等离子清洗设备用翻转装置的制作方法

本实用新型涉及半导体加工设备领域，尤其涉及一种等离子清洗设备用翻转装置。

背景技术：

半导体封装工艺中，在键合工序之前和塑封工序之前都需要使用等离子清洗设备对产品进行清洗，键合工序前的清洗主要是针对产品引线框架的正面进行清洗，从而改善焊接条件，以提高键合良率及键合的可靠性，而在塑封工序前的清洗则是为了提高塑封材料与产品粘结的可靠性，进而降低产品分层风险，最终达到提高产品可靠性的目的。现有的等离子清洗设备的等离子发射器只能朝一个方向发射，即只能针对产品的一个面(正面或者反面)进行清洗，如果需要同时清洗产品的另一个面(反面或者正面)时，只能人工地将产品翻转后送入清洗设备，才能实现双面清洗，不仅操作不便、效率低下，而且人工翻转过程中，也容易对产品带来污染，影响清洗效果。

技术实现要素：

针对现有技术中的问题，本实用新型提供一种能够与等离子清洗设备匹配使用的翻转装置，能够实现对待加工的产品自动翻转送料。

为实现以上技术目的，本实用新型的技术方案是：

一种等离子清洗设备用翻转装置，包括翻转机构、载片机构和传送机构；

所述翻转机构用于带动载片机构进行翻转；

所述载片机构设于翻转机构上，用于承载待清洗产品；

所述传送机构用于将载片机构上的待清洗产品送入等离子清洗设备。

作为优选，所述翻转机构包括第一水平板、第二水平板、两个支撑板、轴心杆、两个第一轴承座、第一联轴器、翻转伺服马达和第一马达座，所述两个支撑板相对竖直设置且底部分别固定于第一水平板的两侧，所述两个第一轴承座对称设置于第二水平板下表面的两侧，所述轴心杆水平设置，所述轴心杆的一端穿过一侧的支撑板上部后与该侧的第一轴承座连接，另一端穿过另一侧的支撑板上部和第一轴承座后通过第一联轴器与翻转伺服马达的输出轴连接，所述翻转伺服马达通过第一马达座固定于支撑板上，设有第一马达座的支撑板的上部两侧对称设置有两个光纤传感器，所述第二水平板位于第一马达座一侧的侧面上设有挡片，所述挡片位于任一光纤传感器的前方。

作为优选，所述载片机构包括沿轴心杆方向依次设置在第二水平板上表面的多组轨道组，每组轨道组包括两条相对设置的轨道，两条轨道相对的侧面上开设有载片槽，每条轨道上部两侧安装有推拉式电磁铁，所述推拉式电磁铁位于载片槽上方，每条轨道下部一侧开设有用于安装传送机构的安装孔且安装孔位于载片槽下方。

作为优选，所述传送机构包括多个传动轮组、传动轴心杆、两个第二轴承座、第二联轴器、传送伺服马达和第二马达座，多个传动轮组分别设置于多个安装孔内，每个传动轮组包括主动轮、从动轮和皮带，所述皮带套接在主动轮和从动轮上，所述两个第二轴承座分别设置于多组轨道组中位于最外侧的两条轨道的外面上，所述传动轴心杆串连多个主动轮后，一端与一个第二轴承座连接，另一端穿过另一个第二轴承座后通过第二联轴器与传送伺服马达的输出轴连接，所述传送伺服马达通过第二马达座固定于最外侧的轨道上且第二马达座位于第一马达座上方。

从以上描述可以看出，本实用新型具备以下优点：

本实用新型装置结构简单，能够实现对待清洗产品的接料、翻转和送料，操作简便，翻转效率高，并且翻转过程中不会对产品带来污染，清洗效果好。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的结构示意图；

图3是图1的结构立体分解示意图。

具体实施方式

结合图1至图3，详细说明本实用新型的一个具体实施例，但不对本实用新型的权利要求做任何限定。

如图1至图3所示，一种等离子清洗设备用翻转装置，包括翻转机构1、载片机构2和传送机构3；翻转机构1用于带动载片机构进行翻转；载片机构2设于翻转机构上，用于承载待清洗产品；传送机构3用于将载片机构上的待清洗产品送入等离子清洗设备，具体地：

翻转机构1包括第一水平板101、第二水平板102、两个支撑板103、轴心杆104、两个第一轴承座105、第一联轴器106、翻转伺服马达107和第一马达座108，两个支撑板103相对竖直设置且底部分别固定于第一水平板101的两侧，两个第一轴承座105对称设置于第二水平板102下表面的两侧，轴心杆104水平设置，轴心杆104的一端穿过一侧的支撑板103上部后与该侧的第一轴承座105连接，另一端穿过另一侧的支撑板103上部和第一轴承座105后通过第一联轴器106与翻转伺服马达107的输出轴连接，翻转伺服马达107通过第一马达座108固定于支撑板103上，设有第一马达座的支撑板103的上部两侧对称设置有两个光纤传感器109，第二水平板102位于第一马达座一侧的侧面上设有挡片110，挡片110位于任一光纤传感器(图1中设置在右侧传感器)109的前方。

载片机构2包括沿轴心杆104方向依次设置在第二水平板102上表面的多组轨道组，每组轨道组包括两条相对设置的轨道201，两条轨道201相对的侧面上开设有载片槽202，每条轨道上部两侧安装有推拉式电磁铁203，推拉式电磁铁203位于载片槽上方，每条轨道下部一侧开设有用于安装传送机构的安装孔204且安装孔204位于载片槽202下方。

传送机构3包括多个传动轮组、传动轴心杆301、两个第二轴承座302、第二联轴器303、传送伺服马达304和第二马达座305，多个传动轮组分别设置于多个安装孔204内，每个传动轮组包括主动轮306、从动轮307和皮带308，皮带308套接在主动轮306和从动轮307上，从动轮307可以通过轴承设置于安装孔204内，两个第二轴承座302分别设置于多组轨道组中位于最外侧的两条轨道201的外面上，传动轴心杆301串连多个主动轮306后，一端与一个第二轴承座302连接，另一端穿过另一个第二轴承座302后通过第二联轴器303与传送伺服马达304的输出轴连接，传送伺服马达304通过第二马达座305固定于最外侧的轨道201上且第二马达座305位于第一马达座108上方。

本实用新型的工作原理是：

产品清洗完正面后，清洗设备利用自身的出料推杆将产品传送至本实用新型的轨道组上，确保产品进入轨道组且每个产品4的两侧分别嵌入一组相对的轨道的载片槽中，然后启动推拉式电磁铁，使其完全弹开，压住嵌入载片槽内的产品，接着翻转伺服马达启动转动，带动轴心杆转动，进而带动第二水平板翻转，使得所有轨道组翻转，当第二水平板上的挡片挡住位于左侧的光纤传感器时，翻转伺服马达停止转动，第二水平板翻转到位，此时所有轨道组完成翻转，所有产品背面朝上，然后启动推拉式电磁铁，使其完全缩回，不再压住嵌入载片槽内的产品，接着传送机构工作，传送伺服马达转动，带动所有传动轮组工作，在皮带的传动下，将所有产品送出至清洗设备的接料平台，使产品能够进入清洗设备进行清洗。

本实用新型装置结构简单，能够实现对待清洗产品的接料、翻转和送料，操作简便，翻转效率高，并且翻转过程中不会对产品带来污染，清洗效果好。

综上所述，本实用新型具有以下优点：

本实用新型装置结构简单，能够实现对待清洗产品的接料、翻转和送料，操作简便，翻转效率高，并且翻转过程中不会对产品带来污染，清洗效果好。

可以理解的是，以上关于本实用新型的具体描述，仅用于说明本实用新型而并非受限于本实用新型实施例所描述的技术方案。本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本实用新型的保护范围之内。