一种小型真空高压电极的制作方法

本实用新型涉及质谱仪检测领域，尤其涉及一种小型真空高压电极。

背景技术：

真空高压电极是质谱仪常用的真空器件，用于穿过真空腔壁，将大气端的各种电信号传输到密闭的真空腔内部。

现有市场上的真空高压电极体积一般较大，价格昂贵，并不适用于小型质谱仪等空间狭小的场合。

随着高压真空器件向小型化的方向发展，缩小真空高压电极的体积也是小型化质谱仪设计亟带解决的问题之一。

技术实现要素：

为克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提出一种小型真空高压电极，如图1、2所示，包括真空密封盖板1，真空密封盖板具有阶梯型通孔，阶梯型通孔具有直径最大通孔部分、次小通孔部分和最小通孔部分；金属电极2，金属电极2穿过真空密封盖板1的阶梯型通孔；第一绝缘片3，第一绝缘片3具有通孔供金属电极2穿过，并且设置在最小通孔部分和部分次小通孔部分中；第二绝缘片5，第二绝缘片5具有通孔供金属电极穿过，并且设置在最大通孔部分中；和密封胶4，密封胶4填充在第一绝缘片3与第二绝缘片5之间。

优选的，金属电极2为圆柱形。

进一步的，金属电极2穿过真空密封盖板1的部分的直径大于金属电极2未穿过真空密封盖板1部分的直径，并且分为直径不同的两部分。

进一步的，第一绝缘片3的纵向剖面为T型，高度与金属电极2穿过真空密封盖板1的部分中直径较小的部分的高度相同。

进一步的，第二绝缘片5的高度与最大通孔部分的高度相等。

本实用新型的有益效果：第一绝缘片、金属电极与第二绝缘片通过真空密封胶粘接，金属电极两端的长度可以根据实际需求定制长短，降低了高压真空电极的体积；而且其结构简单，降低了加工成本。

附图说明

图1为根据本实用新型的一个实施例的真空高压电极的结构示意图；

图2为根据本实用新型的一个实施例的真空高压电极的爆炸图；

其中：1.真空密封盖板；2.金属电极；3.第一绝缘片；4.密封胶；5.第二绝缘片。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型提供的一种真空高压电极进行详细描述。然而，对于本领域内的普通技术人员而言，可以仅仅利用本实用新型的一些或者全部结构或者流程来实施本实用新型。为了不混淆本实用新型，对于一些众所周知的特征将不再进行详细阐述。

根据本实用新型，提出一种真空高压电极，如图1、2所示，包括：真空密封盖板1，真空密封盖板具有阶梯型通孔，阶梯型通孔具有直径最大通孔部分、次小通孔部分和最小通孔部分；金属电极2，金属电极2穿过真空密封盖板1的阶梯型通孔；第一绝缘片3，第一绝缘片3具有通孔供金属电极2穿过，并且设置在最小通孔部分和部分次小通孔部分中；第二绝缘片5，第二绝缘片5具有通孔供金属电极穿过，并且设置在最大通孔部分中；和密封胶4，密封胶填充在第一绝缘片3与第二绝缘片5之间。

其中，第一绝缘片3和第二绝缘片5紧密包裹穿过其中的金属电极2，密封胶4可以使得绝缘片、金属电极之间粘贴牢固，同时密封住真空。伸出真空密封盖板1的金属电极的长度和真空密封盖板1的大小可以进行设定，使得真空高压电极能够适应小型化的需求。

在一个实施例中，金属电极2为圆柱形，在金属电极2穿过真空密封盖板1的部分的直径可以大于金属电极2未穿过真空密封盖板1部分的直径，也即中间粗，两端细。

在另一个实施例中，第一绝缘片3的纵向剖面为T型，T型上的一字型有一定厚度以便卡在最小通孔上。在一个实施例中，金属电极2的中间部分还分为上下两部分，均为圆柱形，直径小的圆柱形的高度与第一绝缘片3的高度一致，这样，在制作的过程中电极穿过第一绝缘片的时候，电极可以卡在第一绝缘片上。

在一个实施例中，第二绝缘片的高度与阶梯型最大通孔的高度相等，在密封胶填充到第一绝缘片上后并封满次小通孔后，将第二绝缘片从金属电极的细端穿过覆盖在密封胶上，使得已有的部分紧密结合。

下面对真空高压电极的制作方法进行具体介绍：

取第一绝缘片同轴放入真空密封盖板阶梯形孔底部，放入金属电极同轴垂直穿过第一绝缘片孔内；用真空密封胶胶枪均匀挤出适量的真空密封胶，灌入到真空密封盖板阶梯形孔内，第一绝缘片的上面；然后用第二绝缘片穿过金属电极压入真空盖板孔内；最后擦拭真空密封盖板顶部多余的真空密封胶，保持干洁，等待真空密封胶凝固。

上述实施例仅供说明本实用新型之用，而并非是对本实用新型专利的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型构思范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的均等变化与修饰，均应属于本实用新型权利要求的覆盖范围。