一种太阳能硅片的吸盘装置的制作方法

文档序号:18090262发布日期:2019-07-06 10:44阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种太阳能硅片的吸盘装置,包括安装部(7)和吸盘部(8),所述安装部(7)设有吸盘(1),吸盘(1)前表面设2-4个有安装孔(1a),其特征在于,所述吸盘(1)前表面中间内部设有通气孔(1b),通气孔(1b)外表面设有密封圈安装室(1g),所述吸盘部(8)设有盖板(2),盖板(2)下方前表面中间内部设有真空室(1e)。

2.根据权利要求1所述的太阳能硅片的吸盘装置,其特征在于,所述吸盘(1)与盖板(2)之间固定连接。

3.根据权利要求2所述的太阳能硅片的吸盘装置,其特征在于,所述真空室(1e)的数量为1-5个,并且真空室(1e)中间内部设有气流道(1d)。

4.根据权利要求3所述的太阳能硅片的吸盘装置,其特征在于,所述气流道(1d)上方与通气孔(1b)相互连通。

5.根据权利要求1所述的太阳能硅片的吸盘装置,其特征在于,所述密封圈安装室(1g)内部安装有密封圈(6)。

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