电触头、电连接结构及电连接装置的制作方法
本发明涉及一种电触头、电连接结构及电连接装置，例如，能够应用于半导体晶圆上的集成电路、被检查体的通电试验中使用的电触头、电连接结构及电连接装置。
背景技术：
形成于半导体晶圆上的集成电路、被封装的集成电路等被检查体在各自的制造阶段进行电特性的检查。在半导体晶圆上的集成电路的电检查中使用探针卡等电连接装置，在被封装的集成电路的电检查中使用插座等电连接装置。在这样的电连接装置中，使用与第一接触对象和第二接触对象接触的电触头，并且通过电触头在第一接触对象与第二接触对象之间进行电信号的导通。
以往，存在多种多样的电触头，而且存在组合多个构成部件而形成的电触头。在使用由这样的多个构成部件形成的电触头，而使电信号在第一接触对象与第二接触对象之间导通的情况下，电阻在构成部件彼此的接触部位变大，可能会对电导通性产生影响。
在专利文献1中，公开了一种对薄壁带状的基板进行弯曲加工，并使螺旋状的筒状套筒、位于筒状套筒的一端的第一端子和位于筒状套筒的另一端的第二端子一体成形的弹簧探针。由于这样的弹簧探针由薄壁带状的基板一体地形成，因此导电性良好。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2011－12992号公报
技术实现要素：
发明要解决的问题
然而，在使用专利文献1所记载的弹簧探针使电信号在第一接触对象与第二接触对象之间导通的情况下，由于弹簧探针中的电导通路径经由卷绕成螺旋状的一对线圈弹簧，因此路径长度变长，从而要求提高电导通性。
因此，本发明是鉴于上述问题做出的，其目的在于，提供一种以较少的部件数形成，能够提高弹性构件的滑动性、与接触对象的电接触稳定性，并且能够提高电触头中的导通性的电触头、电连接结构及电连接装置。
解决问题的技术手段
为了解决上述问题，第一本发明的电触头是由具有导电性的板状构件形成的电触头，其中，板状构件具备：主体部；越靠顶端越细状的上部臂部，其从主体部的一端部朝向斜上方延伸；第一顶端部，其设置于上部臂部的顶端；越靠顶端越细状的下部臂部，其从主体部的一端部朝向斜下方延伸；以及第二顶端部，其设置于下部臂部的顶端，所述电触头具备：(1)第一接触部，其通过卷绕第一顶端部而形成，并且与第一接触对象接触；(2)竹笋弹簧结构的第一弹性部，其通过卷绕上部臂部而形成，并且在轴向上对第一接触部施加弹性；(3)第二接触部，其通过卷绕第二顶端部而形成，并且与第二接触对象接触；(4)竹笋弹簧结构的第二弹性部，其通过卷绕下部臂部而形成，并且在轴向上对第二接触部施加弹性；以及(5)连结部，其卷绕主体部而使第一弹性部和第二弹性部分别具有弹性，并且连结第一弹性部和第二弹性部，与第一接触对象接触的第一接触部的顶端面、和与第二接触对象接触的第二接触部的顶端面两方或任一方为倾斜面。
第二本发明的电触头是由具有导电性的板状构件形成的电触头，其中，(1)板状构件具备：主体部；越靠顶端越细状的上部臂部，其从主体部的一端部朝向斜上方向延伸；顶端部，其设置于上部臂部的顶端；以及多个山形突起部，其设置于主体部的下端部，所述电触头具备：(2)第一接触部，其通过卷绕顶端部而形成，并且与第一接触对象接触；(3)竹笋弹簧结构的弹性部，其通过卷绕上部臂部而形成，并且在轴向上对第一接触部施加弹性；以及(4)筒状部，其卷绕主体部而在内侧收纳弹性部的基端部，并且伴随下端部的多个山形突起部与第二接触对象接触，与第一接触对象接触的第一接触部的顶端面为倾斜面。
第三本发明的电连接结构具备第一接触对象、第二接触对象、以及与第一接触对象及第二接触对象电接触的电触头，并且通过电触头在第一接触对象与第二接触对象之间进行电连接，电触头具有：第一接触部，其与第一接触对象接触；竹笋弹簧结构的第一弹性部，其在轴向上对第一接触部施加弹性；第二接触部，其与第二接触对象接触；竹笋弹簧结构的第二弹性部，其在轴向上对第二接触部施加弹性；以及连结部，其使第一弹性部和第二弹性部分别具有弹性，并且连结第一弹性部和第二弹性部，第一接触部和/或第二接触部的顶端面和第一接触对象和/或第二接触对象的表面以相对倾斜的方式相对，当第一接触部的顶端面和第一接触对象的表面接触，并且第二接触部的顶端面和第二接触对象的表面接触时，通过电触头的变形，第一弹性部及所述第二弹性部的、内侧构件的外壁和外侧构件的内壁能够电接触。
第四本发明的电连接装置具备与第一接触对象和第二接触对象接触的多个电触头，其中，多个电触头为第一本发明或第二本发明的电触头。
发明的效果
根据本发明，能够以较少的部件数形成，并能够提高弹性构件的滑动性、与接触对象的电接触稳定性，并且能够提高电触头中的导通性。
附图说明
图1是表示第一实施方式的触头的结构的构成图。
图2是表示形成第一实施方式的触头前的板状构件的构成的构成图。
图3是表示第一实施方式的电连接装置的构成的构成图。
图4是说明第一实施方式的触头的制造方法的说明图(之一)。
图5是说明第一实施方式的触头的制造方法的说明图(之二)。
图6是例示第一实施方式的触头的容纳状态和受到负载时的状态的图。
图7是说明第一实施方式的第一倾斜接触部与接触端子的接触状态的说明图。
图8是说明第一实施方式的触头的变形前及变形后的构成以及俯视的构成、电导通路径的说明图。
图9是说明变形实施方式的第一倾斜接触部与接触端子的接触状态的说明图。
图10是表示形成第二实施方式的电触头前的板状构件的构成的构成图。
图11是表示第二实施方式的电触头的构成的构成图。
图12是表示形成第三实施方式的电触头前的板状构件的构成的构成图。
图13是表示第三实施方式的电触头的构成的构成图。
图14是表示变形实施方式的板状构件的构成的构成图。
图15是表示变形实施方式的板状构件及电触头的构成的构成图。
具体实施方式
(a)第一实施方式
以下，一边参照附图，一边详细地说明本发明的电触头及电连接装置的第一实施方式。
在第一实施方式中，如后所述，例示了将本发明的电触头应用于搭载在作为电连接装置的构成构件的电连接单元的触头的情况。本发明的电触头能够应用于与第一接触对象和第二接触对象电接触，并且可使电信号在第一接触对象与第二接触对象之间导通的触头。此外，在第一实施方式中，例示了在电连接单元的触头中应用本发明的电触头的情况，但本发明也能够应用于与被检查体的电极端子连接的探针等。
另外，在第一实施方式中，例示了本发明的电连接装置作为将形成于半导体晶圆上的集成电路作为被检查体并且用于该被检查体的电检查的电连接装置的情况。此外，本发明的电连接装置能够应用于使用本发明的电触头使电信号在第一接触对象与第二接触对象之间导通而使它们电连接的装置。
(a-1)第一实施方式的构成
(a-1-1)电连接装置
图3是表示第一实施方式的电连接装置的构成的构成图。
图3的电连接装置10示出了主要的构成构件，但并不限定于这些结构构件，实际上也具有未表示在图3中的构成构件。另外，以下，着眼于图3中的上下方向时称为“上”、“下”。
在图3中，该实施方式的电连接装置10具有：平板状的支承构件12；平板状的布线基板14，其保持在所述支承构件12的下表面12a；电连接单元15，其与所述布线基板14电连接；以及探针基板16，其与所述电连接单元15电连接并且具有多个探针20。
在组装支承构件12、布线基板14、电连接单元15、探针基板16时，电连接装置10使用许多固定构件(例如，螺栓等拧合构件等)，但在图3中未图示这些固定构件。
电连接装置10将例如形成于半导体晶圆上的半导体集成电路等作为被检查体2，并且进行被检查体2的电检查。具体而言，将被检查体2朝向探针基板16按压，使探针基板16的各探针20的顶端部与被检查体2的电极端子2a电接触，并且从未图示的测试器(检查装置)向被检查体2的电极端子2a供给电信号，进一步将来自被检查体2的电极端子2a的电信号给予测试器侧，从而进行被检查体2的电检查。
作为检查对象的被检查体2载置于卡盘顶部3的上表面。卡盘顶部3能够在水平方向的x轴方向、在水平面上垂直于x轴方向的y轴方向、垂直于水平面(x-y平面)的z轴方向上调节位置，进一步，也能够在绕z轴的θ方向上调节旋转姿势。在实施被检查体2的电检查时，使能够在上下方向(z轴方向)上升降的卡盘移动，而使被检查体2的电极端子2a与探针基板16的各探针20的顶端部电接触。因此，以电连接装置10的探针基板16的下表面与卡盘顶部3的上表面的被检查体2相对接近的方式移动。
[支承构件]
支承构件12抑制布线基板14的变形(例如，挠曲等)。例如，由于探针基板16具有多个探针20，因此安装于布线基板14侧的探针基板16的重量增加。另外，在进行被检查体2的电检查时，探针基板16被卡盘顶部3上的被检查体2按压，从而在探针基板16的下表面突出的探针20的顶端部与被检查体2的电极端子2a电接触。像这样，在电检查时，从下向上推动的反作用力(接触负载)发生作用，大的负载也被施加到布线基板14。支承构件12作为抑制布线基板14的变形(例如，挠曲等)的构件发挥作用。
另外，在支承构件12设有使上表面和下表面贯通的多个贯通孔121。多个贯通孔121分别设置于与配置于后述的探针基板16的上表面的多个锚50的各自位置对应的位置，且设置于与在布线基板14上设置的多个贯通孔141的各自位置对应的位置。
间隔件(以下，也称为“支承部”)51从支承构件12的上方朝向下方插通于支承构件12的各贯通孔121中，间隔件(支承部)51的下端部与对应的锚50成为能够固定的结构。例如、间隔件(支承部)51的下端部成为外螺纹部，另外，配置于探针基板16的上表面的锚50的大致中央部成为内螺纹部501，能够通过间隔件(支承部)51的下端部(外螺纹部)与锚50的内螺纹部501拧合来固定。由此，能够将探针基板16的上表面与支承构件12的上表面之间的距离保持为规定的距离长度。
[布线基板]
布线基板14例如由聚酰亚胺等树脂材料形成，并且例如是形成为大致圆形板状的印刷基板等。在布线基板14的上表面的周缘部配置有用于与测试器(检查装置)的测试头(未图示)电连接的多个电极端子(未图示)。另外，在布线基板14的下表面形成有布线图案，布线图案的连接端子14a与设置于电连接单元15的触头30的上端部电连接。
进一步，在布线基板14的内部形成有布线电路(未图示)，布线基板14的下表面的布线图案和布线基板14的上表面的电极端子能够通过布线基板14内部的布线电路连接。因此，通过布线基板14内的布线电路，能够使电信号在与布线基板14的下表面的布线图案的连接端子14a电连接的电连接单元15的各触头30、和与布线基板14的上表面的电极端子连接的测试头之间导通。在布线基板14的上表面也配置有被检查体2的电检查中所需的多个电子元件。
另外，在布线基板14设有使该布线基板14的上表面和下表面贯通的个贯通孔141。多个贯通孔141分别配置于与在探针基板16的上表面配置的多个锚50的各自位置对应的位置，且配置于与支承构件12的多个贯通孔121的各自位置对应的位置。
此外，各贯通孔141的开口形状能够设为与插通的支承部51的形状对应的形状。另外，为了能够在各贯通孔141中插通支承部51，各贯通孔141的内径与支承部51的外径大致相同或稍微偏大。
在该实施方式中，由于例示了支承部51为圆柱构件的情况，因此例示了贯通孔141的开口形状为大致圆形的情况，但并不限定于此。例如，支承部51可以是剖面形状为大致正方形等的直角柱的构件，也可以是该剖面形状为对边形的多角柱的构件等，即使是在这样的例子的情况下，贯通孔141的开口形状也可以设为能够插通支承部51的形状。
[电连接单元]
电连接单元15具有多个触头30。在电连接装置10的组装状态下，将各触头30的上端部电连接于布线基板14的下表面的布线图案的连接端子14a，另外，将各触头30的下端部连接于设置在探针基板16的上表面的衬垫161a。由于探针20的顶端部与被检查体2的电极端子电接触，因而被检查体2的电极端子通过探针20及触头30与测试器(检查装置)电连接，因此被检查体2能够通过测试器(检查装置)进行电检查。
例如，在电连接单元15中具有用于插通各触头30的多个插通孔，通过将触头30插通于各插通孔，各触头30的上端部及下端部突出。此外，在电连接单元15中，安装多个触头30的结构并不限定于设置有贯通孔的结构，可以广泛地应用各种构成。在电连接单元15的周围设有凸缘部151。
[探针基板]
探针基板16是具有多个探针20的基板，并且形成为大致圆形或多边形(例如十六边形等)。作为探针20，例如能够使用悬臂型的探针等，但并不限定于此。另外，探针基板16具有例如由陶瓷板形成的基板构件161和形成于该基板构件161的下表面的多层布线基板162。
在作为陶瓷基板的基板构件161的内部形成有沿板厚方向贯通的多个导电路(未图示)，另外，在基板构件161的上表面形成有衬垫161a，基板构件161内的导电路的一端形成为与该基板构件161的上表面对应的衬垫161a连接。进一步，在基板构件161的下表面，基板构件161内的导电路的另一端形成为与设置于多层布线基板162的上表面的连接端子连接。
多层布线基板162通过由例如聚酰亚胺等合成树脂构件形成的多个多层基板形成，在多个多层基板之间形成有布线路(未图示)。多层布线基板162的布线路的一端与作为陶瓷基板的基板构件161侧的导电路的另一端连接，多层布线基板162的另一端与设置于多层布线基板162的下表面的探针焊盘连接。在设置于多层布线基板162的下表面的探针焊盘配置有多个探针20，探针基板16的多个探针20通过电连接单元15与布线基板14对应的连接端子14a电连接。
(a-1-2)触头(电触头)
图1是表示第一实施方式的触头30的构成的构成图。图2是表示形成第一实施方式的触头30前的板状构件的构成的构成图。
图1的触头30通过对图2的板状构件40进行成形加工(例如，圆形加工、弯曲加工)而形成。即，图2的板状构件40是图1的触头30的成形加工前的构件，是由导电性材料形成的板状的构件。因此，由于触头30通过对一块板状构件进行成形加工而形成，因此能够使电信号的导通性稳定化。换言之，由于组合多个部件而形成的电触头通过多个部件彼此接触而导通电信号，因此电阻在多个零部件之间的接触部位变大。与此相对，通过成形加工板状构件而形成的触头30没有部件之间的接触部位或者能够减少部件之间的接触部位，因此能够使电阻值变小，从而使电信号的导通性稳定化。
如图1所示，作为电触头的一例的触头30具有：筒状部32；第一接触部34，其与作为第一接触对象的布线基板14的连接端子14a接触；上部弹性部33，其在第一接触部34与连接端子14a接触受到负载时在上下方向上弹性地施力；第二接触部36，其与作为第二接触对象的基板构件161的衬垫161a接触；以及下部弹性部35，其在第二接触部36与衬垫161a接触受到负载时在上下方向上弹性地施力。
在第一接触部34的顶端具有与第一接触对象接触的顶端面(在以下，也称为“接触面”)，并且该顶端面倾斜。另外，在第二接触部36的顶端具有与第二接触对象接触的顶端面(以下，也称为“接触面”)，并且该顶端面倾斜。此外，在以下，将第一接触部34的顶端倾斜的顶端面称为第一倾斜接触部341，将第二接触部36的顶端倾斜的顶端面称为第二倾斜接触部361来进行说明。
如图2所示，板状构件40具有：主体部42；上部臂部43；第一顶端部44，其设置于上部臂部43的顶端；第一倾斜部441，其设置于第一顶端部44的顶端；下部臂部45；第二顶端部46，其设置于下部臂部45的顶端；以及第二倾斜部461，其设置于第二顶端部46的顶端。
此外，板状构件40例如是由贵金属或金属形成的板状构件，或者是利用贵金属或金属对板状的构件的表面进行电镀加工而获得的板状构件。板状构件40的形状能够通过对板状构件施加冲压加工等而形成。另外，例如，板状构件40也可以将与第一接触对象和/或第二接触对象接触的部位(后述的第一顶端部44和/或第二顶端部46)作为贵金属，将除此之外的部分例如由双金属等弹性(例如弹力性能)优异的构件形成。像这样，通过将与第一接触对象和/或第二接触对象的接触部位作为贵金属等，能够使导通性良好，并且通过将除此之外的部位作为例如双金属等的构件，能够使该部分的弹性(例如弹力性能)良好。
[主体部]
主体部42是大致长方形形状的板状的部分。如后所述，通过圆形加工从板状构件40的左侧的构成要素侧卷绕，而形成触头30。当触头30形成时，主体部42成为覆盖被卷绕的上部臂部43和下部臂部45的筒状部32。
在此，主体部42的四边的端部中的上端部421和下端部422的端部在横向上形成为直线状，并且以彼此平行的方式形成。卷绕板状构件40而形成的触头30的筒状部32作为容纳触头30时的触头30的高度方向的定位部发挥作用。因此，通过使主体部42的上端部421和下端部422的端部直线状地平行，能够使被盖住的触头30的姿势稳定化。
[上部臂部]
上部臂部43是与主体部42的四边的端部中的任一个端部(在图2中为左侧端部)一体地连结，并且位于主体部42的左侧端部的上部，从主体部42的左侧端部向斜左上方延伸的构件。
上部臂部43可以设为从与主体部42连结的基端部431越朝向顶端侧(即、第一顶端部44侧)，上下方向(y方向)的长度越小的越靠顶端越细状(锥形形状)，也可以在从基端部431至顶端侧的整个范围内设为同一宽度。在该实施方式中，例示了越靠顶端越细状的情况。更具体而言，当将与主体部42连结的上部臂部43的基端部431的y方向的长度设为“a1”，将上部臂部43的顶端部432的y方向的长度设为“a2”时，存在a1≥a2的关系。在该实施方式中，例示了上部臂部43为越靠顶端越细状的情况。
像这样，通过将上部臂部43设为越靠顶端越细状，并且当通过圆形加工卷绕上部臂部43时，形成例如竹笋弹簧结构的上部弹性部33。即，成为卷绕上部臂部43而形成的上部弹性部33中的、被卷绕的外侧的构件的上端部覆盖被卷绕的内侧的构件的下端部的状态。并且，上部弹性部33在上下方向上弹性地对第一接触部34施力。在此，竹笋弹簧是指将板状构件卷绕成螺旋状，并且卷绕后的内侧构件的一部分被外侧构件覆盖而形成的圆锥形状的弹簧。
上部臂部43的基端部431从比主体部42的左侧端部的上部角部423稍低的位置(与上部角部423分离的位置)延伸。在此，将从上部角部423至基端部431的主体部42的左侧端部的一部分称为“阶梯部424”。像这样，当通过从上部角部423，并从设有阶梯部424的位置延伸上部臂部43，并且通过圆形加工卷绕板状构件40时，成为被卷绕的上部臂部43(上部弹性部33)的基端部431被主体部42覆盖的状态。
这样一来，当卷绕板状构件40而形成的触头30被容纳于电连接单元15，并且第一接触部34受到负载时，以上部弹性部33的基端部431被包含在筒状部32内的状态，上部弹性部33在上下方向上弹性地运动。因此，能够防止作为弹簧弹性地驱动时的上部弹性部33的破损。
[第一顶端部]
第一顶端部44是设置于上部臂部43的顶端，并且向垂直上方延伸的部分。通过圆形加工卷绕第一顶端部44，从而被卷绕的第一顶端部44作为触头30的第一接触部34发挥作用。
[第一倾斜部]
第一倾斜部441是设置于第一顶端部44的顶端的倾斜面。当通过圆形加工卷绕第一顶端部44时，第一倾斜部441作为触头30的第一倾斜接触部341发挥作用。第一倾斜部441相对于x方向以规定角度(在图2的例子中为θ1)倾斜。倾斜角度θ1可以与后述的下部臂部45的第二倾斜部461的倾斜角度θ2相同，也可以为不同的角度。在图2的例子中，例示了第一倾斜部441向斜右上方向倾斜，并且后述的第二倾斜部461向斜右下方向倾斜的情况。例示了第一倾斜部441和第二倾斜部461的倾斜方向分别为对称(以穿过板状构件40的y方向中点的x方向直线线对称)的情况，更具体而言，第一倾斜部441向斜左下方向倾斜，第二倾斜部461向斜左上方向倾斜。
[下部臂部]
下部臂部45是与主体部42的四边的端部中的任一个端部(在图2中为左侧端部)一体地连结，并且位于主体部42的左侧端部中的下部，从主体部42的左侧端部向斜左下方向延伸的构件。下部臂部45的基端部451与上部臂部43的基端部431的位置相比位于下方，在主体部42的左侧端部中，下部臂部45的基端部451与上部臂部43的基端部431分离。
下部臂部45也与上部臂部43同样地，可以设为从与主体部42连结的基端部451越朝向顶端侧(即第二顶端部46侧)，上下方向(y方向)的长度越小的越靠顶端越细状(锥形形状)，也可以在从基端部451至顶端侧的整个范围内设为同一宽度。在该实施方式中，例示了为越靠顶端越细状的情况。更具体而言，当将与主体部42连结的下部臂部45的基端部451的y方向的长度设为“b1”将下部臂部45的顶端部452的y方向的长度设为“b2”时，存在b1≥b2的关系。
像这样，通过将下部臂部45设为越靠顶端越细状，并且当通过圆形加工卷绕下部臂部45时，形成例如竹笋弹簧形状的下部弹性部35。即，成为卷绕下部臂部45而形成的下部弹性部35中的、被卷绕的外侧的构件的下端部覆盖卷绕的内侧的构件的上端部的状态。并且，下部弹性部35在上下方向上弹性地对第二接触部36施力。
下部臂部45的基端部451从比主体部42的左侧端部的下部角部425稍高的位置(与下部角部425分离的位置)延伸。在此，将从下部角部425至基端部451的主体部42的左侧端部的一部分称为“阶梯部426”。像这样，当通过从下部角部425，并从设有阶梯部426的位置延伸下部臂部45，并且通过圆形加工卷绕板状构件40时，成为被卷绕的下部臂部45(下部弹性部35)的基端部451被主体部42覆盖的状态。
这样一来，当卷绕板状构件40而形成的触头30被容纳于电连接单元15，并且第二接触部36受到负载时，以下部弹性部35的基端部451被包含在筒状部32内的状态，下部弹性部35在上下方向上弹性地运动。因此，能够防止作为弹簧弹性地驱动时的下部弹性部35的破损。
[第二顶端部]
第二顶端部46是设置于下部臂部45的顶端，并且向垂直下方延伸的部分。通过圆形加工卷绕第二顶端部46，从而被卷绕的第二顶端部46作为触头30的第二接触部36发挥作用。
[第二倾斜部]
第二倾斜部461是设置于第二顶端部46的顶端的倾斜面。当通过圆形加工卷绕第二顶端部46时，第二倾斜部461作为触头30的第二倾斜接触部361发挥作用。第二倾斜部461相对于x方向以规定角度(在图2的例子中为θ2)倾斜。
[触头的制造方法]
图4以及图5是说明实施方式的触头30的制造方法的说明图。在图4的(a)中，首先，对板状构件40的第一顶端部44以及第二顶端部46施加圆形加工，通过卷绕在顶端具有第一倾斜部441的第一顶端部44，形成在顶端具有第一倾斜接触部341的第一接触部34。同样地，通过卷绕在顶端具有第二倾斜部461的第二顶端部46，形成在顶端具有第二倾斜接触部361的第二接触部36。
在此，在卷绕板状构件40成形触头30时，期望第一倾斜接触部341和第二倾斜接触部361的倾斜方向为对称的(线对称)。因此，在卷绕第一顶端部44和第二顶端部46时，以不卷圆地相同的方式卷绕第一倾斜部441和第二倾斜部461的部分。换言之，在有效利用第一倾斜部441及第二倾斜部461的倾斜的状态下，成形触头30的第一倾斜接触部341及第二倾斜接触部361。由此，第一倾斜接触部341及第二倾斜接触部361成为倾斜面。
在图4的(a)中，对上部臂部43及下部臂部45施加圆形加工，并从上部臂部43及下部臂部45的顶端侧朝向基端部431及基端部451进行卷绕。例如，在此，例示了在图4及图5的俯视下，以逆时针方向卷绕的情况。在卷绕上部臂部43及下部臂部45时，使卷绕所涉及的中心轴一致或者大致一致。另外，也可以将上部臂部43及下部臂部45的卷绕数设为相同的数量。
另外，由于上部臂部43及下部臂部45从基端部431及基端部451到顶端侧为越靠顶端越细状(锥形形状)，因此，通过反复进行上部臂部43及下部臂部45的卷绕，上部弹性部33的内侧的构件的下端部的一部分被外侧的构件的上端部覆盖，另外，下部弹性部35的内侧的构件的上端部的一部分被外侧的构件的下端部覆盖，形成上部弹性部33及下部弹性部35。这样一来，形成竹笋弹簧结构的上部弹性部33及下部弹性部35。
如图4的(b)所示，当上部臂部43及下部臂部45卷绕至基端部431及基端部451，而形成上部弹性部33及下部弹性部35时，进一步对上部弹性部33及下部弹性部35施加圆形加工，以通过主体部42将上部弹性部33及下部弹性部35的基端部431以及基端部451包裹的方式卷圆成筒状。
如图5的(a)所示，由于上部臂部43的基端部431从上部角部423并从设有阶梯部424的位置延伸，下部臂部45的基端部451从下部角部425并从设有阶梯部426的位置延伸，因此成为上部弹性部33及下部弹性部35的基端部431及基端部451被卷绕成筒状的主体部42的内侧覆盖的状态。
然后，如图5的(b)所示，当使主体部42的剩余部分卷绕，而形成筒状部32时，形成触头30。像这样，由于触头30通过卷绕导电性材料的板状构件40而成形，因此能够使电信号的导通性稳定化。此外，主体部42的端部也可以固定于内侧的主体部42的表面。即，为了保持卷绕主体部42而形成的筒状部32的外形结构，也可以通过例如焊接、粘接剂等固定主体部42的端部和筒状部32接触的一个或多个部位。此外，筒状部32的外形结构的固定方法并不限定于焊接、粘接剂，也可以通过敛缝等。
[电导通路径]
接下来，参照附图说明通过第一实施方式的触头30在第一接触对象与第二接触对象之间施加电信号时的触头30中的电导通路径。
图6是例示第一实施方式的触头30的容纳状态和受到负载时的状态的图。此外，触头30的容纳方法及容纳结构为一例，并不限定于图6的结构。图7是说明第一实施方式的第一倾斜接触部与接触端子的接触状态的说明图。图8的(a)是表示触头的变形前的构成及俯视的构成的图，图8的(b)是表示触头整体变形后的构成及俯视的构成，并且说明电导通路径的说明图。
如图6的(a)所示，在电连接单元15设有用于插通触头30的贯通孔60。通过将触头30插通于该贯通孔60而收纳触头30。贯通孔60的内径比触头30的外径稍大或者设为大致相同的程度。另外，在贯通孔60的下部，在贯通孔60的内表面设有内径比贯通孔60的上部的内径稍小的台阶61。插通的触头30的筒状部32的下端部321支承于该贯通孔60的内表面的台阶61。触头30的筒状部32的下端部321为平坦的端面，由台阶61支承，从而能以稳定的姿势收纳插通的触头30。
在图6的(b)中，表示了插通于贯通孔60的触头30与作为第一接触对象的连接端子14a和作为第二接触对象的衬垫161a接触并受到负载的状态。即，触头30的第一接触部34和连接端子14a接触，上部弹性部33受到压缩负载，另外，第二接触部36和衬垫161a接触，下部弹性部35受到压缩负载的状态。
由于处于触头30的轴向(上下方向)的两端的上部弹性部33和下部弹性部35分别彼此不对称地形成，因此上部弹性部33和下部弹性部35分别独立地具有上下方向的弹性。
由于竹笋弹簧结构的上部弹性部33的基端部431处于筒状部32的内侧，因此受到负载的上部弹性部33将处于筒状部32的内侧的基端部作为具有弹簧功能的一端而在上下方向上具有弹性。同样地，下部弹性部35的基端部451处于筒状部32的内侧，受到负载的下部弹性部35将处于筒状部32的内侧的基端部451作为具有弹簧功能的一端在上下方向上具有弹性。这样一来，由于筒状部32能够限制受到负载的上部弹性部33及下部弹性部35在上下方向上运动的冲程，因此能够防止具有弹簧功能的上部弹性部33及下部弹性部35的破损。
在此，图6的(b)的连接端子14a与衬垫161a的接触面分别为平坦的面。与此相对，作为第一接触部34及第二接触部36的接触面的第一倾斜接触部341及第二倾斜接触部361为倾斜面。
即，连接端子14a的接触面(表面)和第一接触部34的接触面(第一倾斜接触部341)以相对倾斜的方式相对。换言之，在图7的(a)的例子中，触头30的轴向和直线a(以下，也称为“中心轴a”)以及连接端子14a的表面的法线(与表面垂直的线)一致，但连接端子14a的接触面(表面)和第一接触部34的接触面(第一倾斜接触部341)以第一接触部34的顶端面的法线和连接端子14a的表面的法线不同的方式相对。此外，第二接触部的接触面(表面)和第二接触部36的接触面(第二倾斜接触部361)的相对关系也是同样的。
如图7的(a)及图7的(b)所示，第一接触部34的第一倾斜接触部341以倾斜的状态与由平坦面形成的连接端子14a接触。同样地，由于第二接触部36的第二倾斜接触部361也为倾斜面，因此第二倾斜接触部361以倾斜的状态与由平坦面形成的衬垫161a接触。
然后，如图6的(b)、图7的(b)、图8的(b)所示，当第一倾斜接触部341及第二倾斜接触部361与连接端子14a及衬垫161a面接触时，由于第一接触部34及第二接触部36倾斜因此弯曲负载起作用，触头30整体稍微挠曲(变形)，上部弹性部33及下部弹性部35在筒状部32的内侧向一方向侧(例如图6的(b)的右侧)移动，并与筒状部32的内表面电接触。进一步，在上部弹性部33及下部弹性部35中，内侧构件的下端部的外壁能够与外侧的构件的上端部的内壁电接触。
换言之，第一倾斜接触部341及第二倾斜接触部361能够与第一接触对象及第二接触对象电接触，触头30整体变形，上部弹性部33及下部弹性部35的内侧构件的外壁能够与外侧构件的内壁电接触，并且上部弹性部33及下部弹性部35能够与筒状部32的内表面电接触。即，触头30的构成构件靠近一方侧(在图8的(b)中为右侧)变得密集，并且能够电接触。
像这样，由于通过触头30的变形，上部弹性部33及下部弹性部35的各构件部分地电接触，进一步上部弹性部33及下部弹性部35与筒状部32的内表面电接触，因此虽然触头30卷绕板状构件40而形成为螺旋状，但电导通路径r成为第一接触对象与第二接触对象之间的上下方向的大致直线的路径(参照图8的(b))。
更具体而言，电导通路径r成为“连接端子14a”
另外，通过对从筒状部32突出的上部弹性部33及下部弹性部35的上下方向的高度长进行调节，能够对受到负载时的上部弹性部33及下部弹性部35的冲程进行调节。换言之，由于可动冲程大，因此能够根据与接触对象的接触负载的大小的程度广泛地设定触头30的作用力的程度。
进一步，由于筒状部32的上下方向的长度(高度)不改变，因此能够可靠地进行触头30的高度方向的定位。
另外，由于上部弹性部33及下部弹性部35作为竹笋弹簧发挥作用，因此能够提高受到负载的在上下方向动作的上部弹性部33及下部弹性部35的滑动性。即，在触头由多个构成部件形成的情况下，由于负载在多个构成部件之间起作用而具有上下方向的弹性，因此有时会产生滑动缺陷。但是，由于该实施方式的触头30与现有技术相比为减少了构成部件数的结构，因此滑动性提高。
(a-2)第一实施方式的效果
如上所述，由于第一实施方式的电触头(触头)与现有技术相比由更少的构成部件数构成，因此能够提高滑动性，且能够提高与接触对象的电接触的稳定性。
进一步，根据第一实施方式，通过将第一接触部及第二接触部的顶端设为由倾斜面形成的第一倾斜接触部及第二倾斜接触部，使电触头与第一接触对象及第二接触对象接触时，由于电触头整体变形，构成竹笋弹簧结构的上部弹性部及下部弹性部的构件彼此电接触，并且上部弹性部及下部弹性部与筒状部的内表面电接触，因此经由电触头的电导通路径变短。其结果是，电导通路径中的电阻值变低，从而电导通性提高。
(b)第二实施方式
接下来，一边参照附图，一边详细地说明本发明的电触头及电连接装置的第二实施方式。
(b-1)第二实施方式的构成
图10是表示形成第二实施方式的电触头前的板状构件的构成的构成图。图11是表示第二实施方式的电触头的构成的构成图。
如图10所示，第二实施方式的板状构件40d具有：主体部42d；上部臂部43，其从主体部42d的左侧端部的上部向斜左上方向延伸；第一顶端部44，其设置于上部臂部43的顶端；下部臂部45d，其从主体部42d的右侧端部的下部向斜右下方向延伸；以及第二顶端部46d，其设置于下部臂部45d的顶端。
在第二实施方式中，第一顶端部44的顶端面也具有由倾斜面形成的第一倾斜部441，第二顶端部46d的顶端面具有由倾斜面形成的第二倾斜部461d。
此外，在第二实施方式的板状构件40d中，由于上部臂部43和设置于上部臂部43的顶端的第一顶端部44及第一倾斜部441与在第一实施方式中已说明的各构成要素相同，因此标记同一附图标记。
板状构件40d与第一实施方式同样地，例如是由贵金属或金属形成的板状构件，或者是利用贵金属或金属对板状的构件的表面进行电镀加工而获得的板状构件，板状构件40d的形状能够通过对板状构件施加冲压加工等而形成。另外，例如，板状构件40d也可以将与第一接触对象和/或第二接触对象接触的部位作为贵金属等，将除此之外的部分由例如双金属等弹性(例如弹力性能)优异的构件形成。
下部臂部45d与主体部42d的四边的端部中的与设有上部臂部43的端部(左侧端部)相对的相对端部(右侧端部)一体地连结，并且从主体部42d的右侧端部向斜右下方向延伸。
下部臂部45d与第一实施方式同样地，成为从主体部42d侧的基端部451d越朝向顶端侧，上下方向的宽度长变得越小的越靠顶端越细状(锥形形状)。另外，在第二实施方式中，与其他实施方式同样地，下部臂部45d的基端部451d相对于主体部42d与上部臂部43的基端部431相比向下方错开位置地延伸，且从比主体部42d的右侧端部的下部角部425d稍高的位置延伸。在此，将从下部角部425d至基端部451d的主体部42d的左侧端部的一部分称为“阶梯部426d”。
第二顶端部46d是设置于下部臂部45d的顶端，并且向垂直下方延伸的部分。
主体部42d基本上与第一实施方式同样地为大致长方形形状，但上部臂部43的基端部431的下侧端部427与处于上部臂部43的基端部431的上侧的阶梯部424的位置相比位于更靠近主体部42d的中央部的位置。同样地，在主体部42d中，下部臂部45d的基端部451d的上侧端部428与处于下部臂部45d的下侧的阶梯部426d的位置相比位于更靠近主体部42d的中央部的位置。
像这样，通过将上部臂部43的下侧端部427和下部臂部45d的上侧端部428的各位置设为靠近主体部42d的中央部，在通过圆形加工形成电触头30d的筒状部32时，能够避免卷绕后的上部臂部43(或下部臂部45d)和与此相对的主体部42d的端部(相对端部)之间的干扰。即，将上部臂部43的下侧端部427和下部臂部45d的上侧端部428的各位置设为靠近主体部42d的中央部，从而形成避让结构
在第二实施方式中，上部臂部43的卷绕方向和下部臂部45d的卷绕方向为彼此不同的方向。例如，将上部臂部43的卷绕方向在图10的俯视视图中设为逆时针方向，将下部臂部45d的卷绕方向在图10的俯视视图中设为顺时针方向等。
首先，对上部臂部43施加圆形加工而以逆时针方向对上部臂部43进行卷绕，对下部臂部45d施加圆形加工而以顺时针方向对下部臂部45d进行卷绕。
接下来，当卷绕上部臂部43形成上部弹性部33并且卷绕下部臂部45d形成下部弹性部35d时，对于主体部42d，朝向单点划线(中心线)的中心从主体部42d的左右分别均等地进行卷绕。由此，形成图11的(a)所例示的电触头30d。
在此，参照图11的(a)及图11的(b)，说明筒状部32的形成方法。卷绕上部臂部43而形成的上部弹性部33的基端部431以被连结有该基端部431的主体部42d的左侧部分包裹的方式卷绕。即，上部弹性部33的基端部431被卷绕在主体部42d的左侧部分的内侧。同样地，卷绕下部臂部45d而形成的下部弹性部35d的基端部451d以被连结有该基端部451d的主体部42d的右侧部分包裹的方式卷绕。
像这样，通过利用主体部42d的左侧部分卷绕上部弹性部33，同时利用主体部42d的右侧部分卷绕下部弹性部35d，而使主体部42d的左侧端部和右侧端部配合(接触)，由此形成筒状部32。即，在主体部42d的右侧端部的上侧端部428的背面以包裹的方式覆盖上部弹性部33，在主体部42d的左侧端部的下侧端部427的背面以包裹的方式覆盖下部弹性部35d。由此，形成图11的(b)所例示的电触头30d。此外，在图11的(b)中，在由主体部42d形成的筒状部32中，例示了主体部42d的左侧端部和右侧端部接触的结构，但并不限定于此。
如图11的(c)所例示的那样，也可以使主体部42d的左侧端部和右侧端部稍微分离并且相对。另外，在图11的(a)～图11的(c)中，在卷绕主体部42d而形成筒状部32时，为了保持筒状部32的外形结构，也可以在主体部42d的左侧端部和/或右侧端部的任意的一个或多个部位通过例如焊接、粘接剂等固定。也可以例如在图11的(b)中，在主体部42d的左侧端部和右侧端部接触的一个或多个部位通过例如焊接、粘接剂等固定，或者在图11的(c)中，在主体部42d的左侧端部(和/或右侧端部)和与此相对的筒状部32的端部接触的一个或多个部位通过例如焊接、粘接剂等固定。此外，筒状部32的外形结构的固定方法并不限定于焊接、粘接剂，也可以也可以通过敛缝等。
由于上部臂部43和下部臂部45d相对于主体部42d错开高度方向的位置地延伸，因此即使以通过主体部42d包裹的方式卷绕上部弹性部33和下部弹性部35d，上部弹性部33和下部弹性部35d也不会彼此干扰。其结果是，电触头30d的上部弹性部33和下部弹性部35d分别独立地在轴向上具有弹性。
像这样，通过将上部臂部43和下部臂部45d的卷绕方向设为彼此不同的方向，在第一接触部34与第一接触对象接触，并且第二接触部36d与第二接触对象接触而施加负载时，作用于上部弹性部33的应力和作用于下部弹性部35d的应力能够抵消。因此，能够减轻在第一接触部34与第一接触对象接触时的接触点和第二接触部36d与第二接触对象接触时的接触点所产生的旋转负载。
另外，当第一接触部34的第一倾斜接触部341与第一接触对象接触，第二接触部36d的第二倾斜接触部361d与第二接触对象接触时，与第一实施方式同样地，由于电触头30d整体变形，因此上部弹性部33及下部弹性部35d的构成构件能够在一方侧电接触。因此，在第一接触对象与第二接触对象之间形成大致直线的导通路径，电导通性提高。
(b-2)第二实施方式的效果
如上所述，根据第二实施方式，能够获得在第一实施方式已说明的效果，并且通过将上部臂部和下部臂部的卷绕方向设为彼此不同的方向，作用于上部弹性部的应力和作用于下部弹性部的应力能够抵消，从而能够减轻接触点处的旋转负载。
(c)第三实施方式
接下来，一边参照附图，一边详细地说明本发明的电触头及电连接装置的第三实施方式。
(c-1)第三实施方式的结构
图12是表示形成第三实施方式的电触头前的板状构件的构成的构成图。图13是表示第三实施方式的电触头的构成的构成图。
如图12所示，第三实施方式的板状构件40e具有：主体部42e；上部臂部43，其从主体部42e的左侧端部向斜左上方向延伸；第一顶端部44，其设置于上部臂部43的顶端；下部臂部45e，其从主体部42e的右侧端部向斜右下方向延伸；以及第二顶端部46e，其设置于下部臂部45e的顶端。
在第三实施方式中，第一顶端部44的顶端面也具有由倾斜面形成的第一倾斜部441，第二顶端部46e的顶端面具有由倾斜面形成的第二倾斜部461e。
在第一实施方式及第二实施方式中，在板状构件40及板状构件40d中存在大致矩形形状的主体部42及42d，例示了在卷绕板状构件40及板状构件40d而形成触头30及30d时，形成筒状部32的情况。该筒状部32作为在容纳触头30及30d时，限制上部弹性部33和下部弹性部35及下部弹性部35d的上下方向的冲程的止动件发挥作用。
与此相对，在第三实施方式中，能够通过卷绕板状构件更简单地制造触头。即，通过将大致矩形形状的主体部42e设为带状，将板状构件40e整体的形状也设为形状带状。另外，通过将主体部42e设为带状，能够使板状构件40e整体及由此形成的电触头30e的尺寸小型化。
如图12所示，第三实施方式的板状构件40e也可以说是在倾斜方向上延伸的细长的板状构件。例如，在图12中，例示了主体部42e的上下方向的宽度长与上部臂部43的基端部431(或下部臂部45e的基端部451e)的上下方向的宽度长相同，主体部42e为平行四边形的情况，但主体部42e的形状并不限定于图12所示的形状。
上部臂部43的卷绕方向和下部臂部45e的卷绕方向为彼此不同的方向。例如，在图12的俯视视图中，也可以以逆时针卷绕上部臂部43，以顺时针卷绕下部臂部45e等。另外，在卷绕上部臂部43及下部臂部45e而形成上部弹性部33及下部弹性部35e时，也可以通过例如紧密卷绕的方式形成。即，也可以采用以同一直径卷绕上部臂部43彼此(或下部臂部45e彼此)的方法。
并且，例如卷绕上部臂部43，并且以通过主体部42e覆盖上部臂部43的基端部431的外侧的方式进行卷绕，如图13所示，在主体部42e的内侧形成上部弹性部33。同样地，卷绕下部臂部45e，并且以通过主体部42e覆盖下部臂部45的基端部451e的外侧的方式进行卷绕，如图13所示，在主体部42e的内侧形成下部弹性部35e。
在此，将被卷绕的主体部42e称为连结上部弹性部33和下部弹性部35e的连结部32e。电触头30e的连结部32e被定位成覆盖竹笋弹簧结构的上部弹性部33及下部弹性部35e的两方的外侧。因此，在上部弹性部33和下部弹性部35e受到压缩负载时，上部弹性部33和下部弹性部35e分别独立地在轴向上具有上下方向的弹性。
另外，与第二实施方式同样地，通过将上部臂部43和下部臂部45e的卷绕方向设为彼此不同的方向，在第一接触部34与第一接触对象接触，并且第二接触部36e与第二接触对象接触而施加负载时，作用于上部弹性部33的应力和作用于下部弹性部35e的应力能够抵消。因此，能够减轻在第一接触部34与第一接触对象接触时的接触点和第二接触部36e与第二接触对象接触时的接触点所产生的旋转负载。
进一步，与第一实施方式及第二实施方式同样地，当上部弹性部33的第一倾斜接触部341与第一接触对象接触，第二接触部36e的第二倾斜接触部361e与第二接触对象接触时，由于电触头30e整体变形，因此上部弹性部33及下部弹性部35e的结构构件能够在一方侧电接触。因此，在第一接触对象与第二接触对象之间形成大致直线的导通路径，电导通性提高。
(c-2)第三实施方式的效果
如上所述，根据第三实施方式，能够获得在第一实施方式及第二实施方式中已说明的效果，并且能够更简单地制造卷绕板状构件而形成的触头。
(d)其他实施方式
在上述的第一～第三实施方式中，提及了各种变形实施方式，但本发明也能够应用于以下的变形实施方式。
(d-1)在第一～第三实施方式中，例示了将触头30作为电触头的一例而应用的情况，但并不限于此，本发明的电触头能够应用于与布线图案的布线端子(例如，第一接触对象)和例如半导体集成电路等被检查体的电极端子(例如，第二接触对象)电接触的探针。
进一步，在第一～第三实施方式中，例示了电触头的第一接触部及第二接触部的两方的顶端为倾斜面(第一倾斜接触部、第二倾斜接触部)的情况，但也可以为第一接触部及第二接触部中的某一方的接触部倾斜面(倾斜接触部)。
例如，在与平坦的接触面的布线端子和例如半球体(半球面)的电极端子电接触的探针应用本发明的电触头的情况下，也可以将与半球面的电极端子接触的第二接触部的顶端设为例如针状，使针状的第二接触部刺穿半球面的电极端子的表面，将与一方平坦的接触面的布线端子接触的第一接触部的顶端设为倾斜面(第一倾斜接触部)。在该情况下，由于刺穿电极端子的表面的第二接触部成为轴，并且第一倾斜接触部在倾斜的状态下与布线端子接触，因此探针整体或构成要素的一部分挠曲(变形)，电导通路径变短，从而电导通性提高。当然，如在第一实施方式已说明的那样，即使探针的第一接触部及第二接触部两方的顶端为倾斜面(第一倾斜接触部、第二倾斜接触部)，也能提高电导通性。
(d-2)在第一～第三实施方式中，例示了在例如第一接触对象的连接端子14a的表面和第一接触部34的顶端面(第一倾斜接触部341)相对倾斜的情况下，即，第一接触对象的连接端子14a的表面的法线方向和第一接触部34的顶端面(第一倾斜接触部341)的法线方向相对不同的情况。
作为其变形例，如图9的(a)、图9的(b)所例示的那样，在作为第一接触对象的连接端子14a倾斜(不保持水平性)，并且第一接触对象的连接端子14a的表面和第一接触部34的顶端面(第一倾斜接触部341)相对倾斜的情况下，也能够应用本发明。即，在图9的(a)的例子中，为连接端子14a的表面的法线和触头30的中心轴a不一致的情况。在该情况下，与第一实施方式同样地，通过第一接触部34与连接端子14a面接触，触头30变形，电导通路径变短，能够获得同样的效果。
(d-3)电触头的形成前的板状构件不限于在第一～第三实施方式中已说明的形状。例如，板状构件也可以是以下这样的形状。
例如，图2的板状构件40的上部臂部43的形状也可以为例如弓形等圆弧状或者弯曲的形状。像这样，通过将上部臂部43的形状设为圆弧状这样的弯曲的形状或者折弯的形状，并且使上下方向的宽度长变窄，卷绕上部臂部43而形成的上部弹性部33能够使上下方向的作用力变小(低负载)。即，能够使第一接触部34与第一接触对象接触时的接触负载变小。
另外，例如，也可以将渐缩的下部臂部45的上下方向的宽度长设为比上部臂部43粗。像这样，通过使下部臂部45变粗，卷绕下部臂部45而形成的下部弹性部35能够使上下方向的作用力变大(高负载)。即，能够使第二接触部36与第二接触对象接触时的接触负载变大。
进一步，例如，在第一实施方式中，例示了上部臂部43和下部臂部45从主体部42的四边的端部中的相同的端部延伸的情况，但并不限于该形状。例如，也可以为上部臂部43从主体部42的左侧端部的上部向斜左上方向延伸，下部臂部45从主体部42的右侧端部的下部向斜右下方向延伸的形状。
另外，例如，也可以从主体部42延伸的上部臂部43的基端部431到顶端侧施加挖空加工，而形成一个或多个大致梯形形状的狭缝部，同样地，从下部臂部45的基端部451到顶端侧施加挖空加工，而形成一个或多个大致梯形形状的狭缝部。设置于上部臂部和/或下部臂部的狭缝部的数量、形状等不受限定。像这样，通过在上部臂部和/或下部臂部设置一个或多个狭缝部，能够调节卷绕板状构件而形成的触头的第一接触部及第二接触部的负载的大小、上部弹性部及下部弹性部的上下方向的冲程。
(d-4)为了保持在上述的实施方式中已例示的筒状部的外形结构，也可以在筒状部的任意的部位以规定的方法(例如焊接、粘接剂等)进行固定。
(d-5)图14是表示变形实施方式的板状构件的构成的构成图。图14的板状构件40c是用于形成图11的(b)的第二实施方式的电触头30d的板状构件的变形例。图14的板状构件40c与图12的板状构件40e的不同点在于下部臂部45d的第二顶端部46d的顶端面的倾斜。
为了使电触头30d中的电导通路径有效地发挥作用，期望以最终制作的图11的(b)的电触头30d的状态将第一接触部34的第一倾斜接触部341与第二接触部36d的第二倾斜接触部361d的倾斜面设为线对称(例如，第一倾斜接触部341为斜右上方向，第二倾斜接触部361d为斜右下方向)。
但是，实际上在制作电触头30d时，分别卷绕上部臂部43和下部臂部45d而形成，而上部臂部43和下部臂部45d的卷绕数量并不一定是一致的。因此，并不限定于图12的板状构件40e的形状，如图14的例子那样，上部臂部43的第一顶端部44的第一倾斜部441和下部臂部45d的第二顶端部46d的第二倾斜部461c的倾斜也可以为平行或大致平行。此外，若第一倾斜部441和第二倾斜部461c的倾斜为平行或大致平行的话，则并不限定于图14的形状。
(d-6)图15是表示变形实施方式的板状构件及电触头的构成的构成图。
例如，也可以将本发明的电触头应用于搭载在被封装的集成电路的电检查中使用的测试插座等插座的探针等。在该情况下，有时电触头的接触对象为例如焊球等半圆球状。因此，在该变形实施方式中，一边参照图15，一边将在将焊球等作为接触对象的情况下也能够应对的电触头进行说明。
图15的(b)所示，第二实施方式的电触头30a具有：筒状部32；第一接触部34，其与作为第一接触对象的布线基板14的连接端子14a接触；上部弹性部33，其在第一接触部34与连接端子14a接触并受到负载时在上下方向上弹性地施力；以及多个第二接触部37，其位于筒状部32的下端部321。
如图15的(a)所示，板状构件40a具有：主体部42；上部臂部43；第一顶端部44，其设置于上部臂部43的顶端；第一倾斜部441，其为设置于第一顶端部44的顶端的倾斜面；以及多个山形突起部47，其位于主体部42的下端部422并且为山形形状的凸部。此外，板状构件40a与第一实施方式同样地，例如是由贵金属或金属形成的板状构件，或者是利用贵金属或金属对板状的构件的表面进行电镀加工而获得的板状构件，板状的构件的形状能够通过对板状的构件施加冲压加工等而形成。另外，例如，板状构件40a也可以将与第一接触对象和/或第二接触对象接触的部位作为贵金属等，将除此之外的部分由例如双金属等弹性(例如弹力性能)优异的构件形成。
图15的(b)的电触头30a通过对图15的(a)的板状构件40a施加成形加工(圆形加工等)，而卷绕并卷圆板状构件40a而形成。当卷绕板状构件40a而形成电触头30a时，筒状部32的下端部321及第二接触部37作为冠状形状的接触部发挥作用。
此外，由于对图15的(a)的板状构件40a施加圆形加工而形成图15(b)的电触头30a的制造方法基本上与第一实施方式相同，因此在此省略制造方法的详细的说明。
在图15的(a)、图15的(b)的例子中例示了设置三个山形突起部47的情况，但山形突起部47的数量没有特别的限定，也可以为两个或者四个以上。另外，根据作为接触对象的焊球的大小(外形)等，能够确定山形突起部47的设置间隔。
多个第二接触部37在筒状部32的下端部321作为山形形状的凸部(突起部)设置。通过设为这样的形状，多个第二接触部(山形突起部47)37和筒状部32的下端部321能够相对于焊球80电接触，通过在筒状部32的下端部321设置第二接触部(山形突起部47)37，第二接触部(山形突起部47)37碰到(刺穿)锡球80的表面从而能够使电接触性变得可靠。另外，在上述的例子中，例示了作为山形突起部47的第二接触部37处于筒状部32的下端部321的情况，但也可以根据与接触对象的接触方式而在筒状部32的上端部设置作为山形突起部47的第二接触部37。
在该情况下，由于例如筒状部32的多个第二接触部37通过与作为接触对象的焊球电接触而成为轴，在第一倾斜接触部341倾斜的状态下与布线端子电接触，因此探针整体或结构要素的一部分挠曲(变形)，电导通路径变短，从而电导通性提高。
如上所述，根据该变形实施方式，除了在上述的实施方式中已说明的效果之外，即使在接触对象为锡球等这样的半球体状等，也能够使与该接触对象的电接触性变得可靠。
符号说明
30、30d及30e…触头(电触头)、32…筒状部、33…上部弹性部、34…第一接触部、341…第一倾斜接触部、35、35d及35e…下部弹性部、36、36d及36e…第二接触部、361、361d及361e…第二倾斜接触部、37…第二接触部、40、40a、40d、40c及40e…板状构件、42、42d及42e…主体部、43…上部臂部、44…第一顶端部、441…第一倾斜部、45、45d及45e…下部臂部、46、46d及46e…第二顶端部、461、461c及461d…第二倾斜部、47…山形突起部、421…上端部、422…下端部、423…上部角部、424…阶梯部、425及425d…下部角部、426及426d…阶梯部、431…基端部、432…顶端部、451…基端部、452及452d…顶端部。
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