技术特征:
技术总结
本发明涉及一种基于Ti3C2‑MXene薄膜功能层的选通器件及其制备方法,属于微电子功能器件技术领域。本发明的选通器件,从下至上依次包括底电极、功能层、顶电极,其中:所述功能层材料为二维Ti3C2‑MXene薄膜。本发明采用滴涂法在底电极表面制备Ti3C2‑MXene薄膜,成膜简单,容易大面积制备,与衬底材料的附着性好,制得的薄膜致密性好。另外,本发明制备的选通管器件,具有较高的非线性值和开态电流密度,可以克服串扰问题,使它在电子器件应用领域极具研究价值。
技术研发人员:王浩;赵青尧;马国坤;蔡恒梅
受保护的技术使用者:湖北大学
技术研发日:2019.05.28
技术公布日:2019.08.16