一种石英舟硅片顶升机构的制作方法

本实用新型属于光伏领域，涉及一种石英舟硅片顶升机构。

背景技术：

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，cvd技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中cvd即化学气相沉积，cvd技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有pecvd、lpcvd、apcvd等，除了cvd之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载硅片，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。

目前通常采用吸盘机构将花篮内的硅片吸出，而在吸盘机构抽气和充气的瞬间，会对硅片造成冲击，容易导致硅片破损的情况，此设备有效地解决了这种问题。

技术实现要素：

本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种石英舟硅片顶升机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种石英舟硅片顶升机构,其特征在于：包括机台组件、移动装置和承托装置，所述移动装置设置于机台组件上，所述承托装置设置于移动装置上，所述移动装置驱动承托装置往返移动，所述承托装置包括有顶齿安装板(102)和顶齿组件，所述顶齿安装板(102)设置有插腔(101)，所述顶齿组件为多组顶齿(100)的固设组合体，所述顶齿组件插入到顶齿安装板(102)内，所述顶齿(100)上设置有放置腔(206)，所述放置腔(206)用于承托硅片组(130)，所述硅片组(130)为两组相背设置的硅片(150)。进一步的；所述机台组件包括位于下侧的防护罩(126)和位于上侧的角度安装板(129)，所述防护罩(126)与角度安装板(129)间固设有导轨安装板(127)，所述导轨安装板(127)侧面固设有支柱(132)，所述支柱(132)侧面固设有防护板(121)，所述防护板(121)与防护罩(126)间组成移动腔(131)，所述机台组件用于支撑移动装置。

进一步的；所述移动装置包括固设于防护罩(126)上的电机(122)，所述电机(122)的输出轴朝下，所述电机(122)输出轴上固设有主动齿轮，移动腔(131)内固设有支撑座，所述支撑座间转动设置有丝杆，所述丝杆上固设有与主动齿轮动力连接的从动齿轮，所述丝杆两侧固设有导轨垫块(140)，所述导轨垫块(140)上固设有导轨(133)，所述导轨(133)上滑动连接有滑块(120)，所述滑块(120)上固设有滑块安装板(108)，所述滑块安装板(108)上侧固设有托板(106)，所述托板(106)用于支撑承托装置。

进一步的；所述移动装置还包括光电挡板(109)，导轨垫块(140)侧面固设有光电传感器(123)，所述光电传感器(123)采用感光原理，所述光电传感器(123)分为两端，两端分别设置于光电挡板(109)的两侧，并且两端相对设置，所述光电传感器(123)通电后一端发出光束，另一端感应光束，当所述光电挡板(109)移动至所述光电传感器(123)的两端时，感应端接收不到光束信号，可确认设备是否处于设定的位置，并将设备控制在设定的位置上。

进一步的；所述移动装置还包括固设于导轨垫块(140)上下两侧的限位块(143)，所述限位块(143)固设有垫圈(124)，所述垫圈(124)设置为软质弹性材料，电机(122)驱动滑块安装板(108)沿导轨(133)做直线往返运动，所述滑块安装板(108)移动到上侧与上侧的垫圈(124)相抵，所述滑块安装板(108)移动到下侧与下侧的垫圈(124)相抵，所述垫圈(124)用于缓冲滑块安装板(108)停止运动产生的瞬间冲击。

进一步的；所述承托装置包括固设于托板(106)上的撑板(105)，所述撑板(105)上固设有对称的定位腔(141)，所述定位腔(141)上固设连接有支撑块(103)，所述定位腔(141)用于支撑块(103)安装时的定位，所述支撑块(103)和撑板(105)上固设有调节块(104)，将支撑块(103)固定，所述顶齿安装板(102)固设于所述支撑块(103)的上侧，所述顶齿安装板(102)固设有开口朝上的插腔(101)，所述插腔(101)内固设有顶齿组件，所述顶齿组件由多组顶齿(100)组成，且所述顶齿(100)间固设连接。

进一步的；所述顶齿(100)上设置有空槽(204)，所述顶齿(100)包括位于下侧的下插块(200)、位于中部的中部件(201)和位于上侧的上部件(202)，多组所述下插块(200)间相互固设连接，所述插腔(101)深度与下插块(200)高度一致，固设时所述空槽(204)的方向相同，一组所述顶齿(100)上的空槽(204)与相邻的另一组顶齿(100)上的中部件(201)相接。

进一步的；所述放置腔(206)固设于下插块(200)内且前后贯穿开口朝上，所述放置腔(206)下侧固设有垫块(207)，用于缓冲硅片组(130)落入放置腔(206)内与垫块(207)碰撞产生的瞬间冲击力，所述放置腔(206)上侧的设置有斜面(205)，一侧的所述斜面(205)与放置腔(206)竖直侧面所成角度为钝角，两组所述斜面(205)间所成角度设置为锐角，前后对应的两组所述放置腔(206)的竖直中心平面与顶齿组件垂直设置，所述硅片组(130)落入前后对应的放置腔(206)内时，所述硅片组(130)与顶齿组件垂直。

进一步的；所述导轨安装板(127)两侧固设有肋板(128)，所述肋板(128)两侧分别与角度安装板(129)和防护罩(126)固设连接，所述肋板(128)用于支撑角度安装板(129)和防护罩(126)，并加强导轨安装板(127)的强度，托板(106)和滑块安装板(108)两侧固设有加强筋(107)，所述加强筋(107)设置为三角形结构，用于加强并支撑撑板(105)。

进一步的；所述移动装置的驱动也可采用同步带或齿轮齿条驱动。

综上所述，本实用新型结构简单，采用伺服电机与滚珠丝杆的驱动方式，提高了设备的运动精度，并配置感应传感器，来确认设备是否处于设定的位置，并将设备控制在设定的位置上，提高了设备的定位精准度，同时每组顶齿的插槽内插入硅片组，提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的装置示意图一。

图2为本实用新型的装置示意图二。

图3为图2中a的放大示意图。

图4为本实用新型中顶齿安装示意图。

图5为图4中b的放大示意图。

图6为图4中c放大示意图。

图中标识：顶齿100、插腔101、顶齿安装板102、支撑块103、调节块104、撑板105、托板106、加强筋107、滑块安装板108、光电挡板109、滑块120、防护板121、光电传感器123、垫圈124、防护罩126、导轨安装板127、肋板128、角度安装板129、硅片组130、移动腔131、支柱132、导轨133、导轨垫块140、定位腔141、开腔142、限位块143、硅片150、下插块200、中部件201、上部件202、空槽204、斜面205、放置腔206、垫块207。

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

实施例一：

如图1-6所示，一种石英舟硅片顶升机构，包括机台组件、移动装置和承托装置，所述移动装置设置于机台组件上，所述承托装置设置于移动装置上，所述移动装置驱动承托装置往返移动，所述承托装置包括有顶齿安装板102和顶齿组件，所述顶齿安装板102设置有插腔101，所述顶齿组件为多组顶齿100的固设组合体，所述顶齿组件插入到顶齿安装板102内，所述顶齿100上设置有放置腔206，所述放置腔206用于承托硅片组130，所述硅片组130为两组相背设置的硅片150。

如图1-2所示，所述机台组件包括位于下侧的防护罩126和位于上侧的角度安装板129，所述防护罩126与角度安装板129平行设置，所述防护罩126与角度安装板129间固设有导轨安装板127，所述导轨安装板127左右两侧固设有肋板128，在本实施例中，所述肋板128设置为梯形，且所述肋板128上侧宽度大于下侧宽度，所述肋板128上下两侧分别与角度安装板129和防护罩126固设连接，所述肋板128用于支撑角度安装板129和防护罩126，同时加强导轨安装板127的强度，所述防护罩126、角度安装板129、导轨安装板127和肋板128固设连接，形成开口朝前的开腔142，所述机台组件用于支撑移动装置，所述导轨安装板127侧面固设有上下对称的支柱132，所述一侧的支柱132设置为对称的两组，所述支柱132侧面连接有防护板121，所述防护板121设置为l型结构，所述防护板121水平成型面位于上侧且与角度安装板129侧面相抵，所述防护板121竖直成型面与支柱132固设，所述防护板121与防护罩126间组成移动腔131。

所述移动装置包括位于开腔142内且固设于防护罩126上的电机122，所述电机122的输出轴朝下，所述防护罩126内固设有传动腔(图未显示)，所述电机122输出轴上固设有位于传动腔内的主动齿轮，所述移动腔131内固设有上下对称的支撑座(图未显示)，所述支撑座间转动设置有丝杆(图未显示)，所述丝杆上固设有与主动齿轮动力连接的从动齿轮(图未显示)，所述丝杆两侧固设有导轨垫块140，所述导轨垫块140上固设有导轨133，所述导轨133上滑动连接有滑块120，所述滑块120上固设有滑块安装板108，所述滑块安装板108上侧固设有位于防护板121一侧的托板106，所述托板106和滑块安装板108两侧固设有加强筋107，所述加强筋107设置为三角形结构，用于加强并支撑撑板105，避免撑板105在重物压力下弯曲变形，提高使用寿命，所述导轨垫块140上下两侧固设有限位块143，所述限位块143相对侧面固设有垫圈124，所述垫圈124位于支柱132之间，所述垫圈124设置为软质弹性材料，可进行缓冲且受到压力作用下变形程度小，具有弹性回复能力，在本实施例中，所述电机122材质设置为聚氨酯；所述电机122驱动滑块安装板108沿导轨133做直线往返运动，所述滑块安装板108移动到上侧与上侧的垫圈124相抵，所述滑块安装板108移动到下侧与下侧的垫圈124相抵，所述垫圈124用于缓冲滑块安装板108停止运动产生的瞬间冲击力，从而提高设备的使用寿命。

所述移动装置还包括光电挡板109，在本实施例中，所述光电挡板109设置为l型结构；所述导轨垫块140侧面固设有光电传感器123，所述光电传感器123采用感光原理，所述光电传感器123分为两端，两端分别设置于光电挡板109的两侧，并且两端相对设置，所述光电传感器123通电后一端发出光束，另一端感应光束，当所述光电挡板109移动至所述光电传感器123的两端时，感应端接收不到光束信号，可确认设备是否处于设定的位置，并将设备控制在设定的位置上。

所述承托装置包括固设于托板106上的撑板105，所述撑板105上固设有对称的定位腔141，所述定位腔141上固设连接有支撑块103，所述定位腔141用于支撑块103安装时的定位，有利于支撑块103的安装，提高安装效率，所述支撑块103和撑板105上固设有调节块104，进一步将支撑块103固定，避免设备上下移动时出现晃动问题，提高了设备的可靠性，所述顶齿安装板102固设于所述支撑块103的上侧，所述顶齿安装板102固设有开口朝上的插腔101，所述插腔101内固设有顶齿组件，所述顶齿组件由多组顶齿100组成，且所述顶齿100间固设连接。

如图3-6所示，所述顶齿100上设置有空槽204，所述顶齿100包括位于下侧的下插块200、位于中部的中部件201和位于上侧的上部件202，多组所述顶齿100的固设时是通过多组下插块200间相互固设实现的，所述插腔101是通过与下插块200固设实现对顶齿组件的固定，所述插腔101深度与下插块200高度一致，同时固设时所述空槽204的方向相同，具体来说，一组所述顶齿100上的空槽204与相邻的另一组顶齿100上的中部件201相接。

所述下插块200内固设有开口朝上且前后贯穿的放置腔206，所述放置腔206下侧固设有垫块207，用于缓冲硅片组130落入放置腔206内与垫块207碰撞产生的瞬间冲击力，避免硅片组130在冲击力作用下发生破损的情况，提高了设备的可靠性，所述放置腔206上侧的侧面设置有斜面205，一侧的所述斜面205与放置腔206竖直侧面所成角度为钝角，两组所述斜面205间所成角度设置为锐角，有利于硅片组130的进入和顶出，提高了设备的效率，按照图2的视觉角度，前后对应的两组所述放置腔206的竖直中心平面与顶齿组件垂直设置，即当所述硅片组130落入前后对应的放置腔206内时，所述硅片组130与顶齿组件垂直。

此外，所述空槽204设置的目的是保证顶齿100的厚度与相应的硅片组130间距保持一致，使所述顶齿100与硅片组130一一对应，有利于多组硅片组130同时顶出。

所述顶齿100设置为陶瓷材质，不易划伤硅片，且加工精度较高。

在其他实施例中，所述顶齿组件的外形可设置为其他结构。

在其他实施例中，所述移动装置的驱动也可采用同步带或齿轮齿条驱动。

显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。