柔性显示面板的制作方法

本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种柔性显示面板。

背景技术：

在目前量产的柔性显示面板中，驱动开关元器件TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)是基于无机材料的，例如，SiO、SiN和Si等。由于无机材料的耐弯折性能较差，因此经过一定次数弯折后，TFT的性能会发生很大的变化，进而导致发光器件的发光性能改变，影响显示效果。

因此，如何提高TFT的耐弯折特性成为亟待解决的问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型实施例致力于提供一种柔性显示面板，以解决现有技术中柔性显示面板的TFT耐弯折性能较差的问题。

本实用新型一方面提供了一种柔性显示面板，包括：薄膜晶体管区域，包括：依次层叠的有源层、栅极绝缘层、栅极层、电容绝缘层以及有机绝缘层；以及与薄膜晶体管区域连接的电容区域，包括：依次层叠的栅极层、电容绝缘层、电容极板、有机绝缘层以及无机层间绝缘层。

在本实用新型的一个实施例中，柔性显示面板进一步包括无机层间绝缘层，其中无机层间绝缘层形成在有机绝缘层之上。

在本实用新型的一个实施例中，薄膜晶体管区域还进一步包括：两个从薄膜晶体管区域的表面延伸至有源层的过孔；以及分别填充设置在两个过孔中的源极和漏极，其中源极和漏极的底端与有源层形成欧姆接触。

在本实用新型的一个实施例中，有机绝缘层的垂直投影完全覆盖无机层间绝缘层的下表面。

在本实用新型的一个实施例中，电容区域进一步包括栅极绝缘层，栅极层形成在栅极绝缘层之上。

在本实用新型的一个实施例中，有机绝缘层的图案采用光刻的方法进行图形化。

在本实用新型的一个实施例中，有机绝缘层采用的材料包括光刻胶。

在本实用新型的一个实施例中，有机绝缘层的图案采用喷墨打印的方法进行图形化。

在本实用新型的一个实施例中，有机绝缘层采用的材料包括聚酰亚胺、聚乙烯基苯酚、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇、聚苯乙烯和聚a-甲基苯乙烯中的一种或多种的组合。

在本实用新型的一个实施例中，无机层间绝缘层的材料包括SiO和SiN中的一种或多种的组合。

在本实用新型的一个实施例中，柔性显示面板进一步包括依次设置在薄膜晶体管区域和电容区域下方的缓冲层和柔性衬底。

在本实用新型的一个实施例中，在薄膜晶体管区域和电容区域的上方进一步包括：平坦化层、通过平坦化层的通孔与漏极电连接的阳极电极层、部分覆盖阳极电极层的像素定义层、覆盖阳极电极层的未被像素定义层覆盖部分的发光层和覆盖发光层的阴极电极层。

本实用新型的实施例通过引入有机绝缘层作为层间绝缘层以及电容极板与其它导电层之间的绝缘层，使得柔性显示面板在弯折时的应力分布可以更加均匀，进而提高了薄膜晶体管背板的韧性，增强了柔性显示面板的耐弯折特性。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的柔性显示面板的结构示意图。

图2是根据本实用新型另一个实施例的柔性显示面板的结构示意图。

上述附图中的附图标记如下：柔性衬底1，缓冲层2，栅极绝缘层3，电容绝缘层4，有机绝缘层5，第一无机层间绝缘层6，第二无机层间绝缘层7，有源层8，栅极层9，电容极板10，源极11，漏极12，平坦化层13，阳极电极层14，像素定义层15，阴极电极层16，发光层17。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在可能的情况下，附图中的各个部分提到的相同或相似的部分将采用相同的附图标记。

图1是根据本实用新型一个实施例的柔性显示面板的结构示意图。

在本实用新型的实施例中，如图1所示，柔性显示面板，包括：薄膜晶体管区域，包括：依次层叠的有源层8、栅极绝缘层3、栅极层9、电容绝缘层4以及有机绝缘层5；以及与薄膜晶体管区域连接的电容区域，包括：依次层叠的栅极层9、电容绝缘层4、电容极板10以及有机绝缘层5。

具体地，在柔性显示面板中，薄膜晶体管可以作为驱动开关元器件，用于驱动柔性显示面板的显示。由于有机材料比无机材料具有更好的韧性，因此在弯折薄膜晶体管时，上述有机绝缘层5可以起到缓冲作用，进而减轻薄膜晶体管中无机材料层对耐弯折性能的影响。另外，在薄膜晶体管区域中，有机绝缘层5可以作为层间绝缘层，用于与其它导电层的绝缘；在电容区域，有机绝缘层5可以作为绝缘层，用于将电容极板10与其它导电层绝缘。在这里，其它导电层可以是走线区域中的金属导电层。

应当理解，上述栅极绝缘层3和/或电容绝缘层4也可以采用有机材料，进而使得柔性显示面板的TFT背板可以具有更好地耐弯折性能。除此之外，柔性显示面板的薄膜晶体管区域和电容区域还可以包括其它层，例如，其它层可以是柔性衬底层、缓冲层、无机绝缘层等，这里对此不做限定。

本实用新型的实施例通过引入有机绝缘层5作为层间绝缘层以及电容极板10与其它导电层之间的绝缘层，使得柔性显示面板在弯折时的应力分布可以更加均匀，进而提高了薄膜晶体管背板的韧性，增强了柔性显示面板的耐弯折特性。

在本实用新型的另一个实施例中，优选地，柔性显示面板可以进一步包括无机层间绝缘层，其中无机层间绝缘层形成在有机绝缘层5之上。

具体地，在这里，无机层间绝缘层和有机绝缘层5可以共同作为绝缘层来阻隔薄膜晶体管区域和电容区域与其它导电层之间的导电性，进而使得绝缘效果更佳。除此之外，有机绝缘层5也可以是新添加的层，添加在原本包含无机层间绝缘层的柔性显示面板上，即，原本的柔性显示面板也包括薄膜晶体管区域和电容区域，其中，薄膜晶体管区域包括依次层叠的有源层8、栅极绝缘层3、栅极层9、电容绝缘层4以及无机层间绝缘层，与薄膜晶体管区域连接的电容区域，包括：依次层叠的栅极层9、电容绝缘层4、电容极板10以及无机层间绝缘层，新添加的有机绝缘层5，如图1所示，可以在薄膜晶体管区域位于无机层间绝缘层和电容绝缘层4之间，在电容区域位于无机层间绝缘层和电容极板10之间。在这里，有机绝缘层5与无机层间绝缘层相邻，在弯折柔性显示屏时，可以分散无机层间绝缘层的应力，进而可以提高源极11和/或漏极12与栅极绝缘层3之间的可靠性。

在这里，为了便于描述，上述相邻的有机绝缘层5和无机层间绝缘层可以称为绝缘层组。在薄膜晶体管中，该绝缘层组可以包括一层，也可以包括多层。具体地，对于包含多层绝缘层组的情况，绝缘层组之间可以彼此相邻，也可以彼此之间设置其它功能层，例如，其它功能层可以为走线金属层等，以满足应用差异化的需求。进一步地，在多层绝缘层组中，有机绝缘层5可以采用相同的材质，也可以采用不同的材质。类似地，无机层间绝缘层也是如此。

应当理解，上述无机层间绝缘层可以由多层无机绝缘层组成，例如，如图1所示，无机层间绝缘层包括第一无机层间绝缘层6和第二无机层间绝缘层7，进而满足多层无机绝缘层之间存在金属导电层的设计需要。在这里，金属导电层可以是用于走线的。多层无机绝缘层采用的材料可以相同，也可以不同。

在本实用新型的另一个实施例中，如图1所示，薄膜晶体管区域还进一步包括：两个从薄膜晶体管区域的表面延伸至有源层8的过孔；以及分别填充设置在两个过孔中的源极11和漏极12，其中源极11和漏极12的底端与有源层8形成欧姆接触。因此，薄膜晶体管区域可以通过源极11、漏极12以及有源层8实现对柔性显示面板的显示的驱动。

在本实用新型的另一个实施例中，有机绝缘层5的垂直投影完全覆盖无机层间绝缘层的下表面。

具体地，在该实施例中，柔性显示面板放置的方式如图1所示，即上述垂直投影和下表面是对如图1所示的柔性显示面板的放置方式进行描述的。例如，无机层间绝缘层可以是在有机绝缘层5上形成的，以便无机层间绝缘层的下表面可以与有机绝缘层5完全接触，进而在弯折柔性显示面板时，使得有机绝缘层5可以分散整个无机层间绝缘层的应力。应当理解，在薄膜晶体管中，无机层间绝缘层可以为整层，也可以为非整层。当无机层间绝缘层为整层时，有机绝缘层5为整层；当无机层间绝缘层为非整层时，有机绝缘层5可以为整层，也可以为非整层，这里对此不做限定。

在本实用新型的另一个实施例中，有机绝缘层5的图案采用光刻的方法进行图形化。

具体地，在薄膜晶体管的成形过中，有机绝缘层5可能需要图形化以满足应用需求。例如，有机绝缘层5的图案可以采用光刻工艺来图形化，因此，有机绝缘层5可以采用适用于光刻工艺的有机绝缘材料，例如，光刻胶等。

在本实用新型的另一个实施例中，有机绝缘层5的图案采用喷墨打印的方法进行图形化。

具体地，有机绝缘层5的图案除了可以采用光刻工艺进行图形化之外，还可以采用喷墨打印的方式。例如，喷墨打印采用的有机绝缘材料可以包括PI(聚酰亚胺)、PVP(聚乙烯基苯酚)、PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)、PVA(聚乙烯醇)、PS(聚苯乙烯)和PaMS(聚a-甲基苯乙烯)等中的一种或者多种的组合，以满足喷墨打印的成形工艺。

应当理解，有机绝缘层5图形化的成形工艺不仅限于此，这里对此不做限定。

图2是根据本实用新型另一个实施例的柔性显示面板的结构示意图。

在本实用新型的另一个实施例中，如图2所示，柔性显示面板进一步包括依次设置在薄膜晶体管区域和电容区域下方的缓冲层2和柔性衬底1。

在本实用新型的另一个实施例中，电容区域进一步包括栅极绝缘层3，栅极层9可以形成在栅极绝缘层3之上。

在本实用新型的另一个实施例中，如图2所示，在薄膜晶体管区域和电容区域的上方进一步包括：平坦化层13、通过平坦化层13的通孔与漏极11电连接的阳极电极层14、部分覆盖阳极电极层14的像素定义层15、覆盖阳极电极层14的未被像素定义层15覆盖部分的发光层17和覆盖发光层17的阴极电极层16。

具体地，阳极电极层14输出的空穴可以在发光层17与阴极电极层16输出的电子相结合，这样就可以使得柔性显示面板发光，柔性显示面板发出的光可经阳极电极层14或阴极电极层16射出。

在本实用新型的另一个实施例中，无机层间绝缘层的材料包括SiO和SiN中的一种或多种的组合。

具体地，有机绝缘层5可以用于提高由SiO和SiN等中的一种或多种的组合构成的无机层间绝缘层的耐弯折特性。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。