一种芯片贴膜净化装置的制作方法

本实用新型属于芯片贴膜技术领域，具体涉及一种芯片贴膜净化装置。

背景技术：

芯片为集成电路、微电路、微芯片、晶片/芯片，在电子学中是一种把电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件等）小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，集成电路芯片封装生产过程中，需要对加工的芯片上贴覆一层薄膜，来提芯片封装的整洁以及清洁性能，在芯片覆膜之前需要对芯片待覆膜的表面进行擦拭，保障芯片待覆膜部位的干净整洁，来净化芯片，现有技术对于芯片待覆膜的表面的净化擦拭常常为人工手动擦拭，在人工手动擦拭后将芯片投递至自动输送带上转移至贴膜工位进行贴膜，人工净化擦拭劳动强度大，而且输送带输送转移过程中难以避免其他部件与芯片的直接接触而弄脏芯片待覆膜的表面。

为此，我们提出一种能够自动化擦拭清洁净化待覆膜芯片表面，并且对于芯片进行快速转移切换操作工位，能够有效避免其他污染物与待覆膜芯片表面进行接触的芯片贴膜净化装置来解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种芯片贴膜净化装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种芯片贴膜净化装置，包括产品送料机构、真空吸附产品转移机构以及产品擦拭装置，所述产品送料机构包括输送支架、固定设于输送支架上的自动输送带本体以及固定设于自动输送带本体顶部前后两侧且与输送支架固定连接的两个矩形限位板，所述真空吸附产品转移机构包括固定设于支撑架顶部的带有横向丝杆的横向矩形槽、通过丝杆螺母与横向丝杆传动连接且套接在横向矩形槽右侧面固定设置的横向u形防护罩外侧面的第一固定座、固定设于第一固定座右侧面且带有垂向丝杆的垂向矩形槽、通过丝杆螺母与垂向丝杆传动连接且套接在垂向矩形槽右侧面固定设置的垂向u形防护罩外侧面的第二固定座、固定设于第二固定座右侧面且左右两端固定镶嵌有两个真空吸管的倒t形固定座以及分别固定设于两个真空吸管底部的与产品真空吸附的真空吸嘴，所述产品擦拭装置包括u形固定面板架、固定设于u形固定面板架顶部两端内侧的两个对向设置的气缸、固定设于两个气缸活塞杆端部且对向夹紧产品的u形夹板、固定设于u形固定面板架底壁顶部带有纵向丝杆的纵向凹面槽、通过丝杆螺母与纵向丝杆传动连接且套接在纵向凹面槽顶部固定设置的纵向u形防护罩外侧面的第三固定座、固定设于第三固定座顶部且与矩形卡槽固定连接的连接座以及与矩形卡槽卡接固定的擦拭海绵。

优选的，两个所述矩形限位板之间且位于自动输送带本体的顶部为限位送料间隙，每个所述矩形限位板上横向等距离排列设置的四个纵向腰槽通过腰槽螺钉与输送支架上的内螺纹槽螺接固定。

优选的，所述横向矩形槽的左侧面固定设有横向伺服减速电机，所述横向伺服减速电机的输出端与横向丝杆的输入端传动连接。

优选的，所述垂向矩形槽的顶部固定设有垂向伺服减速电机，所述垂向伺服减速电机的输出端与垂向丝杆的输入端传动连接。

优选的，所述纵向凹面槽的后侧面固定设有纵向伺服减速电机，所述纵向伺服减速电机的输出端与纵向丝杆的输入端传动连接。

优选的，所述擦拭海绵为与矩形卡槽卡接的凸字形结构海绵。

本实用新型的技术效果和优点：该芯片贴膜净化装置，通过真空吸附产品转移机构将产品送料机构上的产品转移至产品擦拭装置上的擦拭清洁净化工位上，将擦拭清洁净化工位上擦拭清洁净化后的芯片快速转移至贴膜工位，产品送料机构用于对产品进行送料，产品擦拭装置用于进行擦拭清洁净化，以芯片待贴膜的一面与自动输送带本体顶面相接处的形式将芯片投递至自动输送带本体上的限位送料间隙内，真空吸附产品转移机构上的倒t形固定座向左随后向下移动时，将左侧的真空吸嘴将自动输送带本体端部出料工位上的产品真空吸附，且右侧的真空吸嘴将产品擦拭装置上的产品真空吸附，接着倒t形固定座先上升、向右、随后向下移动时，将产品送料机构上的产品转移至产品擦拭装置的擦拭工位上，将产品擦拭装置的擦拭工位上的产品转移至贴膜工位上，对于擦拭清洁净化后的产品转移快速，能够有效避免其他污染物与待覆膜芯片表面进行接触，两个气缸推动两个u形夹板侧面夹装固定产品，纵向丝杆传动移动擦拭海绵进行前后移动，对产品底面即待擦拭清洁净化的表面进行擦拭清洁，能够自动化擦拭清洁净化待覆膜芯片表面，大大降低劳动强度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型产品送料机构的结构示意图；

图3为本实用新型真空吸附产品转移机构的结构示意图；

图4为本实用新型产品擦拭装置的结构示意图。

图中：1、产品送料机构；2、真空吸附产品转移机构；3、产品擦拭装置；4、输送支架；5、自动输送带本体；6、矩形限位板；7、纵向腰槽；8、腰槽螺钉；9、支撑架；10、横向丝杆；11、横向矩形槽；12、横向u形防护罩；13、第一固定座；14、垂向丝杆；15、垂向矩形槽；16、垂向u形防护罩；17、第二固定座；18、真空吸管；19、倒t形固定座；20、真空吸嘴；21、横向伺服减速电机；22、垂向伺服减速电机；23、u形固定面板架；24、气缸；25、u形夹板；26、纵向丝杆；27、纵向凹面槽；28、纵向u形防护罩；29、第三固定座；30、矩形卡槽；31、连接座；32、擦拭海绵；33、纵向伺服减速电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-4所示的一种芯片贴膜净化装置，包括产品送料机构1、真空吸附产品转移机构2以及产品擦拭装置3，通过真空吸附产品转移机构2将产品送料机构1上的产品转移至产品擦拭装置3上的擦拭清洁净化工位上，将擦拭清洁净化工位上擦拭清洁净化后的芯片快速转移至贴膜工位，产品送料机构1用于对产品进行送料，产品擦拭装置3用于进行擦拭清洁净化；

所述产品送料机构1包括输送支架4、固定设于输送支架4上的自动输送带本体5以及固定设于自动输送带本体5顶部前后两侧且与输送支架4固定连接的两个矩形限位板6，两个所述矩形限位板6之间且位于自动输送带本体5的顶部为限位送料间隙，每个所述矩形限位板6上横向等距离排列设置的四个纵向腰槽7通过腰槽螺钉8与输送支架4上的内螺纹槽螺接固定，以芯片待贴膜的一面与自动输送带本体5顶面相接处的形式将芯片投递至自动输送带本体5上的限位送料间隙内，两个矩形限位板6之间的间隙可通过纵向腰槽7与内螺纹槽螺接固定的位置不同进行调节，调节方便；

所述真空吸附产品转移机构2固定设于支撑架9顶部的带有横向丝杆10的横向矩形槽11、通过丝杆螺母与横向丝杆10传动连接且套接在横向矩形槽11右侧面固定设置的横向u形防护罩12外侧面的第一固定座13、固定设于第一固定座13右侧面且带有垂向丝杆14的垂向矩形槽15、通过丝杆螺母与垂向丝杆14传动连接且套接在垂向矩形槽15右侧面固定设置的垂向u形防护罩16外侧面的第二固定座17、固定设于第二固定座17右侧面且左右两端固定镶嵌有两个真空吸管18的倒t形固定座19以及分别固定设于两个真空吸管18底部的与产品真空吸附的真空吸嘴20，所述横向矩形槽11的左侧面固定设有横向伺服减速电机21，所述横向伺服减速电机21的输出端与横向丝杆10的输入端传动连接，所述垂向矩形槽15的顶部固定设有垂向伺服减速电机22，所述垂向伺服减速电机22的输出端与垂向丝杆14的输入端传动连接，横向丝杆10传动带动倒t形固定座19左右移动，垂向丝杆14的传动带动倒t形固定座19进行上下移动，真空吸附产品转移机构2上的倒t形固定座19向左随后向下移动时，将左侧的真空吸嘴20将自动输送带本体5端部出料工位上的产品真空吸附，且右侧的真空吸嘴20将产品擦拭装置3上的产品真空吸附，接着倒t形固定座19先上升、向右、随后向下移动时，将产品送料机构1上的产品转移至产品擦拭装置3的擦拭工位上，将产品擦拭装置3的擦拭工位上的产品转移至贴膜工位上，对于擦拭清洁净化后的产品转移快速，能够有效避免其他污染物与待覆膜芯片表面进行接触；

所述产品擦拭装置3包括u形固定面板架23、固定设于u形固定面板架23顶部两端内侧的两个对向设置的气缸24、固定设于两个气缸24活塞杆端部且对向夹紧产品的u形夹板25、固定设于u形固定面板架23底壁顶部带有纵向丝杆26的纵向凹面槽27、通过丝杆螺母与纵向丝杆26传动连接且套接在纵向凹面槽27顶部固定设置的纵向u形防护罩28外侧面的第三固定座29、固定设于第三固定座29顶部且与矩形卡槽30固定连接的连接座31以及与矩形卡槽30卡接固定的擦拭海绵32，所述纵向凹面槽27的后侧面固定设有纵向伺服减速电机33，所述纵向伺服减速电机33的输出端与纵向丝杆26的输入端传动连接，所述擦拭海绵32为与矩形卡槽30卡接的凸字形结构海绵，将产品送料机构1上的产品转移至产品擦拭装置3的擦拭工位上时，两个气缸24推动两个u形夹板25侧面夹装固定产品，纵向丝杆26传动移动擦拭海绵32进行前后移动，对产品底面即待擦拭清洁净化的表面进行擦拭清洁，能够自动化擦拭清洁净化待覆膜芯片表面，大大降低劳动强度。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。