1.一种保护装置，特别是用于晶圆运输容器的保护装置，具有配置为至少用于保护晶圆运输容器(16)的晶圆运输容器开启元件(14)的至少一个正配合单元(10)，所述晶圆运输容器开启元件(14)藉由关闭机构(12)保持在其关闭位置。
2.如权利要求1所述的保护装置，其特征在于，所述正配合单元(10)包括至少一个正配合凹部(18)和至少一个正配合元件(20)，其中所述正配合凹部(18)和所述正配合元件(20)配置为在适当保护时以无接触方式彼此联结。
3.如权利要求1或2所述的保护装置，其特征在于所述保护装置与所述晶圆运输容器(16)至少部分地一体实施。
4.如前述权利要求中任一项所述的保护装置，其特征在于具有至少一个复位元件(22)，所述复位元件配置为将所述正配合单元(10)至少部分地重新偏转到保护位置和/或将所述正配合单元(10)保持在所述保护位置。
5.如前述权利要求中任一项所述的保护装置，其特征在于具有至少一个腔室(24)，所述腔室包括配置为允许所述腔室(24)中的内部压力相对于参考压力变化的压力连接通道(26)，其中压力差根据所述腔室(24)的内部压力及所述参考压力计算，并配置为影响所述正配合单元(10)的保护状态。
6.如权利要求4或5所述的保护装置，其特征在于，所述至少一个复位元件(22)至少大部分布置在所述腔室(24)内。
7.如权利要求5所述的保护装置，其特征在于，所述正配合单元(10)包括至少一个被可移动地支承的正配合元件(20)，其中所述正配合元件(20)相对于所述腔室(24)的至少一个腔室壁(28)的位置取决于所述压力差。
8.如权利要求5所述的保护装置，其特征在于，所述正配合单元(10)配置为在所述压力差超过极限压力差时采取非保护位置。
9.如前述权利要求中任一项所述的保护装置，其特征在于具有至少一个另外的腔室(30)，所述另外的腔室(30)在所述保护装置的保护状态及所述保护装置的非保护状态下具有与环境压力相同的内部压力。
10.如权利要求5或9所述的保护装置，其特征在于具有至少一个被可移动地支承的设定元件(32)，所述设定元件至少部分地界定所述腔室(24)和所述另外的腔室(30)。
11.如权利要求10所述的保护装置，其特征在于，所述设定元件(32)配置为根据所述腔室(24)和所述另外的腔室(30)的内部压力的压力差来改变所述腔室(24)的内部容积(34)和/或所述另外的腔室(30)的内部容积(36)。
12.如权利要求5所述的保护装置，其特征在于具有至少一个额外的另外的腔室(38)，所述额外的另外的腔室配置为在至少一个运行状态下具有不同于所述环境压力的内部压力。
13.如前述权利要求中任一项所述的保护装置，其特征在于具有线性轴承(40)，所述线性轴承配置为允许所述正配合单元(10)的平移移动。
14.如权利要求5所述的保护装置，其特征在于，所述压力连接通道(26)配置为至少将所述腔室(24)与装载和/或卸载站(44)的真空夹紧装置(42)联结，所述装载和/或卸载站(44)配置为至少将至少一个晶圆(46)装载到晶圆运输容器(16)中和/或从晶圆运输容器(16)中卸载出来。
15.如前述权利要求中任一项所述的保护装置，其特征在于具有至少一个紧急保护和/或紧急释放元件(48)，所述紧急保护和/或紧急释放元件配置为用于所述保护装置的手动紧急保护和/或手动紧急释放。
16.如权利要求9或15所述的保护装置，其特征在于，所述紧急保护和/或紧急释放元件(48)至少部分地布置在所述另外的腔室(30)中。
17.如前述权利要求中任一项所述的保护装置，其特征在于具有至少一个状态感测器(50)，所述状态感测器配置为感测所述保护装置的保护状态。
18.一种晶圆运输容器(16)，具有如权利要求1至17中任一项所述的至少一个保护装置，所述保护装置配置为在保护情况下防止所述晶圆运输容器开启元件(14)从所述晶圆运输容器(16)的基体(52)中完全移除。
19.如权利要求18所述的晶圆运输容器(16)，其特征在于，所述至少一个保护装置实施为与所述晶圆运输容器(16)的基体(52)成一体的。
20.如权利要求18或19所述的晶圆运输容器(16)，其特征在于，所述晶圆运输容器(16)包括实现另外的压力连接通道(54)的至少一个正配合凹部(18)，所述另外的压力连接通道(54)配置为用于对所述保护装置额外的另外的腔室(38)抽气。
21.一种保护系统(56)，特别是真空保护系统，具有如权利要求1至17中任一项所述的至少一个保护装置，具有如权利要求18至20中任一项所述的晶圆运输容器(16)，并具有配置为至少用于将晶圆(46)装载到所述晶圆运输容器(16)中和/或从所述晶圆运输容器(16)中卸载出来的装载和/或卸载站(44)。
22.如权利要求21所述的保护系统，其特征在于具有真空泵单元(58)，所述真空泵单元配置为至少用于将所述装载和/或卸载站(44)上的所述晶圆运输容器(16)真空夹紧在装载和/或卸载位置处，并改变腔室(24)中的内部压力。
23.一种使用保护装置，特别是如权利要求1至17中任一项所述的保护装置的方法，所述保护装置具有如权利要求18至20中任一项所述的晶圆运输容器(16)和/或具有如权利要求21或22所述的保护系统(56)，具有至少一个正配合单元(10)，其特征在于，所述晶圆运输容器(16)藉由关闭机构(12)保持在其关闭位置的晶圆运输容器开启元件(14)经由所述正配合单元(10)保护。
24.如权利要求23所述的方法，其特征在于，所述正配合单元(10)的保护通过所述保护装置的腔室(24)中内部压力的改变而实现。
25.如权利要求23或24所述的方法，其特征在于，在所述关闭机构(12)的无故障正常操作中，所述晶圆运输容器开启元件(14)由所述正配合单元(10)以无接触方式保护，其中在所述关闭机构(12)故障的情况下，为了将所述晶圆运输容器开启元件(14)保持在所述关闭位置附近，建立所述正配合单元(10)，特别是所述正配合单元(10)的正配合元件(20)与所述晶圆运输容器开启元件(14)的接触。