技术特征：
1.一种搬运装置，以收纳部为对象进行工件的搬运，该收纳部具备在高度方向上排列的多个槽，能够按每个所述槽水平地收纳作为板状物的一个所述工件，所述搬运装置的特征在于，包括：手部，该手部在搬运所述工件时保持所述工件；传感器，该传感器对所述工件照射光来判别所述槽中的所述工件的在库状态；移动机构，该移动机构使所述手部及所述传感器相对于所述收纳部移动；以及控制单元，该控制单元驱动并控制所述移动机构，所述控制单元针对在正常搭载状态下在多个部位收纳有所述工件、且在异常搭载状态下在多个部位收纳有所述工件的状态下的所述收纳部，执行使所述传感器在所述高度方向上移动并由所述传感器检测所述工件的阈值检测动作，根据在所述阈值检测动作中从所述正常搭载状态的所述工件得到的检测厚度的平均值以及所述槽内的高度位置的平均值、和在所述阈值检测动作中从所述异常搭载状态的所述工件得到的检测厚度的平均值以及所述槽内的高度位置的平均值，计算用于判别所述正常搭载状态和所述异常搭载状态的阈值。2.如权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述异常搭载状态包括：针对一个所述槽收纳两个以上的所述工件的第一状态、以及跨越相邻的所述槽收纳至少一个所述工件的第二状态，在计算所述阈值时，使用以所述第一状态在多个部位收纳有所述工件并且以所述第二状态在多个部位收纳有所述工件的所述收纳部。3.如权利要求1或2所述的搬运装置，其特征在于，所述传感器安装于所述手部。4.如权利要求1至3中任一项所述的搬运装置，其特征在于，所述传感器是具有发光部和受光部、通过从所述发光部朝向所述受光部的光被所述工件遮挡来检测所述工件的透射型传感器。5.如权利要求1至3中任一项所述的搬运装置，其特征在于，所述传感器是通过向所述工件照射光并检测来自所述工件的反射光来检测所述工件的反射型传感器。6.如权利要求5所述的搬运装置，其特征在于，将沿着与所述收纳部的进深方向正交的水平方向的、所述工件中的被来自所述传感器的光照射的位置作为照射位置，所述控制单元在进行所述阈值检测动作之前，以在所有的所述槽中各收纳有一个所述工件的状态的所述收纳部为对象，使所述照射位置移动并反复执行使所述传感器沿着所述垂直方向移动而检测来自所述工件的所述反射光的动作，取得检测分布数据，根据所述检测分布数据决定映射位置，所述控制单元在所决定的所述映射位置处执行所述阈值检测动作，所述映射位置是为了进行判别所述收纳部中的所述工件的在库状态的映射而使所述传感器沿垂直方向移动时的所述照射位置。7.如权利要求1至6中任一项所述的搬运装置，其特征在于，所述控制单元在控制所述移动机构来进行所述工件的搬运时，执行进行判别所述收纳
部中的所述工件的在库状态的映射的控制，并且使用所述阈值来判别有无所述异常搭载状态。8.一种映射方法，是判别收纳部中的工件的在库状态的映射方法，所述收纳部具备在高度方向上排列的多个槽，能够按每个所述槽水平地收纳作为板状物的一个所述工件，其特征在于，针对在正常搭载状态下在多个部位收纳有所述工件、且在异常搭载状态下在多个部位收纳有所述工件的状态下的所述收纳部，执行使传感器在所述高度方向上移动并由所述传感器检测所述工件的阈值检测动作，根据在所述阈值检测动作中从所述正常搭载状态的所述工件得到的检测厚度的平均值及所述槽内的高度位置的平均值、和在所述阈值检测动作中从所述异常搭载状态的所述工件得到的检测厚度的平均值及所述槽内的高度位置的平均值，计算用于判别所述正常搭载状态和所述异常搭载状态的阈值。9.如权利要求8所述的映射方法，其特征在于，所述异常搭载状态包括：针对一个所述槽收纳两个以上的所述工件的第一状态、以及跨越相邻的所述槽收纳至少一个所述工件的第二状态，在计算所述阈值时，使用以所述第一状态在多个部位收纳有所述工件并且以所述第二状态在多个部位收纳有所述工件的所述收纳部。10.如权利要求8或9所述的映射方法，其特征在于，所述传感器是通过向所述工件照射光并检测来自所述工件的反射光来检测所述工件的反射型传感器，将沿着与所述收纳部的进深方向正交的水平方向的、所述工件中的被来自所述传感器的光照射的位置作为照射位置，在进行所述阈值检测动作之前，以在所有的所述槽中各收纳有一个所述工件的状态的所述收纳部为对象，使所述照射位置移动并反复执行使所述传感器沿着所述垂直方向移动而检测来自所述工件的所述反射光的动作，取得检测分布数据，根据所述检测分布数据决定映射位置，在所决定的所述映射位置处执行所述阈值检测动作，所述映射位置是为了进行所述映射而使所述传感器沿垂直方向移动时的所述照射位置。11.如权利要求8至10中任一项所述的映射方法，其特征在于，在决定了所述阈值之后进行所述工件的搬运时，进行针对所述收纳部的所述映射，并且使用所述阈值来判别有无所述异常搭载状态。
技术总结
本发明的课题在于在进行判别收纳部中的工件的在库状态的映射时，可靠地检测在一个槽搭载多个工件、或跨越相邻的槽搭载工件的异常搭载状态，其中，所述收纳部具备在垂直方向上排列的多个槽且在正常时按每个槽搭载一个工件。在作为收纳部的匣盒载物台上收纳作为工件的晶片，以使正常搭载状态和异常搭载状态分别在多个部位出现(步骤101)，使传感器相对于该状态的匣盒载物台沿垂直方向移动来进行工件的检测(步骤102)。根据对每个搭载状态检测出的晶片厚度的平均值、和对每个搭载状态检测出的高度方向的晶片中心位置的平均值，计算用于检测异常搭载状态的判定阈值(步骤103)。检测异常搭载状态的判定阈值(步骤103)。检测异常搭载状态的判定阈值(步骤103)。
技术研发人员：猪股彻也
受保护的技术使用者：日本电产三协株式会社
技术研发日：2022.03.21
技术公布日：2022/10/17