1.一种晶圆输送装置,其特征在于,该晶圆输送装置包含:
一支架,该支架包含一架体、一置放台及二第一滑轨,该置放台系形成于该架体的内部,该二第一滑轨径向设于该架体的内部并位于该置放台的两侧;
一第一输送单元,其设于该支架上,该第一输送单元包含一滑座、一第一驱动器、二第一滑轮、一第一传动带及二第二滑轨,该滑座可径向移动地跨设在该二第一滑轨上,该第一驱动器设于该架体,该二第一滑轮径向间隔设于架体并邻近该第一驱动器,该第一传动带绕设于该二第一滑轮及该第一驱动器,且该第一传动带固定连接于该滑座,该二第二滑轨径向设于该滑座顶部;
一第二输送单元,其设于该滑座上,该第二输送单元包含一板体、一第二驱动器、一第二滑轮及一第二传动带,该板体可径向移动地跨设在该二第二滑轨上,该第二驱动器设于该滑座的顶部,该第二滑轮设于滑座的顶部,该第二传动带绕设于该第二驱动器及该第二滑轮,且该第二传动带固定连接于该板体;以及
一抓取单元,其设于该板体,该抓取单元包含一升降器、一升降件、一抓取部及二抓取臂,该升降器设于该板体上,该升降件可上下移动地设于该升降器并贯穿该板体,该抓取部设于该升降件的底端,该二抓取臂设于该抓取部的两侧。
2.根据权利要求1所述的晶圆输送装置,其特征在于,该架体包含一底板、多个立杆、至少一个第一径向杆及多个第二径向杆,该些立杆设于该底板上,所述第一径向杆组设于该些立杆,该些第二径向杆组设于该些立杆,该些第二径向杆到该底板的距离大于所述第一径向杆到该底板的距离。
3.根据权利要求2所述的晶圆输送装置,其特征在于,该置放台包含多个横杆,该些横杆组设于该些第二径向杆,该第一驱动器设置于该架体的其中一个第一径向杆上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的晶圆输送装置,其特征在于,该二抓取臂外型呈L型,该支架包含多个滚轮,该些滚轮设于该架体的底部。
5.一种晶圆输送装置,其特征在于,该晶圆输送装置包含:
一支架,该支架包含一架体、一置放台及二第一滑轨,该置放台形成于该架体的内部,该二第一滑轨径向设于该架体的内部并位于该置放台的两侧;
一第一输送单元,其设于该支架上,该第一输送单元包含一滑座、多个同步运作的第一驱动器、多个对应该第一驱动器的第一滑轮、多个对应该第一驱动器的第一传动带及二第二滑轨,该滑座可径向移动地跨设在该二第一滑轨上,所述第一驱动器设于该架体,所述第一滑轮径向间隔设于架体并邻近所述第一驱动器,所述第一传动带绕设于所述第一滑轮及所述第一驱动器,且所述第一传动带固定连接于该滑座,该二第二滑轨径向设于该滑座顶部;
一第二输送单元,其设于该滑座上,该第二输送单元包含一板体、多个同步运作的第二驱动器、多个对应该第二驱动器的第二滑轮及多个对应该第二驱动器的第二传动带,该板体可径向移动地跨设在该二第二滑轨上,所述第二驱动器设于该滑座的顶部,所述第二滑轮设于滑座的顶部,所述第二传动带绕设于所述第二驱动器及所述第二滑轮,且所述第二传动带固定连接于该板体;
一抓取单元,其设于该板体,该抓取单元包含一升降器、一升降件、一抓取部及二抓取臂,该升降器设于该板体上,该升降件可上下移动地设于该升降器并贯穿该板体,该抓取部设于该升降件的底端,该二抓取臂设于该抓取部的两侧。
6.根据权利要求5所述的晶圆输送装置,其特征在于,该架体包含一底板、多个立杆、至少一个第一径向杆及多个第二径向杆,该些立杆设于该底板上,所述第一径向杆组设于该些立杆,该些第二径向杆组设于该些立杆,该些第二径向杆到该底板的距离大于所述第一径向杆到该底板的距离。
7.根据权利要求6所述的晶圆输送装置,其特征在于,该置放台包含多个横杆,该些横杆组设于该些第二径向杆,该第一驱动器设置于该架体的其中一个第一径向杆上。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的晶圆输送装置,其特征在于,该二抓取臂外型呈L型,该支架包含多个滚轮,该些滚轮设于该架体的底部。