技术总结
本实用新型是关于一种晶圆输送装置，其包含一支架、一第一输送单元、一第二输送单元及一夹取单元，第一输送单元设于支架并包含一第一驱动器，第二输送单元设于第一输送单元并包含一第二驱动器，夹取单元设于第二输送单元并包含一升降器及二抓取臂，本实用新型晶圆输送装置分别以所述第一驱动器及所述第二驱动器驱动径向移动，及升降器做上下升降的提取及放置动作，及二抓取臂以滑动方式抓取晶圆盒，以简单的结构达到方便维护及维修的功效，而升降器升降提取及放置，可以配合不同高度的加工制程的机台所使用。
技术研发人员：林明峣
受保护的技术使用者：林明峣
技术研发日：2018.02.13
技术公布日：2018.10.26