1.一种湿式机台槽内载具，包括载具架(1)、机台槽(2)、气体通入装置传动机构(3)、密封舱(4)、气体输入管道(5)、气体干燥装置(6)、吸气机(7)、气体过滤装置(8)、载具座(9)、气体通入装置(10)以及铁氟龙顶杆(11)，其特征在于，所述载具座(9)设于机台槽(2)内，所述密封舱(4)设于载具座(9)上，所述气体通入装置传动机构(3)设于密封舱(4)内，所述载具架(1)设于载具座(9)上端，所述铁氟龙顶杆(11)固定于载具座(9)上，所述气体通入装置(10)设于载具座(9)上且位于铁氟龙顶杆(11)下侧，所述气体输入管道(5)一端连接气体通入装置(10)，另一端连接吸气机(7)，所述气体过滤装置(8)与气体干燥装置(6)在吸气机(7)与气体通入装置(10)之间的气体输入管道(5)依次安装；
所述载具架(1)为上大下小的支架，所述载具架(1)侧壁下端设有凹槽，所述凹槽恰好与铁氟龙顶杆(11)相配合，所述载具架(1)侧壁涂有铁氟龙。
2.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体通入装置传动机构(3)包括第一转动轴(31)、第一传动皮带轮(32)、传动皮带(33)、第二转动轴(34)、第二传动皮带轮(35)、传动电机(36)以及传动电机固定架(37)，所述第一转动轴(31)安装于机台槽(2)侧壁的轴承上，所述第一转动轴(31)一端连接气体通入装置(10)，另一端连接第一传动皮带轮(32)，所述传动电机(36)通过传动电机固定架(37)安装于密封舱(4)的内侧壁上，所述第二转动轴(34)一端连接传动电机(36)输出轴承，另一端连接第二传动皮带轮(35)，所述第一传动皮带轮(32)与第二传动皮带轮(35)通过传动皮带(33)连接。
3.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体干燥装置(6)包括空气干燥剂(61)、干燥装置外壳(62)以及干燥过滤网(63)，所述空气干燥剂(61)与干燥过滤网(63)设于干燥装置外壳(62)内，所述空气干燥剂(61)外侧包裹有干燥过滤网(63)，所述干燥过滤网(63)固定于干燥装置外壳(62)内侧壁上，所述干燥装置外壳(62)两端连接有气体输入管道(5)；
所述干燥装置外壳(62)两端连接气体输入管道(5)处的内侧壁设有螺纹，所述气体输入管道(5)与干燥装置外壳(62)两端连接处的外侧壁设有螺纹，两者螺纹配合。
4.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体过滤装置(8)包括过滤上盖(81)、过滤外壳(82)、过滤网(83)以及滤芯(84)，所述过滤上盖(81)上端安装有气体输入管道(5)，所述过滤外壳(82)下端侧面设有气体输入管道(5)，所述过滤网(83)以及滤芯(84)设于过滤外壳(82)内侧，所述过滤上盖(81)设于过滤外壳(82)上端面，所述滤芯(84)包裹于过滤网(83)内部；
所述过滤上盖(81)与过滤外壳(82)通过螺纹配合。
5.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体通入装置(10)包括气体通入装置外壳(101)、外壳气体入口(102)、通入装置电机密封舱(103)、通入装置电机固定架(104)、气体输入底座(105)、底座气体输出口(106)、通入装置电机(107)、第一通入装置皮带轮(108)、第一通入装置转动轴(109)、通入装置皮带(1010)、第二通入装置转动轴(1011)、第二通入装置皮带轮(1012)、通入装置皮带传动密封舱(1013)、气体通入装置体积改变器(1014)、气体输出喷口(1015)以及气体通入装置外壳出气通道(1016)，所述气体通入装置外壳出气通道设于气体通入装置外壳(101)外侧，所述气体通入装置体积改变器(1014)通过改变器转动轴设于气体通入装置外壳(101)内侧，所述气体输出喷口(1015)设于气体通入装置外壳出气通道上，所述气体通入装置外壳(101)下端安装有气体输入底座(105)，所述气体通入装置外壳(101)下端设有外壳气体入口(102)，所述气体输入底座(105)上端设有底座气体输出口(106)，所述气体输入底座(105)下端连接气体输入管道(5)，所述底座气体输出口(106)与外壳气体入口(102)相配合，所述通入装置电机(107)通过通入装置电机固定架(104)固定于通入装置电机密封舱(103)内，所述通入装置电机密封舱(103)固定于气体通入装置外壳(101)上，所述第一通入装置皮带轮(108)安装于第一通入装置转动轴(109)上，所述第二通入装置皮带轮(1012)安装于第二通入装置转动轴(1011)，所述第一通入装置皮带轮(108)与第二通入装置皮带轮(1012)通过通入装置皮带(1010)连接，所述第一通入装置转动轴(109)与装置电机(107)输出轴连接，所述第二通入装置转动轴(1011)与改变器转动轴连接，所述通入装置皮带传动密封舱(1013)设于第一通入装置皮带轮(108)、第二通入装置皮带轮(1012)以及通入装置皮带(1010)外侧且与通入装置电机密封舱(103)连接；
所述气体通入装置体积改变器(1014)为一个空心半圆柱壳体，圆柱中心位置设有改变器转动轴，通过改变器转动轴转动带动空心半圆柱体转动，从而改变气体通入装置外壳(101)的内部空间，即改变气体通入装置外壳(101)内部可用体积；
所述气体通入装置外壳出气通道(1016)在气体输出喷口(1015)位置为一个小平面，所述小平面上设有四排喷口，且所有气体输出喷口(1015)呈斜向排列；
所述气体通入装置外壳(101)两端固定有外壳轴，所述改变器转动轴通过轴承设于外壳轴内部，所述外壳轴与第一转动轴(31)连接。