一种选通管及其制备方法与流程

文档序号:23621827发布日期:2021-01-12 10:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种选通管,包括:

衬底;

设置于衬底上的交替层,所述交替层由底电极层与绝缘层交替形成;

所述交替层上开设有u型凹槽,从所述u型凹槽的内壁至所述u型凹槽中心的方向依次设置有选通层和介质层,所述介质层围成的凹型空间内填充有顶电极层。

2.如权利要求1所述的选通管,其特征在于:

所述底电极层为tin层;所述绝缘层为sio2层。

3.如权利要求1所述的选通管,其特征在于:

所述选通层为铌的氧化物层,所述选通层的厚度为25~40nm。

4.如权利要求1所述的选通管,其特征在于:

所述介质层为hfo2层,所述介质层的厚度为18~22nm。

5.如权利要求1所述的选通管,其特征在于:

所述顶电极层为pt层,位于所述凹型空间内的所述顶电极层的宽度为45~55nm。

6.一种选通管的制备方法,其特征在于,包括:

在衬底上形成交替层,所述交替层由底电极层与绝缘层交替形成;

刻蚀所述交替层形成u型凹槽;

在所述u型凹槽内壁上依次形成选通层和介质层;

在所述介质层围成的凹型空间内填充顶电极层。

7.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述在衬底上形成交替层,包括:

在所述衬底上形成由tin层与sio2层交替形成的交替层。

8.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述在所述u型凹槽内壁上依次形成选通层和介质层,包括:

采用磁控溅射技术击打包括nb元素和o元素的靶材,在通氧量为0.6-1.0sccm的条件下,在所述u型凹槽内壁上沉积铌的氧化物,形成所述选通层;

在所述选通层上形成所述介质层。

9.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述在所述u型凹槽内壁上依次形成选通层和介质层,包括:

在所述u型凹槽内壁上形成所述选通层;

在所述选通层上采用原子层沉积技术沉积hfo2,形成所述介质层。

10.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述在所述介质层围成的凹型空间内填充顶电极层,包括:

采用磁控溅射技术在所述介质层围成的凹型空间内沉积pt,形成所述顶电极层,位于所述凹型空间内的所述顶电极层的宽度为45~55nm。


技术总结
本发明公开了一种选通管及其制备方法,选通管包括:衬底;设置于衬底上的交替层,所述交替层由底电极层与绝缘层交替形成;所述交替层上开设有U型凹槽,从所述U型凹槽的内壁至所述U型凹槽中心的方向依次设置有选通层和介质层,所述介质层围成的凹型空间内填充有顶电极层。本发明提供的选通管和制备方法,用以解决现有技术中选通管漏电流高的技术问题。提供了一种低漏电流的选通管。

技术研发人员:罗庆;丁亚欣;吕杭炳;刘明
受保护的技术使用者:中国科学院微电子研究所
技术研发日:2020.07.22
技术公布日:2021.01.12
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