芯片粘贴设备芯片吸取真空系统的制作方法

本发明涉及半导体领域，特别涉及芯片粘贴设备芯片吸取真空系统。

背景技术：

在芯片粘贴设备上，需要真空系统对晶圆上的芯片进行吸取,设备原有的真空系统是通过真空发生器产生真空，并通过电磁阀控制真空和压缩空气的通断，长时间的不间断使用，导致了真空发生器部件异常、老化而频繁报警，这样在芯片吸取过程中就会发生芯片丢失等品质问题和设备停机。

技术实现要素：
本发明提供芯片粘贴设备芯片吸取真空系统，对芯片吸取真空系统进行改造和设计，使得芯片吸取真空系统的寿命延长并减少备件更换的费用，减少品质问题发生和设备停机，为了实现上述目的，采用以下技术方案：包括：电磁阀、真空压力传感器、外接真空装置、控制板Ⅰ、芯片吸取装置、控制板Ⅱ，电磁阀通过导线与控制板Ⅰ电连接，电磁阀的入口通过真空管路与外接真空装置连接，电磁阀的出口通过真空管路与芯片吸取装置连接，位于芯片吸取装置与电磁阀之间的真空管路上设置有真空压力传感器，用于实时检测真空管路内的真空气体的压力值，所述真空压力传感器通过导线与控制板Ⅱ连接，用于将压力值反馈给控制板Ⅱ。

优选的，还包括有报警装置，所述报警装置可以为扬声器，也可以为灯光报警器，所述报警装置通过导线连接在控制板Ⅱ的I/O引脚处。

优选的，还包括有24v的电源，所述电源通过电源线与真空压力传感器连接，提供其工作电压。

优选的，控制板Ⅰ可以为设备内部的控制板，也可以为外设的独立的控制板，如51最小开发板。

优选的，控制板Ⅱ可以为设备内部的控制板，也可以为外设的独立的控制板，如51最小开发板。

优选的，控制板Ⅰ的I/O引脚与控制板Ⅱ的I/O引脚之间也通过导线连接，用于获取对方的工作状态。

优选的，所述真空压力表传感器采用秒德MPS-R7C-AG-XE。

本发明的有益效果：本专利申请通过使用外接真空管路并使用新型号电磁阀，利用真空压力传感器进行真空管路中气体压力值的检测，压力异常时，控制板发出报警指令给报警器，且可以实时控制电磁阀的停止，使得芯片吸取真空系统的寿命延长并减少备件更换的费用，减少品质问题发生和设备停机。

附图说明

图1为本发明关于本专利申请的控制原理图；

图2为本专利申请的控制器的逻辑时序图；

图3位本专利申请的又一实施例的控制原理图；

1、电磁阀；2、真空压力传感器；3、外接真空装置；4、真空管路； 5、控制板Ⅰ；6、导线；7、芯片吸取装置；8、电源；9、控制板Ⅱ；10、报警器；11、继电器。

具体实施方式

由图1所示可知，本专利提供芯片粘贴设备芯片吸取真空系统，包括：电磁阀1、真空压力传感器2、外接真空装置3、控制板Ⅰ5、芯片吸取装置7、控制板Ⅱ9，电磁阀1通过导线6与控制板Ⅰ5电连接，电磁阀1的入口通过真空管路4与外接真空装置3连接，电磁阀 1的出口通过真空管路4与芯片吸取装置7连接，位于芯片吸取装置 7与电磁阀1之间的真空管路上设置有真空压力传感器2，用于实时检测真空管路内的真空气体的压力值，所述真空压力传感器2通过导线6与控制板Ⅱ9连接，用于将压力值反馈给控制板Ⅱ9。

优选的，还包括有报警装置10，所述报警装置10可以为扬声器，也可以为灯光报警器，所述报警装置通过导线6连接在控制板Ⅱ9的 I/O引脚处。

优选的，还包括有24v的电源8，所述电源8通过电源线与真空压力传感器2连接，提供其工作电压。

优选的，控制板Ⅰ5可以为设备内部的控制板，也可以为外设的独立的控制板，如51最小开发板。

优选的，控制板Ⅱ9可以为设备内部的控制板，也可以为外设的独立的控制板，如51最小开发板。

优选的，控制板Ⅰ5的I/O引脚与控制板Ⅱ9的I/O引脚之间也通过导线连接，用于获取对方的工作状态。

优选的，所述真空压力表传感器1采用秒德MPS-R7C-AG-XE。

采用上述结构，外接真空接口3连接到电磁阀1的气管接口入口处上，通过控制板Ⅰ5来控制电磁阀1的通断，真空管路4上安装真空压力传感器2，其管道内的压力值被真空压力传感器2采集并反馈到控制板Ⅱ9上，若真空压力值值异常，控制板Ⅱ9发送指令给报警器10报警，并发送异常指令给控制板Ⅰ5来控制电磁阀1的通断。

在正常压力值是，真空管路4经过真空压力传感器2后连接到芯片吸取装置7上，真空传送到芯片吸取装置上进行使用。

图2所示，控制板Ⅰ5发送指令控制电磁阀1开启，且真空压力传感器2通电等待工作；真空压力传感器2正常工作对真空管路4中的压力进行实时检测并将检测值反馈给控制板Ⅱ9；控制板Ⅰ5停止发送电磁阀1的工作指令时，真空压力传感器2关闭。

图3所示，所述控制板Ⅰ5还可以利用继电器11替代，继电器 11通过导线6与电源4连接，且继电器11信号输入端与控制板Ⅱ9I/O 引脚，继电器11的输出端与电磁阀1连接，采用该结构的用意是：通过一个开发板进行电磁阀1的启停控制、真空管路4内压力值的接收以及报警器的控制。

优选的，所述继电器2选用德力西DC 24V relay。

上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本专利申请的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本专利申请所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本专利请的权利要求所涵盖。