一种硅片运输装置的制作方法

本实用新型涉及太阳电池制造技术领域，尤其涉及一种硅片运输装置。

背景技术：

在硅片的加工生产中，为了满足不同的应用需求，时常需要将硅片进行各种化学处理，随着自动化生产的普及，硅片一般会通过流水线运送至各个加工工位，而为了提高生产效率，有些加工工段需要将一个硅片放入另一个硅片底部进行堆叠，以便后续加工、运输或收纳。现有技术中，硅片的堆叠一般通过人力实现，不仅费时费力、堆叠效率低、不利于产业化、成本高，而且很容易因操作不当导致硅片污染或破损。因此，亟需一种新型的硅片传输装置来解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提出一种硅片运输装置，能够方便地在硅片收纳装置内插入两片或多片硅片，提高了硅片的装载效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种硅片运输装置，包括：

运输台，用于将硅片输送至限位机构内；

吹气组件，对应所述限位机构，能够将到达所述限位机构内的硅片吹起；

检测组件，能够检测所述运输台上硅片的位置；及

控制器，连接所述吹气组件和检测组件，并能够控制所述吹气组件启停。作为优选技术方案，吹气组件包括多个吹气孔，所述检测组件包括传感器。

作为优选技术方案，所述吹气孔位于所述传感器的两侧，或所述吹气孔沿所述传感器的周向分布。

作为优选技术方案，所述传感器和所述吹气孔沿所述硅片的运输方向依次设置。

作为优选技术方案，所述吹气组件还包括风道及与所述风道连接的鼓风机，所述风道连通所述吹气孔。

作为优选技术方案，所述风道上设置有电磁阀。

作为优选技术方案，所述运输台包括伸缩台及机体，所述伸缩台能够相对于所述机体沿硅片运输方向进行直线伸缩，所述伸缩台上设置有用于传送硅片的传送组件。

作为优选技术方案，所述传送组件位于所述伸缩台的相对的两侧，所述传送组件包括主动轮、从动轮及连接所述主动轮和所述从动轮的传送带，所述主动轮和所述从动轮分别设置于所述伸缩台的两端，所述主动轮连接有驱动部件。

作为优选技术方案，所述驱动部件为电机。

作为优选技术方案，所述伸缩台的相对的两侧滑动设置有侧板，所述吹气孔设置于所述侧板的上端面上。

本实用新型的有益效果：本实用新型中的运输台可将硅片送入限位机构中，吹气组件将位于限位机构内的前一硅片吹起，并悬浮于限位机构内，此时，该硅片的底面与限位机构之间具有间隙，从而便于后一硅片插入间隙内，进而实现了在限位机构内插入两片或多片硅片的目的，提高了生产效率，节省了人力。此外，本实用新型提供的硅片运输装置的结构简单，降低了生产成本。

附图说明

图1是实施例一的硅片运输装置的结构示意图；

图2是本实用新型提供的硅片运输装置运输硅片的示意图；

图3是实施例二提供的硅片运输装置的结构示意图；

图4是实施例三提供的硅片运输装置的结构示意图；

图5是实施例三提供的硅片运输装置的另一结构示意图。

图中：

10、机体；20、花篮；201、卡槽；30、硅片；40、侧板；

1、伸缩台；11、吹气组件；12、吹气孔；13、传送组件；14、传感器；

111、风道；112、鼓风机；

131、主动轮；132、从动轮；133、传送带。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

实施例一

本实施例提供了一种硅片运输装置，如图1和图2所示，该硅片运输装置包括运输台、吹气组件11、检测组件及控制器。其中，运输台用于将硅片30输送至限位机构内，吹气组件11对应所述限位机构，能够将到达所述限位机构内的硅片30吹起，检测组件包括传感器14，传感器14用于检测所述运输台上硅片30的位置，控制器连接所述吹气组件11和检测组件，并能够控制所述吹气组件11启停。

上述限位机构设置于硅片30的收纳装置内，收纳装置可以为能够承载硅片 30的花篮20、承载盒或承载箱等，收纳装置可以垂直和/或水平移动，以实现持续收纳；限位机构可以设置为包括设置于花篮20上的限位柱以及设置于限位柱上的卡齿形成的卡槽201；限位机构还可以设置为包括设置于承载盒/箱的侧板以及设置于侧板上的凸起件如卡齿形成的卡槽201。在此对限位机构的形式不作限定。本实施例中后续提到的限位机构以设置于花篮20的限位柱上的卡槽201 为例。

具体地，运输台包括伸缩台1及机体10，该伸缩台1能够相对于机体10沿硅片30运输方向进行直线伸缩，本实施例对伸缩台1的伸缩方式不作限定。本实施例中，将硅片30从远离花篮20的一端运送到靠近花篮20的一端的方向定义为硅片30的运输方向，参见图1中箭头所示方向。

上述伸缩台1能够伸入花篮20内并将硅片30传输至花篮20的卡槽201内。具体地，本实施例中伸缩台1上设置有传送组件13，传送组件13位于伸缩台1 的相对两侧，用于将硅片30传送至花篮20的卡槽201内。本实施例中，所述传送组件13包括主动轮131、从动轮132及连接所述主动轮131和所述从动轮 132的传送带133，所述主动轮131和所述从动轮132沿硅片的运输方向或反方向间隔设置且分别设置于所述伸缩台1的两端，其中，所述主动轮131连接有驱动部件，驱动部件通过驱动主动轮131和从动轮132，使传送带133带动其上的硅片30移动，直至将硅片30传递至卡槽201内。其中，上述驱动部件为电机，且驱动部件与控制器电连接，从而通过控制器控制传送组件13进行动作。

上述吹气组件11包括风道111及分别连接于所述风道111两端的鼓风机112 和吹气孔12，吹气孔12贯穿伸缩台1设置。鼓风机112产生的气流通过风道 111从吹气孔12吹出。其中，所述风道111上设置有电磁阀，电磁阀与控制器电连接，控制器通过控制电磁阀开闭，以控制风道111的通断，从而实现对硅片30吹起时间的控制。

所述吹气孔12为复数个，本实施例中设置有两排吹气孔12，两排吹气孔 12分别位于传感器14的两侧。其中，每排吹气孔12包括多个吹气孔12，从而使硅片30能够受力均匀，平稳上升，避免上升的硅片30与将要插入的硅片30 之间发生干涉。在其他实施例中，吹气孔12还可以沿传感器14的周向分布。由此，吹气孔12可以是两排分别位于传感器14近花篮20侧和远花篮20侧，吹气孔12也可以是环绕传感器14设置，均能够保证硅片30受力均匀，并平稳上升。

在本实施例中所述吹气孔12和传感器14均设置于伸缩台1上。在其他实施例中吹气孔12可通过风道111的固定从而被固定在某位置处(可不设置于伸缩台1)，传感器14也可以脱离伸缩台1设置，如悬置或位于伸缩台1的侧部等。其中，传感器14可以为位置传感器，也可以为其他类型的传感器，本实施例对此不作限定。优选的，在本实施例中，当伸缩台1伸入花篮20内时，吹气孔12 和传感器14均位于花篮20内。在所述传感器14感应到在前传输的第一硅片30 经过时，所述吹气组件11将先进入所述卡槽201内的第一硅片30吹起并悬浮于所述卡槽201内，第一硅片30的底部与卡槽201之间形成间隙以容纳在后传输的第二硅片30。在所述传感器14感应到在后传输的第二硅片30经过时，所述吹气组件11停止吹气，此时第一硅片30和第二硅片30至少部分搭接。

本实施例提供的卡槽201只能容纳两个硅片30时，硅片运输装置的运输过程如下：通过传感器14检测到在前传输的第一硅片30的经过后，传感器14将信息传递至控制器，此时，控制器控制电磁阀打开，从而鼓风机112对吹气孔 12进行吹气，在已到达卡槽内的第一张硅片30的下方形成气流层，使其悬浮于卡槽201内；当传感器14检测到在后传输的第二硅片30经过时，传感器14发送信号至控制器，控制器控制电磁阀关闭，从而鼓风机112停止对吹气孔12吹气，使得第一个硅片30下落至第二硅片30上。此时，两个硅片30之间至少有部分重叠，也就是说第二硅片30已至少部分插入卡槽201内。之后，在传送组件13的继续传送下，第二硅片30继续向前运输，直至与第一硅片30完全重叠，至此实现两个硅片30的叠放。

以此类推，在其他实施例中，当提供的卡槽201能够容纳多个硅片30，硅片运输装置在实现多个硅片30的堆叠收纳时，过程与两片硅片30堆叠相似，不同之处在于，在此过程中，已重叠放置在卡槽201中的硅片30均看作第一硅片30，吹气组件11将其全部已重叠放置在卡槽201中的硅片30至少部分吹起，便于后一硅片30的进入。

需要说明的是，本实施例对预设时长和吹气气流大小不作限定，可以根据需要进行调整。

实施例二

本实施例提供了一种硅片运输装置，如图3所示，该硅片运输装置与实施例一的不同在于，传感器14与吹气孔12的设置相对位置不同。其中，所述传感器14与所述吹气孔12分散设置，并沿硅片30的运输方向依次设置。其中，将硅片30从远离花篮20的一端运送到靠近花篮20的一端的方向定义为硅片30 的运输方向，参见图3中箭头所示方向。

本实施例提供的硅片运输装置的运输过程如下：

传送组件13将第一硅片30传送至花篮20内，传送组件13继续传送第二张硅片30，直至第二硅片30经过传感器14，触发传感器14，此时，控制器控制吹气组件11开始吹气，在第一硅片30的下方形成气流层，使其悬浮于卡槽 201内，使第一硅片30底部与卡槽201之间形成间隙，然后第二硅片30通过传送组件13传送至上述间隙中，这样即可实现硅片30在卡槽201内的叠放。上述过程为一个卡槽201插入两个硅片30的过程，若一个卡槽201插入多个硅片 30，同上述步骤类似，在此不再赘述。

需要说明的是，当吹气组件11吹风时，控制器控制电磁阀的开启时间以及气流量的大小为预设，本实施例对预设时长和吹气气流大小均不作限定，可以根据需要进行调整。

总之，本实用新型的运输台可将硅片30送入限位机构中，即花篮20上的卡槽201内，吹气组件11将位于限位机构内的硅片30吹起，并悬浮于限位机构内，此时，硅片30底部与限位机构之间有间隙，从而便于又一硅片30插入间隙内，从而在限位机构内实现插入两片或多片硅片30，提高生产效率，节省了人力。此外，本实施例提供的硅片运输装置的结构简单，降低了生产成本。

实施例三

本实施例提供了一种硅片运输装置，如图4和图5所示，本实施例提供的硅片运输装置与实施例二的不同在于：伸缩台1的两侧滑动设置有侧板40，吹气孔12设置于所述侧板40的上端面上，本实施例将吹气孔12设置于侧板40 上，使得吹气孔12能够随侧板40移动，从而可以根据实际情况调节吹气孔12 位置。在本实施例中的吹气孔12和传感器14相对位置可以与实施例一的相同，也可以与实施例二中的相同。

本实施例中的其他结构与实施例二中相同，在此不再一一赘述。

注意，以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施方式的限制，上述实施方式和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。