技术总结
本实用新型公开了一种半导体晶圆安装机台，包括限位槽、桌板、第一滑块和第二限位块，所述桌板的上表面开设有限位槽，所述限位槽的底端贯穿开设有固定槽，所述桌板的表面固定有第一限位块，所述第二限位块的底端表面设有第二滑块，所述第二限位块通过限位槽、固定槽、第二滑块和螺纹柱滑动安装在桌板上，所述桌板通过支柱固定有限位杆，所述限位杆上滑动安装有滑杆，所述第一滑块的顶端表面安装有把手，所述第一滑块的顶端表面位于把手的一侧安装有换向阀，所述第一滑块的下方设有螺纹杆，所述第一滑块通过螺纹杆滑动安装有固定块。本实用新型具备可使晶圆准确安装在基座内，且安装时无需使用手直接接触晶圆，从而防止晶圆的品质降低的优点。
技术研发人员：王成;徐晶骥
受保护的技术使用者：上海东煦电子科技有限公司
技术研发日：2018.08.16
技术公布日：2019.03.01