1.一种用于产生脉冲光束的脉冲光源的波长选择装置，所述波长选择装置包括：
2.根据权利要求1所述的波长选择装置，其中所述衍射光学元件是衍射分束器、衍射光栅、相位光栅、二进制相位光栅或闪耀相位光栅。
3.根据权利要求1所述的波长选择装置，其中所述调谐机构包括四个折射光学元件。
4.根据权利要求3所述的波长选择装置，其中每个折射光学元件是直角棱镜。
5.根据权利要求1所述的波长选择装置，其中所述多个脉冲光子射束的所述不同波长之间的波长间隔大于约10皮米pm、约30pm或约45pm。
6.根据权利要求1所述的波长选择装置，其中针对所述脉冲光束的每个脉冲的所述中心波长是约248纳米nm或约193nm。
7.根据权利要求1所述的波长选择装置，其中所述多个脉冲光子射束的所述不同波长之间的所述波长间隔取决于所述衍射光学元件的周期性形状。
8.根据权利要求1所述的波长选择装置，其中所述调谐机构包括沿着所述脉冲光束到所述衍射光学元件的所述路径布置的四个直角棱镜，并且所述脉冲光束在所述四个直角棱镜与所述中心波长选择光学器件之间被完全放大。
9.根据权利要求1所述的波长选择装置，还包括致动器，所述致动器被配置为调整所述衍射光学元件相对于所述脉冲光束的所述路径的位置，使得所述衍射光学元件在某些时刻沿着所述脉冲光束的所述路径定位，而在其它时刻不沿着所述脉冲光束的所述路径定位，只有当所述衍射光学元件沿着所述脉冲光束的所述路径定位时，所述衍射光学元件才与所述脉冲光束相互作用。
10.根据权利要求9所述的波长选择装置，其中所述致动器还被配置为在所述衍射光学元件处调整所述衍射光学元件相对于所述脉冲光束的所述路径的方向的角度，使得所产生的每个脉冲光子射束在所述中心波长选择光学器件上的所述不同入射角被调整。
11.根据权利要求1所述的波长选择装置，其中所述多个脉冲光子射束包括三个或更多个脉冲光子射束。
12.根据权利要求1所述的波长分离装置，其中所述调谐机构和所述中心波长选择光学器件被布置为在littrow配置中与所述脉冲光束相互作用。
13.根据权利要求1所述的波长分离装置，其中所述中心波长选择光学器件是反射光学元件。
14.根据权利要求1所述的波长分离装置，其中空间图像针对所述脉冲光束的每个不同波长而被形成。
15.根据权利要求1所述的波长选择装置，还包括控制系统以及与所述调谐机构相关联的一个或多个致动器，其中所述控制系统被配置为调整到所述一个或多个致动器的信号，从而调整所述脉冲光束在所述中心波长选择光学器件上的所述入射角。
16.根据权利要求1所述的波长选择装置，其中所述衍射光学元件被布置为与所述脉冲光束沿着所述路径的传播方向垂直。
17.根据权利要求1所述的波长选择装置，其中所述衍射光学元件还被配置为将来自所述中心波长选择光学器件的所述多个脉冲光子射束重新组合，以形成所述脉冲光束。
18.根据权利要求1所述的波长选择装置，其中所述调谐机构包括四个直角棱镜，并且所述脉冲光束至少大部分被放大的所述位置在最接近所述中心波长选择光学器件的所述直角棱镜与第二最接近所述中心波长选择光学器件的所述直角棱镜之间的光路中。
19.一种光学系统，包括：
20.根据权利要求19所述的光学系统，其中所述衍射光学元件是衍射分束器、衍射光栅、相位光栅、二进制相位光栅或闪耀相位光栅。
21.根据权利要求19所述的光学系统，其中所述调谐机构包括四个折射光学元件。
22.根据权利要求21所述的光学系统，其中每个折射光学元件是直角棱镜。
23.根据权利要求19所述的光学系统，其中所述多个脉冲光子射束的所述不同波长之间的波长间隔大于约10皮米pm、约30pm或约45pm。
24.根据权利要求19所述的光学系统，其中针对所述脉冲光束的每个脉冲的所述中心波长是约248纳米nm或193nm。
25.根据权利要求19所述的光学系统，其中所述波长选择装置还包括致动器，所述致动器被配置为调整所述衍射光学元件相对于所述脉冲光束的所述路径的位置，使得所述衍射光学元件在某些时刻沿着所述脉冲光束的所述路径定位，而在其他时刻不沿着所述脉冲光束的所述路径定位，只有当所述衍射光学元件沿着所述脉冲光束的所述路径定位时，所述衍射光学元件才与所述脉冲光束相互作用。
26.根据权利要求25所述的光学系统，还包括控制系统，所述控制系统被配置为控制所述波长选择装置来调整所述衍射光学元件相对于所述脉冲光束的所述路径的所述位置。
27.根据权利要求19所述的光学系统，其中所述光刻曝光设备包括掩模和晶片保持器，所述掩模被定位为与来自所述光源的所述脉冲光束相互作用，所述晶片保持器被配置为保持晶片。
28.根据权利要求27所述的光学系统，其中多个不同的空间图像在所述晶片保持器处的所述晶片上形成，每个不同的空间图像是基于沿传播方向穿过所述掩模的相关脉冲光子射束的所述不同波长的。
29.根据权利要求19所述的光学系统，还包括控制系统以及与所述调谐机构相关联的一个或多个致动器，其中所述控制系统被配置为调整到所述一个或多个致动器的信号，从而调整所述脉冲光束在所述中心波长选择光学器件上的所述入射角。
30.一种用于使用单个脉冲光束来形成多个空间图像的方法，所述方法包括：
31.根据权利要求30所述的方法，其中使所述脉冲光束与所述衍射图案相互作用包括使所述脉冲光束透射通过衍射光学元件。
32.根据权利要求30所述的方法，其中与每个脉冲光子射束相关联的、到所述中心波长选择光学器件上的每个不同入射角由所述衍射图案的周期性形状确定。
33.根据权利要求30所述的方法，其中选择所述脉冲光束在所述中心波长选择光学器件上的所述入射角包括在所述调谐机构内调整折射光学元件的一个或多个角度。
34.根据权利要求30所述的方法，其中从所述脉冲光束产生所述多个脉冲光子射束包括调整所述衍射图案相对于所述脉冲光束的所述路径的位置。
35.根据权利要求34所述的方法，其中调整所述衍射图案的所述位置包括通过移动包括所述衍射图案的衍射光学元件来进行控制。
36.根据权利要求30所述的方法，其中在所述晶片上形成所述多个空间图像包括使所述脉冲光束在所述晶片处的强度轮廓平坦化。
37.根据权利要求30所述的方法，还包括通过使所述脉冲光子射束与沿着所述脉冲光束的所述路径布置的所述衍射图案相互作用来重新组合离开所述中心波长选择光学器件的所述多个脉冲光子射束，使得当所述脉冲光束沿着所述路径行进到所述中心波长选择光学器件时与所述衍射图案相互作用时，产生所述多个脉冲光子射束，并且当所述脉冲光子射束沿着所述路径行进远离所述中心波长选择光学器件时与所述衍射图案相互作用时，所述多个脉冲光子射束被重新组合而形成所述脉冲光束。
38.一种用于产生脉冲光束的脉冲光源的波长选择装置，所述波长选择装置包括：
39.根据权利要求38所述的波长选择装置，其中所述衍射光学元件是衍射分束器、衍射光栅、相位光栅、二进制相位光栅或闪耀相位光栅。
40.根据权利要求38所述的波长选择装置，其中所述调谐机构包括四个折射光学元件。
41.根据权利要求38所述的波长选择装置，其中所述多个脉冲光子射束的所述不同波长之间的波长间隔大于约10皮米pm、约30pm或约45pm。