波长可选择的光电探测器及系统的制作方法

文档序号:23621842发布日期:2021-01-12 10:33阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种波长可选择的光电探测器,其特征在于,所述光电探测器包括:基底、钙钛矿层、热膨胀材料、传输层、贵金属层、第一电极和第二电极;所述钙钛矿层设置在所述基底的一侧,所述钙钛矿层远离所述基底的一侧设置有多个锥形孔,且所述锥形孔靠近所述基底一侧的横截面面积小于远离所述基底一侧的横截面面积,所述锥形孔中填充有所述热膨胀材料;所述传输层设置在所述钙钛矿层远离基底的一侧,所述贵金属层包括多个贵金属长条,多个所述贵金属长条相互平行设置在所述传输层远离所述基底的一侧,所述第一电极和所述第二电极分别设置在所述贵金属层远离基底一侧的两端。

2.根据权利要求1所述的一种波长可选择的光电探测器,其特征在于,所述传输层的材料为二维材料层。

3.根据权利要求1所述的一种波长可选择的光电探测器,其特征在于,所述钙钛矿层的厚度为200纳米-400纳米。

4.根据权利要求1所述的一种波长可选择的光电探测器,其特征在于,所述钙钛矿层远离所述基底的一侧周期设置有多个锥形孔。

5.根据权利要求4所述的一种波长可选择的光电探测器,其特征在于,所述锥形孔的形状为圆锥形孔、方形锥孔、六边形锥形孔中任意一种。

6.根据权利要求5所述的一种波长可选择的光电探测器,其特征在于,所述贵金属层上的贵金属长条之间的空隙间距为2纳米-20纳米。

7.根据权利要求6所述的一种波长可选择的光电探测器,其特征在于,所述贵金属层两个相邻的贵金属长条之间的所述空隙中有一个的投影与所述钙钛矿层的所述锥形孔的尖的位置重合。

8.根据权利要求1所述的一种波长可选择的光电探测器,其特征在于,所述贵金属层的厚度为20纳米-60纳米。

9.根据权利要求1所述的一种波长可选择的光电探测器,其特征在于,所述贵金属层上的所述贵金属长条的形状为长方体金属结构或者椭圆柱金属结构。

10.一种波长可选择的光电探测系统,其特征在于,所述光电探测系统包括:电源和权利要求1-9任意一项所述的光电探测器,所述电源的正极和负极分别与所述光电探测器的第一电极和第二电极电连接。


技术总结
本发明涉及波长可选择的光电探测器及系统,主要涉及光电探测器技术领域。本申请提供的波长可选择的光电探测器包括:基底、钙钛矿层、热膨胀材料、传输层、贵金属层、第一电极和第二电极;由于该钙钛矿层的锥形孔中填充有热膨胀材料,使得可以通过调节该探测器的测量温度,改变该钙钛矿层的锥形孔的横截面积,即可以改变本申请提供的探测器对共振波长的选择,从而实现对该锥形孔的调控,改变该探测器的探测波长范围;另外,由于该锥形孔的存在,基于尖端效应,该钙钛矿层和该贵金属层中可以聚集更多能量,以提高通过该探测器的光子传输速率,提高该探测器探测光子的灵敏度。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:金华伏安光电科技有限公司
技术研发日:2020.10.13
技术公布日:2021.01.12
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