纳米贵金属颗粒修饰铁酸镍薄膜电阻式随机存储器件及其制备方法与流程

文档序号:23621830发布日期:2021-01-12 10:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电阻式随机存储器件,由导电衬底、电阻存储薄膜层和导电顶电极组成,其特点在于所述电阻存储薄膜层为纳米贵金属颗粒修饰铁酸镍(nife2o4)薄膜;所述纳米贵金属颗粒为银(ag)或者金(au)颗粒。

2.根据权利要求1所述的薄膜,纳米贵金属颗粒修饰量与nife2o4薄膜摩尔比为0.2%~2%:1。

3.根据权利要求2所述的电阻式随机存储器件,其特点在于所述100~500nm。

4.根据权利要求3所述的电阻式随机存储器件,其特点在于所述导电衬底为pt或者ito,导电顶电极为pt、au、ag或cu电极。

5.权利要求所述电阻式随机存储器件的制备方法是采用真空镀膜技术,在纳米贵金属颗粒修饰薄膜表面镀上导电顶电极,构成底电极/纳米贵金属颗粒修饰nife2o4薄膜/顶电极三明治结构的电阻式随机存储器件。

6.根据权利要求5所述的制备方法,其特点在于所述nife2o4薄膜的制备方法为溶胶-凝胶法。

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特点在于所述溶胶-凝胶法由以下步骤组成:

(1)制备nife2o4前驱体溶液;

(2)制备纳米贵金属盐溶液;

(3)将步骤(2)所得贵金属盐溶液逐滴加入到步骤(1)所得nife2o4前驱体溶液中,得到纳米贵金属颗粒修饰nife2o4薄膜的前驱体溶液;

(4)将上述前驱体溶液旋转涂覆于导电衬底上,制备纳米贵金属颗粒修饰nife2o4前驱体薄膜,对前驱体薄膜进行热处理,热处理温度为400~600℃,时间为30~120分钟。

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特点在于所述nife2o4前驱液是由ni(ch3coo)2•4h2o、fe(no3)3•9h2o按1:2比例称量作为溶质,加入比例为2:1的乙二醇甲醚和冰醋酸组成的混合溶液中,室温搅拌8小时得到;所述纳米贵金属盐溶液是由硝酸银或氯金酸加入适量乙二醇甲醚溶液溶解得到。


技术总结
本发明公开了一种纳米贵金属颗粒修饰铁酸镍薄膜电阻式随机存储器件及其制备方法,属于微电子新型非易失性存储器技术领域。该电阻式随机存储器件由导电衬底、纳米贵金属颗粒修饰铁酸镍薄膜和导电顶电极构成。构建这种存储器件的制备方法是采用简单的溶胶‑凝胶法制备纳米贵金属颗粒修饰铁酸镍薄膜,该方法容易控制薄膜化学成分、稳定性好、能达到分子级别水平、均匀致密无裂纹。在薄膜表面采用镀膜技术镀上导电顶电极而成。本发明中该电阻式随机存储器件表现出优异的开/关比、循环稳定性及保持特性。上述优异特性表明本发明在微电子非易失性存储器技术领域具有潜在的应用前景。

技术研发人员:郝爱泽
受保护的技术使用者:新疆大学
技术研发日:2020.10.21
技术公布日:2021.01.12
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