技术特征：
1.一种具有氮气吹送的晶圆清洗系统，其特征在于，包括：清洗腔、清洗台、移动臂和双流体喷淋组件，所述清洗腔内设置有所述清洗台，所述清洗台上可操作地放置有晶圆片，所述移动臂设置于所述清洗腔的外侧，所述移动臂上安装有所述双流体喷淋组件，所述移动臂用于带动所述双流体喷淋组件移动至所述晶圆片的正上方；其中，所述双流体喷淋组件包括：管路组件、液体喷头和至少一氮气喷头，所述移动臂具有一可移动的移动安装部，所述移动安装部上设置有所述氮气喷头和所述液体喷头，所述氮气喷头和所述液体喷头均与所述管路组件连接，所述氮气喷头可移动地安装于所述移动安装部上，所述氮气喷头的移动轨迹围绕所述液体喷头设置。2.根据权利要求1所述的具有氮气吹送的晶圆清洗系统，其特征在于，所述氮气喷头的数量为两个，两所述氮气喷头均可移动地安装于所述移动安装部上，两所述氮气喷头关于所述液体喷头呈对称设置。3.根据权利要求1所述的具有氮气吹送的晶圆清洗系统，其特征在于，所述移动臂包括：基座、升降臂和旋转臂，所述基座设置于所述清洗腔的外侧，所述升降臂沿竖直方向设置，所述升降臂的下端与所述基座连接，所述旋转臂沿水平方向设置，所述旋转臂的一端与所述升降臂的上端转动连接，所述旋转臂的另一端与所述移动安装部连接。4.根据权利要求1所述的具有氮气吹送的晶圆清洗系统，其特征在于，所述移动安装部包括：安装主体和移动驱动机构，所述液体喷头固定安装于所述安装主体的下表面的中部，所述氮气喷头可移动地安装于所述下表面的外缘，所述移动驱动机构安装于所述安装主体上，所述移动驱动机构与所述氮气喷头连接，所述移动驱动机构用于驱动所述氮气喷头绕所述液体喷头移动。5.根据权利要求4所述的具有氮气吹送的晶圆清洗系统，其特征在于，所述移动驱动机构包括：旋转机构、连接臂和连接头，所述旋转机构安装于所述安装主体的上表面的中部，所述旋转机构的输出端与所述连接臂的一端连接，所述连接臂的另一端与所述连接头连接，所述连接头与所述氮气喷头连接。6.根据权利要求5所述的具有氮气吹送的晶圆清洗系统，其特征在于，所述安装主体的外缘开设有一弧形槽，所述连接头可滑动地穿过所述弧形槽设置。7.根据权利要求1所述的具有氮气吹送装置的晶圆清洗系统，其特征在于，还包括：液体供给装置和氮气供给装置，所述液体供给装置和所述氮气供给装置均与所述管路组件连接，所述液体供给装置用于向所述液体喷头供给液体，所述氮气供给装置用于向所述氮气喷头供给氮气。8.根据权利要求7所述的具有氮气吹送的晶圆清洗系统，其特征在于，所述液体为化学药液或纯净水。9.根据权利要求1所述的具有氮气吹送的晶圆清洗系统，其特征在于，所述管路组件包括第一管路和第二管路，所述第一管路设置于所述移动安装部内，所述第一管路的一端与所述液体喷头连接，所述第二管路设置于所述移动安装部的外侧，所述第二管路的一端与所述氮气喷头连接。10.一种晶圆清洗方法，包括上述权利要求1至9中任意一项所述的具有氮气吹送的晶圆清洗系统，其特征在于，包括如下步骤：步骤s1，将所述晶圆片放置于清洗台上；
步骤s2，通过清洗台带动所述晶圆片于所述清洗腔内做转动；步骤s3，控制所述移动安装部移动至所述晶圆的正上方并打开液体喷头进行喷淋；步骤s4，打开所述氮气喷头进行吹气并使得氮气喷头围绕所述液体喷头往复移动。
技术总结
本发明公开了一种具有氮气吹送的晶圆清洗系统以及晶圆清洗方法，其中，具有氮气吹送的晶圆清洗系统包括：清洗腔、清洗台、移动臂和双流体喷淋组件，清洗腔内设置有清洗台，清洗台上可操作地放置有晶圆片，移动臂设置于清洗腔的外侧，移动臂上安装有双流体喷淋组件，移动臂用于带动双流体喷淋组件移动至晶圆片的正上方。通过对本发明的应用，实现了在对晶圆表面进行清洗的过程中，通过液体喷头和氮气喷头的同时工作并使得氮气喷头的输出端围绕液体喷头的输出端进行运动，形成以近似螺旋状的双流体对晶圆表面进行清洗，并使得相应清洗液或纯净水更为高效地于晶圆的表面均匀扩散，进而保障了晶圆的清洗质量，减少了晶圆表面液斑的产生。的产生。的产生。
技术研发人员：廖世保 蒋渊 卢证凯 邓信甫
受保护的技术使用者：合肥至微微电子有限公司
技术研发日：2022.07.07
技术公布日：2022/9/20