1.一种半导体装置,包括:
一晶体管,具有一通道区,该通道区包含一成分元素与多个多余原子,且该成分元素属于元素周期表的一族,其中:
该些多余原子为氮,或属于元素周期表的该族,以及
该通道区中的该些多余原子的浓度介于约1019cm-3至约1021cm-3之间;以及
一隔离区,与该晶体管相邻,该隔离区亦含有该些多余原子,且该隔离区中的该些多余原子的浓度介于约1020cm-3至约1021cm-3之间。