一种半导体晶圆安装机台的制作方法

本实用新型涉及半导体晶圆安装技术领域，具体为一种半导体晶圆安装机台。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。在生产晶圆的过程中需要对晶圆进行覆膜，需要先将晶圆安装到基座中，之后放入覆膜机中进行覆膜，但晶圆质地较脆，安装时易使晶圆破损，且直接用手接触会影响晶圆的质量，从而降低晶圆品质。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆安装机台，具备可使晶圆准确安装在基座内，且安装时无需使用手直接接触晶圆，从而防止晶圆的品质降低的优点，解决了在生产晶圆的过程中需要对晶圆进行覆膜，需要先将晶圆安装到基座中，之后放入覆膜机中进行覆膜，但晶圆质地较脆，安装时易使晶圆破损，且直接用手接触会影响晶圆的质量，从而降低晶圆品质的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体晶圆安装机台，包括限位槽、桌板、第一滑块和第二限位块，所述桌板的上表面开设有限位槽，所述限位槽的底端贯穿开设有固定槽，所述桌板的表面固定有第一限位块，所述第二限位块的底端表面设有第二滑块，所述第二滑块的底端焊接有螺纹柱，螺纹柱的底端位于桌板外侧安装有螺母，所述第二限位块通过限位槽、固定槽、第二滑块和螺纹柱滑动安装在桌板上，所述桌板的上表面固定有支柱，所述桌板通过支柱固定有限位杆，所述限位杆上滑动安装有滑杆，所述滑杆上开设有固定孔，所述限位杆背离滑杆的一端滑动安装有第一滑块，所述第一滑块的顶端表面安装有把手，所述第一滑块的顶端表面位于把手的一侧安装有换向阀，所述第一滑块的下方设有螺纹杆，所述第一滑块通过螺纹杆滑动安装有固定块。

优选的，所述固定孔共设有两个，且两个固定孔在滑杆的两端对称分布，所述固定孔的开设位置与滑杆内的限位杆的位置相对应，且固定孔内设有固定螺栓。

优选的，所述固定块的底端表面均匀等距安装有吸盘。

优选的，所述螺纹杆位于第一滑块外侧的一端安装有转盘，所述转盘的表面安装有转柄。

优选的，所述把手位于第一滑块的中心处。

优选的，所述固定孔和第一滑块开设有与限位杆相适配的通孔，固定孔和第一滑块通过通孔滑动安装在限位杆上。

优选的，所述限位杆共设有两个，且两个限位杆在桌板的上表面对称分布，两个所述限位杆的底端表面均设有两个支柱。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置第二限位块，第二限位块的底端表面设有第二滑块，且第二滑块与限位槽相适配，第二限位块通过第二滑块滑动安装在桌板上，且第二限位块的底端设有螺纹柱与限位槽底端的固定槽相适配，便于使第二限位块通过螺纹柱和螺母限位固定在桌板上。

2、本实用新型通过设置螺纹杆，螺纹杆的一端设有转盘，使螺纹杆可通过转盘表面的转柄转动螺纹杆，固定块内部贯穿开设有与螺纹杆相适配的螺纹孔，使固定块可通过螺纹限位移动。

附图说明

图1为本实用新型的俯视结构示意图；

图2为本实用新型的主视外观示意图；

图3为本实用新型的滑块主视外观示意图。

图中：1、限位杆；2、限位槽；3、桌板；4、滑杆；5、固定孔；6、第一限位块；7、固定槽；8、第一滑块；9、换向阀；10、把手；11、转盘；12、转柄；13、第二限位块；14、支柱；15、第二滑块；16、螺纹柱；17、螺母；18、固定块；19、吸盘；20、螺纹杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。请参阅图1至图3，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体晶圆安装机台，包括限位槽2、桌板3、第一滑块8和第二限位块13，桌板3的上表面开设有限位槽2，便于通过第二滑块15限位滑动安装第二限位块13，限位槽2的底端贯穿开设有固定槽7，使第二限位块13滑动之后通过第二滑块15底端的螺纹柱16和螺母17夹持固定在桌板3的固定槽7内，桌板3的表面固定有第一限位块6，第一限位块6和第二限位块13均开设有卡槽，用于卡接晶圆基座，第二限位块13的底端表面设有第二滑块15，第二滑块15的底端焊接有螺纹柱16，螺纹柱16的底端位于桌板3外侧安装有螺母17，第二限位块13通过限位槽2、固定槽7、第二滑块15和螺纹柱16滑动安装在桌板3上，通过设置第二限位块13，第二限位块13的底端表面设有第二滑块15，且第二滑块15与限位槽2相适配，第二限位块13通过第二滑块15滑动安装在桌板3上，且第二限位块13的底端设有螺纹柱16与限位槽2底端的固定槽7相适配，便于使第二限位块13通过螺纹柱16和螺母17限位固定在桌板3上，桌板3的上表面固定有支柱14，桌板3上与支柱14相适配处开设有与支柱14相适配的通孔，且通孔内安装有弹簧，支柱14通过弹簧弹性安装在桌板3上，桌板3通过支柱14固定有限位杆1，限位杆1共设有两个，且两个限位杆1在桌板3的上表面对称分布，两个限位杆1的底端表面均设有两个支柱14。

限位杆1上滑动安装有滑杆4，滑杆4可对第一滑块8的滑动位置进行限位，滑杆4上开设有固定孔5，固定孔5共设有两个，且两个固定孔5在滑杆4的两端对称分布，固定孔5的开设位置与滑杆4内的限位杆1的位置相对应，且固定孔5内设有固定螺栓，滑杆4通过固定孔5内的固定螺栓限位固定在限位杆1上，限位杆1背离滑杆4的一端滑动安装有第一滑块8，固定孔5和第一滑块8开设有与限位杆1相适配的通孔，固定孔5和第一滑块8通过通孔滑动安装在限位杆1上，第一滑块8的顶端表面安装有把手10，把手10位于第一滑块8的中心处，第一滑块8的顶端表面位于把手10的一侧安装有换向阀9，换向阀9使用两位三通手动换向阀9，第一滑块8的下方设有螺纹杆20，通过设置螺纹杆20，螺纹杆20的一端设有转盘11，使螺纹杆20可通过转盘11表面的转柄12转动螺纹杆20，固定块18内部贯穿开设有与螺纹杆20相适配的螺纹孔，使固定块18可通过螺纹限位移动，螺纹杆20位于第一滑块8外侧的一端安装有转盘11，转盘11的表面安装有转柄12，使用者通过手动转动转盘11控制螺纹杆20的旋转，使螺纹杆20与第一滑块8发生相对位移，从而调整固定块18底端的吸盘19的位置，第一滑块8通过螺纹杆20滑动安装有固定块18，固定块18的底端表面均匀等距安装有吸盘19，换向阀9与固定块18通过气管连接，且吸盘19与固定块18连通，使用时将换向阀9与外接真空泵连通，通过换向阀9控制真空泵的气流方向，使吸盘19产生负压，从而使吸盘19吸取晶圆。

使用者在使用时，将晶圆基座通过第一限位块6和第二限位块13限位卡接，之后将晶圆连同晶圆架放置在固定块18下方，通过使用者手动旋转转盘11使螺纹杆20旋转，使螺纹杆20与第一滑块8发生相对位移，从而调整固定块18底端的吸盘19的位置，之后通过换向阀9接通真空泵使吸盘19产生负压，之后下压固定块18，固定块18下方限位杆1，限位杆1下方安装有支柱14，桌板3上与支柱14相适配处开设有与支柱14相适配的通孔，且通孔内安装有弹簧，支柱14通过弹簧弹性安装在桌板3上，吸盘19吸住晶圆，之后通过第一滑块8和限位杆1滑动使晶圆位于基座上晶圆卡槽的正上方，之后将滑杆4通过固定孔5内的螺栓限位固定，便于之后安装晶圆时使第一滑块8可通过滑杆4快速定位，增加安装效率。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。