一种晶圆镀镍花篮的提动装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，特别涉及一种晶圆镀镍花篮的提动装置。


背景技术：

2.刻蚀是半导体制造工艺中一种常见且重要的处理步骤，刻蚀通常采用物理或者化学方式，将硅片表面不需要的材料进行去除。刻蚀又分为湿法刻蚀与干法刻蚀，其中，湿法刻蚀主要采用溶液与刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分，湿法刻蚀过程中，通常将晶片放置于花篮中，再将花篮放置于腐蚀液中，由腐蚀液对晶片进行刻蚀，但是由于晶片放置于花篮中，晶片部分区域与花篮之间的间隙较小，晶片的这部分表面的腐蚀液流动能力较差，故而对晶片的刻蚀效果较差。


技术实现要素：

3.本技术通过提供一种晶圆镀镍花篮的提动装置，用于解决晶片在放置于花篮中时，部分部位刻蚀效果较差的问题。
4.本技术实施例提供了一种晶圆镀镍花篮的提动装置，包括：
5.工作台；
6.驱动件，所述驱动件安装于所述工作台的上方，所述驱动件具有转动的输出端；
7.旋转件一，所述旋转件一安装于所述输出端；
8.驱动杆，所述驱动杆设置于所述旋转件一的表面，所述驱动杆的轴线与所述输出端的轴线相互平行且不共线；
9.位移件，所述位移件开设有导向槽，所述驱动杆的一端伸入至所述导向槽中；
10.导向杆，所述导向杆沿竖向设置于所述工作台，所述导向杆间隙插设于所述位移件开设的滑动孔中。
11.在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：
12.进一步地：所述旋转件一表面开设有多个安装孔，所述安装孔分布于以所述输出端轴线为圆心的同心圆上。本步的有益效果：通过设置多个到输出端轴线距离不同的安装孔，可以使得位移件在不同距离范围内运动。
13.进一步地：所述驱动杆与所述安装孔螺纹连接。本步的有益效果：螺纹连接能够实现驱动杆的快速拆装功能。
14.进一步地：还包括：旋转件二，所述旋转件二转动安装于所述导向杆，所述旋转件二设置于所述导向槽中。本步的有益效果：通过旋转件二降低导向槽的磨损，并且可以提高位移件运动的流畅性。
15.进一步地：还包括：锁定件，所述锁定件连接于所述位移件，所述锁定件用于将所述位移件定位于所述导向杆上。本步的有益效果：通过锁定件将位移件锁定，从而便于操作人员在位移件上装卸花篮。
16.进一步地：所述锁定件设置有螺纹端，所述螺纹端螺纹连接于所述位移件，所述螺
纹端用于压紧所述导向杆的表面从而使所述位移件定位。本步的有益效果：通过螺纹端便于快速实现锁紧或者解锁的功能。
17.进一步地：还包括：提升组件，所述提升组件安装于所述工作台的上方，所述提升组件与所述驱动件连接，所述提升组件用于在竖直方向上改变所述驱动件的位置。本步的有益效果：通过提升组件，便于快速调节位移件的位置。
18.进一步地：还包括立板，所述立板沿竖向安装于所述工作台，所述提升组件安装于所述立板，所述立板对应于所述位移件的运动轨迹开设有通孔，所述位移件的一端穿过所述通孔伸出至所述立板的另一侧。本步的有益效果：通过立板使得放置花篮的区域独立开，减少立板两侧区域的相互影响。
19.进一步地：还包括：花篮挂架，所述花篮挂架相对于所述驱动件设置于所述立板的另一侧，所述花篮挂架连接于所述位移件。本步的有益效果：通过花篮挂架便于连接花篮。
20.与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：通过与旋转件一不同心的驱动杆驱动位移件沿着导向杆在竖直方向上下运动，使得位移件连接的花篮在腐蚀液中进行往复运动，从而加速腐蚀液在晶片表面流动的速率，以此提高腐蚀液的腐蚀效率，保证腐蚀液对晶片的充分刻蚀。
附图说明
21.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
22.图1为本实用新型的结构示意图。
23.其中，
24.1工作台；
25.2驱动件；
26.3旋转件一，301安装孔；
27.4驱动杆；
28.5位移件，501导向槽；
29.6导向杆；
30.7旋转件二；
31.8锁定件；
32.9提升组件；
33.10立板；
34.11花篮挂架。
具体实施方式
35.在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“固接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，机械连接的方式可以在现有技术中选择合适的连接方式，如焊接、铆接、螺纹
连接、粘接、销连接、键连接、弹性变形连接、卡扣连接、过盈连接、注塑成型的方式实现结构上的相连；也可以是电连接，通过电传递能源或者信号；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
36.具体实施例
37.如图1所示，一种晶圆镀镍花篮的提动装置，包括：工作台1、驱动件2、旋转件一3、驱动杆4、位移件5、导向杆6，工作台1沿水平方向设置，驱动件2安装于工作台1的上方，驱动件2具有转动的输出端，旋转件一3安装于输出端，由输出端驱动旋转件一3转动，驱动杆4设置于旋转件一3的表面，驱动杆4的轴线与输出端的轴线相互平行且不共线，位移件5开设有导向槽501，驱动杆4的一端伸入至导向槽501中，导向杆6沿竖直方向设置于工作台1，导向杆6间隙插设于位移件5开设的滑动孔中，位移件5的端部用于与花篮连接，由旋转件一3带动驱动杆4进行圆周运动，驱动杆4在进行圆周运动的过程中推动位移件5在导向杆6上位移，改变花篮在竖直方向的位置，以此使得晶片在腐蚀液中上下运动，从而提高腐蚀液相对于晶片表面的流动速度，提高腐蚀效率与效果。
38.如图1所示，驱动件2采用电机，如伺服电机、减速电机等具有旋转驱动功能的装置，输出端即为电机的输出轴，旋转件一3为转盘，输出轴连接于转盘的中心位置，旋转件一3表面开设有多个安装孔301，安装孔301分布于以输出端轴线为圆心的同心圆上，驱动杆4与安装孔301螺纹连接，通过该种结构，可以将驱动杆4在不同的安装孔301中进行快速拆装，以此改变位移件5的位移距离。
39.如图1所示，该种提动装置还包括：旋转件二7，旋转件二7转动安装于导向杆6，旋转件二7设置于导向槽501中，旋转件二7采用轴承，通过轴承在导向槽501中滚动，以此减少磨损，提高零部件的使用寿命和整个装置运行的流畅性。
40.如图1所示，该种提动装置还包括：锁定件8，锁定件8连接于位移件5，锁定件8用于将位移件5定位于导向杆6上，具体的，锁定件8设置有螺纹端，螺纹端螺纹连接于位移件5，螺纹端用于压紧导向杆6的表面从而使位移件5定位，本实施例中，锁定件8采用螺栓，位移件5的表面开设有与导向槽501连通的螺纹孔，螺栓螺纹连接于该螺纹孔中，为了提高螺栓定位的稳定性，螺栓螺纹端的端部还粘接有橡胶垫，通过橡胶垫压紧导向杆6的外表面，从而将位移件5定位，通过橡胶垫还能够减少磨损。
41.如图1所示，该种提动装置还包括：提升组件9，提升组件9设置于工作台1的上方，提升组件9与驱动件2连接，提升组件9用于在竖直方向上改变驱动件2的位置，具体的，提升组件9可以采用液压缸、电动滑台等装置，本实施例中采用电动滑台，驱动件2安装于电动滑台的导轨上，通过提升组件9能够快速改变位移件5的高度位置，便于将花篮从腐蚀液中移出或者移入腐蚀液中。
42.如图1所示，该种提动装置还包括：立板10，立板10沿竖向安装于工作台1，提升组件9安装于立板10，立板10对应于位移件5的运动轨迹开设有通孔，位移件5的一端穿过通孔伸出至立板10的另一侧，通过设置立板10，一方面便于在其上安装零部件，另一方面使得晶片的刻蚀区域与踢动装置的主体部分隔离开，便于人工在不同区域进行针对性的操作，减少两个区域间的相互干扰。
43.如图1所示，该种提动装置还包括：花篮挂架11，花篮挂架11相对于驱动件2设置于
立板10的另一侧，花篮挂架11连接于位移件5，花篮挂架11用于快速连接花篮。
44.该种晶圆镀镍花篮的提动装置在使用时，将花篮连接于花篮挂架11上，然后通过提升装置将花篮下降到位后，由驱动件2驱动旋转件一3转动，由驱动杆4与输出端的转动中心存在距离，故而驱动杆4会在竖向空间中走圆形轨迹，同时旋转件二7沿着导向槽501的槽壁滚动，推动位移件5沿着导向杆6在竖直方向进行往复运动，花篮在位移件5的带动下在腐蚀液中上下位移，从而提高腐蚀液的流动速率，以此保证晶片表面能够被充分的腐蚀。
45.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。