晶圆输送装置的制作方法

本实用新型是一种晶圆输送装置，尤指一种输送结构简单的晶圆输送装置。

背景技术：

半导体制程中，晶圆不能碰触到灰尘，因此在无尘室中进行加工过程，容装晶圆的容器以及晶圆运输装置就成为很关键的精密工具，容装晶圆的容器常用前开式晶圆盒(Front Opening Unified Pod，简称FOUP)，可用来保护、容装晶圆，搭配前开式晶圆盒使用的运输装置，现行使用悬吊运输装置(又称天车)(Overhead Hoist Transfer，简称OHT)，悬吊运输装置为避免运输前开式晶圆盒的过程中，晶圆碰撞或震动而损坏，悬吊运输装置运输的速度会减慢，造成运输时间增长，另外，悬吊运输装置运输一组前开式晶圆盒到加工制程的机台上加工时，悬吊运输装置即闲置等待前开式晶圆盒加工完毕，加工完成后悬吊运输装置才又将前开始晶圆盒运输至下一个制程，加工的效率低落。

为解决上述问题，产生一种具摆动臂的晶圆盒输送装置，其包含一放置台、一第一马达、一摆动臂、一第二马达及一夹取件，该第一马达设于该放置台内部，该摆动臂设于该放置台上并可藉由该第一马达控制弧形摆动，该第二马达设于该放置台内部，该夹取件设于该摆动臂的顶端并可藉由该第二马达控制夹紧放松，该晶圆盒输送装置放在加工制程的机台旁边，当悬吊运输装置将一前开式晶圆盒放于该放置台上，该第一马达驱动该摆动臂弧形摆动到该前开式晶圆盒上，该第二马达驱动该夹取件夹紧该前开式晶圆盒，该第一马达驱动该摆动臂弧形摆动将该前开式晶圆盒放在加工制程的机台上，悬吊运输装置就能再多拿另一个前开式晶圆盒放在该具摆动臂的晶圆盒输送装置，有效利用闲置等待的时间，提升加工效率。

然而，该具摆动臂的晶圆盒输送装置的装置结构复杂，该第一马达控制该摆动臂以弧形摆动，该第一马达跟该第二马达的连动关系，以及该夹取件只通过该第二马达就能控制松紧，其结构复杂导致较难维护维修，另外，该摆动臂以弧形摆动，加工制程的机台须配合该具摆动臂的晶圆盒输送装置的摆动臂能摆动到的范围，超过该摆动臂能摆动到的范围的机台就没办法与该具摆动臂的晶圆盒输送装置搭配使用，加工制程的机台的高度被摆动臂摆动的范围所限制的问题。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是：提供一种晶圆输送装置，改善现有晶圆盒输送装置的结构复杂导致较难维护维修，以及该摆动臂摆动的范围限制加工制程的机台的高度的问题。

本实用新型的技术解决方案是：提供一种晶圆输送装置，其包含一支架、一第一输送单元、一第二输送单元及一抓取单元，该支架包含一架体、一置放台及二第一滑轨，该置放台形成于该架体的内部，该二第一滑轨径向设于该架体的内部并位于该置放台的两侧；该第一输送单元设于该支架上，该第一输送单元包含一滑座、一第一驱动器、二第一滑轮、一第一传动带及二第二滑轨，该滑座可径向移动地跨设在该二第一滑轨上，该第一驱动器设于该架体，该二第一滑轮径向间隔设于架体并邻近该第一驱动器，该第一传动带绕设于该二第一滑轮及该第一驱动器，且该第一传动带固定连接于该滑座，该二第二滑轨径向设于该滑座顶部；该第二输送单元设于该滑座上，该第二输送单元包含一板体、一第二驱动器、一第二滑轮及一第二传动带，该板体可径向移动地跨设在该二第二滑轨上，该第二驱动器设于该滑座的顶部，该第二滑轮设于滑座的顶部，该第二传动带绕设于该第二驱动器及该第二滑轮，且该第二传动带固定连接于该板体；该抓取单元设于该板体，该抓取单元包含一升降器、一升降件、一抓取部及二抓取臂，该升降器设于该板体上，该升降件可上下移动地设于该升降器并贯穿该板体，该抓取部设于该升降件的底端，该二抓取臂设于该抓取部的两侧。

如上所述的晶圆输送装置，该架体包含一底板、多个立杆、至少一个第一径向杆及多个第二径向杆，该些立杆设于该底板上，所述第一径向杆组设于该些立杆，该些第二径向杆组设于该些立杆，该些第二径向杆到该底板的距离大于所述第一径向杆到该底板的距离。

如上所述的晶圆输送装置，该置放台包含多个横杆，该些横杆组设于该些第二径向杆，该第一驱动器设置于该架体的其中一个第一径向杆上。

如上所述的晶圆输送装置，该二抓取臂外型呈L型，该支架包含多个滚轮，该些滚轮设于该架体的底部。

本实用新型晶圆输送装置有另一态样：提供一种晶圆输送装置，其包含一支架、一第一输送单元、一第二输送单元及一抓取单元，该支架包含一架体、一置放台及二第一滑轨，该置放台形成于该架体的内部，该二第一滑轨径向设于该架体的内部并位于该置放台的两侧；该第一输送单元设于该支架上，该第一输送单元包含一滑座、多个同步运作的第一驱动器、多个对应该第一驱动器的第一滑轮、多个对应该第一驱动器的第一传动带及二第二滑轨，该滑座可径向移动地跨设在该二第一滑轨上，所述第一驱动器设于该架体，所述第一滑轮径向间隔设于架体并邻近所述第一驱动器，所述第一传动带绕设于所述第一滑轮及所述第一驱动器，且所述第一传动带固定连接于该滑座，该二第二滑轨径向设于该滑座顶部；该第二输送单元设于该滑座上，该第二输送单元包含一板体、多个同步运作的第二驱动器、多个对应该第二驱动器的第二滑轮及多个对应该第二驱动器的第二传动带，该板体可径向移动地跨设在该二第二滑轨上，所述第二驱动器设于该滑座的顶部，所述第二滑轮设于滑座的顶部，所述第二传动带绕设于所述第二驱动器及所述第二滑轮，且所述第二传动带固定连接于该板体；该抓取单元设于该板体，该抓取单元包含一升降器、一升降件、一抓取部及二抓取臂，该升降器设于该板体上，该升降件可上下移动地设于该升降器并贯穿该板体，该抓取部设于该升降件的底端，该二抓取臂设于该抓取部的两侧。

如上所述的晶圆输送装置，该架体包含一底板、多个立杆、至少一个第一径向杆及多个第二径向杆，该些立杆设于该底板上，所述第一径向杆组设于该些立杆，该些第二径向杆组设于该些立杆，该些第二径向杆到该底板的距离大于所述第一径向杆到该底板的距离。

如上所述的晶圆输送装置，该置放台包含多个横杆，该些横杆组设于该些第二径向杆，该第一驱动器设置于该架体的其中一个第一径向杆上。

如上所述的晶圆输送装置，该二抓取臂外型呈L型，该支架包含多个滚轮，该些滚轮设于该架体的底部。

本实用新型的优点是：分别以所述第一驱动器及所述第二驱动器驱动径向移动，以及该升降器做上下升降的提取及放置动作，以及该二抓取臂以滑动方式抓取该晶圆盒，皆为简单的结构输送，达到方便维护及维修的功效，而该升降器做上下升降的提取及放置，可以配合不同高度的加工制程的机台所使用。

附图说明

图1为本实用新型晶圆输送装置的一具体实施例的抓取单元移动至二第二滑轨中段处的立体示意图。

图2为本实用新型晶圆输送装置的一具体实施例的初始状态的前视示意图。

图3为本实用新型晶圆输送装置的一具体实施例的初始状态的侧视示意图。

图4为本实用新型晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(一)的前视示意图。

图5为本实用新型晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(一)的侧视示意图。

图6为本实用新型晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(二)的前视示意图。

图7为本实用新型晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(三)的前视示意图。

图8为本实用新型晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(四)的前视示意图。

图9为本实用新型晶圆输送装置的一具体实施例的操作状态(五)的前视示意图。

附图标号简单说明：

10支架 11架体

111底板 112立杆

113第一径向杆 114第二径向杆

12置放台 121横杆

13第一滑轨 14滚轮

20第一输送单元 21滑座

22第一驱动器 23第一滑轮

24第一传动带 25第二滑轨

30第二输送单元 31板体

32第二驱动器 33第二滑轮

34第二传动带 40抓取单元

41升降器 42升降件

43抓取部 44抓取臂

50制程机台 60晶圆盒

61提取部

具体实施方式

以下配合图式及本实用新型之较佳实施例，进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段。

如图1至图3所示，揭示本实用新型晶圆输送装置的一较佳实施例，由图式可知，本实用新型晶圆输送装置包含一支架10、一第一输送单元20、一第二输送单元30及一抓取单元40。

该支架10包含一架体11、一置放台12及二第一滑轨13，该置放台12形成于该架体11的内部，该二第一滑轨13径向设于该架体11的内部并位于该置放台12的两侧。

该第一输送单元20设于该支架10上，该第一输送单元20包含一滑座21、一第一驱动器22、二第一滑轮23、一第一传动带24及一第二滑轨25，该滑座21可径向移动地跨设在该二第一滑轨13上，该第一驱动器22设于该架体11，该二第一滑轮23径向间隔设于架体11并邻近该第一驱动器22，该第一传动带24绕设于该二第一滑轮23及该第一驱动器22，且该第一传动带24固定连接于该滑座21，该二第二滑轨25径向设于该滑座21顶部。

该第二输送单元30设于该滑座21上，该第二输送单元30包含一板体31、一第二驱动器32、一第二滑轮33及一第二传动带34，该板体31可径向移动地跨设在该二第二滑轨25上，该第二驱动器32设于该滑座21的顶部，该第二滑轮33设于滑座21的顶部，该第二传动带34绕设于该第二驱动器32及该第二滑轮33，且该第二传动带34固接于该板体31。

该抓取单元40设于该板体31，该抓取单元40包含一升降器41、一升降件42、一抓取部43及二抓取臂44，该升降器41设于该板体31上，该升降件42可上下移动地设于该升降器41并贯穿该板体31，该抓取部43设于该升降件42的底端，该二抓取臂44设于该抓取部43的两侧。

上述中，本实用新型晶圆输送装置的另一较佳实施例，该第一输送单元20的第一驱动器22、第一滑轮23及第一传动带24的数量可为多个，所述第一滑轮23的数量为所述第一驱动器22的数量的两倍，所述第一传动带24的数量对应所述第一驱动器22的数量，并且所述第一驱动器22为同步运作，该第二输送单元30的第二驱动器32、第二滑轮33及第二传动带34的数量可为多个，所述第二滑轮33的数量对应所述第二驱动器32的数量，所述第二传动带34的数量对应所述第二驱动器32的数量，并且所述第二驱动器32为同步运作。

上述中，该支架10包含多个滚轮14，该些滚轮14设于该架体11的底部，于本实施例中，该架体11包含一底板111、多个立杆112、至少一个第一径向杆113及多个第二径向杆114，该些立杆112设于该底板111上，所述第一径向杆113组设于该些立杆112，该些第二径向杆114组设于该些立杆112，该些第二径向杆114到该底板111的距离大于所述第一径向杆113到该底板111的距离，该置放台12包含多个横杆121，该些横杆121组设于该些第二径向杆114，该第一驱动器22设于该架体11的其中一个第一径向杆113上，另外，该抓取单元40的该二抓取臂44外型呈L型。

如图4及图5所示，为本实用新型晶圆输送装置的一较佳实施例的操作状态，该晶圆输送装置藉由该些滚轮14可移动到可加工晶圆的制程机台50旁边，现行使用的悬吊运输装置将一具有提取部61的晶圆盒60，放入该晶圆输送装置的置放台12上，该晶圆输送装置从初始位置开始启动，从该抓取单元40开始作动，该升降器41驱动该升降件42开始向下伸长，该抓取部43及该二抓取臂44随该升降件42向下伸长而下降，当该二抓取臂44下降到该提取部61同一高度时，如图6所示，该第二驱动器32开始带动该第二传动带34，将该板体31带向右移动，让该抓取单元40带向右移动，且该二提取臂44可以滑入该晶圆盒60与提取部61之间。

如图7所示，该二提取臂44滑入该晶圆盒60与提取部61之间后，该升降器41驱动该升降件42开始向上收缩，该抓取部43及该二抓取臂44随该升降件42向上收缩而上升，该二抓取臂44抵住该提取面61，将该晶圆盒60提起，该第二驱动器32开始带动该第二传动带34，将该板体31带向左移动，该第一驱动器22开始带动该第一传动带24，将该滑座21带向左移动，如图8所示，该板体31及该滑座21向左移动让该抓取单元40移动到最左边，这时让该晶圆盒60位于该制程机台50的正上方，该抓取单元40的该升降器41驱动该升降件42开始向下伸长，该抓取部43及该二抓取臂44及该晶圆盒60随该升降件42向下伸长而下降，直到该晶圆盒60放到该制程机台50上，如图9所示，该第二驱动器32带动该第二传动带34，将该板体31带向右移动，该第一驱动器22开始带动该第一传动带24，将该滑座21带向右移动，让该抓取单元40带向右移动，且带动该二提取臂44滑出该晶圆盒60与提取部61之间，并且该升降器41驱动该升降件42开始向上收缩回到初始位置，以上为该晶圆输送装置操作一个循环。

上述中，当位于该制程机台50上的晶圆盒60已经加工完成，现行使用的悬吊运输装置可以再将另一晶圆盒放在该置放台12上，并将该制程机台50上已完成加工的晶圆盒60取走进入下一个制程，该晶圆输送装置可以再行下一个循环，让悬吊运输装置减少等待而闲置的时间，增加加工的效率。

上述中，本实用新型晶圆输送装置以该升降器41做上下升降的提取及放置，若是该制程机台50很低，该升降器41驱动该升降件42向下伸长，仍可以将该晶圆盒60放置在该制程机台50上，该晶圆输送装置可以配合更多不同大小高度的该制程机台50。

综上所述，本实用新型晶圆输送装置分别以所述第一驱动器22及所述二驱动器32驱动径向移动，以及该升降器41做上下升降的提取及放置动作，以及该二抓取臂44以滑动方式抓取该晶圆盒60，皆为简单的输送结构，故没有复杂的连动关系或齿轮咬合的机构，方便维护及维修，而该升降器41做上下升降的提取及放置，可以配合更多不同高度的制程机台50所使用，另外，通过该晶圆输送装置的辅助使用，可以减少现行使用的悬吊运输装置等待的时间，进而增加效率。

以上所述仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型做任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案的范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。