存储单元及存储装置的制作方法

文档序号:18875962发布日期:2019-10-15 17:56阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种存储单元,其特征在于,包括:

一薄膜晶体管层,其包含一沟道层,以及接触该沟道层相对两侧的一第一源极/漏极结构与一第二源极/漏极结构;

一栅极介电层,设置于该薄膜晶体管层的下方;

一栅极导电层,设置于该栅极介电层的下方,用以控制该沟道层的导通或关闭;

一第一加热器和一第二加热器,分别设置于该第一源极/漏极结构及该第二源极/漏极结构上;

一相变层,设置于该沟道层之上,并接触该第一加热器及该第二加热器;以及

一介电层,设置于该相变层之下,该相变层通过该介电层而与该沟道层分开。

2.如权利要求1所述的存储单元,其中该相变层设置于该第一加热器及该第二加热器上,且该相变层的两端的底部接触该第一加热器及该第二加热器。

3.如权利要求2所述的存储单元,其中该第一加热器的一上表面、该第二加热器的一上表面、以及该介电层的一上表面共平面。

4.如权利要求1所述的存储单元,其中该相变层设置于该第一加热器与该第二加热器之间,且该相变层的两端的侧壁接触该第一加热器及该第二加热器。

5.如权利要求4所述的存储单元,其中该第一加热器的一上表面、该第二加热器的一上表面、以及该相变层的一上表面共平面。

6.如权利要求1所述的存储单元,进一步包括:

一栅极金属层,设置于该栅极导电层之下。

7.一种存储装置,其特征在于,包括串联连接的多个如权利要求1所述的存储单元。

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