一种电子封装用的压力自控装置的制作方法

文档序号:18789378发布日期:2019-09-29 18:28阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及集成电路设备技术领域,且公开了一种电子封装用的压力自控装置,包括传送装置,传送装置的顶端放置有基板,基板的顶部设有芯片,且芯片的顶端设有负压吸盘,负压吸盘的内部连通有气路接头,且气路接头的顶端通过固定连杆与自控装置的内部固定连接,自控装置外部的一侧设有驱动模块Ⅰ。该电子封装用的压力自控装置,通过自控装置的设置,利用承重砝码及其自身的重力来调整芯片与基板之间的压力,与现有的压力控制系统相比,该压力控制装置不存在反馈时间,压力的大小控制的较为精准,有效的降低了芯片在装贴时的损坏率,同时整个装置结构简单,操控灵活,降低了该贴片机压力控制装置的配置成本及日常的维护成本。

技术研发人员:张帆
受保护的技术使用者:张帆
技术研发日:2019.06.20
技术公布日:2019.09.27
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