1.一种硅片运输装置，其特征在于，包括：
运输台，用于将硅片(30)输送至限位机构内；
吹气组件(11)，对应所述限位机构，能够将到达所述限位机构内的硅片(30)吹起；
检测组件，能够检测所述运输台上硅片(30)的位置；及
控制器，连接所述吹气组件(11)和检测组件，并控制所述吹气组件(11)启停。
2.根据权利要求1所述的硅片运输装置，其特征在于，所述吹气组件(11)包括多个吹气孔(12)，所述检测组件包括传感器(14)。
3.根据权利要求2所述的硅片运输装置，其特征在于，所述吹气孔(12)位于所述传感器(14)的两侧，或所述吹气孔(12)沿所述传感器(14)的周向分布。
4.根据权利要求2所述的硅片运输装置，其特征在于，所述传感器(14)和所述吹气孔(12)沿所述硅片(30)的运输方向依次设置。
5.根据权利要求2所述的硅片运输装置，其特征在于，所述吹气组件(11)还包括风道(111)及与所述风道(111)连接的鼓风机(112)，所述风道(111)连通所述吹气孔(12)。
6.根据权利要求5所述的硅片运输装置，其特征在于，所述风道(111)上设置有电磁阀。
7.根据权利要求2所述的硅片运输装置，其特征在于，所述运输台包括伸缩台(1)及机体(10)，所述伸缩台(1)能够相对于所述机体(10)沿硅片(30)运输方向进行直线伸缩，所述伸缩台(1)上设置有用于传送硅片(30)的传送组件(13)。
8.根据权利要求7所述的硅片运输装置，其特征在于，所述传送组件(13)位于所述伸缩台(1)的相对的两侧，所述传送组件(13)包括主动轮(131)、从动轮(132)及连接所述主动轮(131)和所述从动轮(132)的传送带(133)，所述主动轮(131)和所述从动轮(132)分别设置于所述伸缩台(1)的两端，所述主动轮(131)连接有驱动部件。
9.根据权利要求8所述的硅片运输装置，其特征在于，所述驱动部件为电机。
10.根据权利要求7所述的硅片运输装置，其特征在于，所述伸缩台(1)的相对的两侧滑动设置有侧板(40)，所述吹气孔(12)设置于所述侧板(40)的上端面上。