了解当前承载装置上面各个承载晶圆的载体的工作状态，减少错误搬弄承载晶圆的载体情况的发生，从而保障产品的正常生产。

附图说明

图1是本实用新型中承载装置的结构示意图。

图中：1-承载装置；10-载物台；100-载物面；11-挡板；12-感测部件；13-调节部件；2-承载晶圆的载体。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的承载装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

请参考图1，其为本实用新型实施例的承载装置的结构示意图，所述承载装置用于承载晶圆的载体。如图1所示，所述承载装置1包括：载物台10、挡板11、感测部件12及调节部件13，所述挡板11与所述调节部件13连接，并且所述挡板11与所述载物台10的载物面100构成预定角度θ；所述感测部件12与所述调节部件13电连接，所述感测部件12感测所述载物台10上承载晶圆的载体2的情况，并将感测结果传递给所述调节部件13；所述调节部件13根据感测结果调节所述挡板11，以改变所述预定角度。其中，所述承载晶圆的载体2可以为前端开启式晶圆传送盒，也可以为其他承载晶圆的装置，此处不做过多限制。较优的，所述调节部件13设置于所述载物台10中，以降低承载装置1的空间体积；所述感测部件12可以设置于载物台上，也可以设置于承载装置的其他位置，只要其设置位置可以便于感测到载物台10上承载晶圆的载体2的情况即可。

在本实施例中，所述挡板11与所述载物台10旋转连接；所述预定角度的调节范围为0°～270°，所述挡板为金属挡板。为了较为明确挡板存在的意义，可以在挡板黏贴或涂覆有彩色标记以警示或提醒操作人员；此外，还可以将挡板中设置有LED显示屏，通过LED显示屏加载循环播放的文字，更为直观清楚的提醒操作人员承载装置上面各个承载晶圆的载体的工作状态。

所述载物台10上承载晶圆的载体2的情况包括：未完成工艺流程和已完成工艺流程；其中，未完成工艺流程时，经所述调节部件13根据感测结果调节所述挡板11后的预定角度θ为90°，此时挡板11垂直于载物台10的载物面100，表征对应于该挡板11位置处的承载晶圆的载体未完成工艺流程，请勿对其进行搬运等人工操作；已完成工艺流程时，经所述调节部件13根据感测结果调节所述挡板11后的预定角度θ为0°，此时挡板11平行于载物台10的载物面100，表征对应于该挡板11位置处的承载晶圆的载体已完成工艺流程，可以对其进行搬运等人工操作。

具体的，所述调节部件13包括马达和电磁阀，所述马达驱动所述挡板11移动位置；所述电磁阀接收所述感测部件12感测输出的电信号，所述电信号承载有所述载物台10上承载晶圆的载体的工作情况的信息。

进一步地，承载装置还包括夹持部件和万向轮，所述夹持部件设置于所述载物台10上；所述万向轮设置于所述载物台10的底面上。优选的，所述夹持部件包括两个夹子，所述载物台10处于两个夹子之间。

本实用新型的承载装置应用的原理：

参照图1，当承载装置上承载有承载晶圆的载体时，感测部件12感测所述载物台10上承载晶圆的载体的情况，如感测的结果为：当前载物台10上承载晶圆的载体未完成工艺流程时，将挡板11与载物面100之间的夹角(即预设角度)调节为90°，从而使得挡板11垂直于载物面100，起到标识作用；如感测的结果为：当前载物台10上承载晶圆的载体已完成工艺流程时，将挡板11与载物面100之间的夹角(即预设角度θ)调节为0°，从而使得挡板11平行于载物面100，表征可以对承载晶圆的载体执行人工搬运等操作。

综上，在本实用新型所提供的承载装置中，所述承载装置包括：载物台、挡板、感测部件及调节部件，所述挡板与所述调节部件连接，并且所述挡板与所述载物台的载物面构成预定角度；所述感测部件感测所述载物台上承载晶圆的载体的工作情况，并将感测结果传递给所述调节部件；所述调节部件根据感测结果调节所述挡板，以改变所述预定角度。基于本实用新型的承载装置，可以根据载物台上承载晶圆的载体的工作情况调节所述挡板，以挡板作为承载晶圆的载体是否完成工作的标识，让操作人员更直观清楚地了解当前承载装置上面各个承载晶圆的载体的工作状态，减少错误搬弄承载晶圆的载体情况的发生，从而保障产品的正常生产。

显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。