显示面板及其制作方法、移动终端与流程

文档序号:31999873发布日期:2022-11-02 10:42阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种显示面板,其特征在于,包括基底、及层叠设置于所述基底上的第一栅极、第一绝缘层、有源层、第二绝缘层和第二栅极;所述有源层包括层叠设置于所述第一绝缘层上的第一金属氧化物半导体层和第二金属氧化物半导体层;其中,所述第一金属氧化物半导体层的含氧量大于所述第二金属氧化物半导体层的含氧量,所述第一金属氧化物半导体层包括第一导体部、第二导体部以及位于所述第一导体部和所述第二导体部之间的有源段,在垂直于所述基底的方向上,所述第二金属氧化物半导体层的正投影至少覆盖所述有源段的正投影。2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述显示面板包括位于所述基底和第一绝缘层之间的第一金属层,所述第一金属层包括间隔设置的第一电极、所述第一栅极以及第二电极,其中,所述第一电极与所述第一导体部连接,所述第二电极与所述第二导体部连接。3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述第一导体部与所述第二金属氧化物半导体层的上表面及所述第二金属氧化物半导体层靠近所述第一导体部的一侧接触,所述第二导体部与所述第二金属氧化物半导体层的上表面及所述第二金属氧化物半导体层靠近所述第一导体部的一侧接触;其中,所述第二绝缘层位于所述第一导体部和所述第二导体部之间。4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一栅极和所述第二栅极分别被配置为大小相等的负极性扫描电压。5.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第二金属氧化物半导体层中的载流子浓度大于所述第一金属氧化物半导体层中的载流子浓度。6.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,在垂直于所述基底的方向上,所述第一金属氧化物半导体层的厚度范围为300~800埃,第二金属氧化物半导体层的厚度范围为300~500埃。7.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一金属氧化物半导体层的材料为铟锌氧化物,所述第二金属氧化物半导体的材料为铟镓锌氧化物。8.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一基底;在所述基底上依次形成第一栅极、第一绝缘层、有源层、第二绝缘层和第二栅极,其中,所述第一金属氧化物半导体层的含氧量大于所述第二金属氧化物半导体层的含氧量,所述第一金属氧化物半导体层包括第一导体部、第二导体部以及位于所述第一导体部和所述第二导体部之间的有源段,在垂直于所述基底的方向上,所述第二金属氧化物半导体层的正投影至少覆盖所述有源段的正投影。9.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,所述在所述基底上形成有源层的步骤包括:在所述第一绝缘层远离所述第一栅极的一侧依次形成第一金属氧化物半导体材料层和第二金属氧化物半导体材料层,对所述第一金属氧化物半导体材料层和所述第二金属氧化物半导体材料层进行图案化操作,形成第一金属氧化物半导体子层和所述第二金属氧化物半导体层;
在所述第二金属氧化物半导体层远离所述第一金属氧化物半导体子层的一侧形成第三金属氧化物半导体材料层;对所述第三金属氧化物半导体材料层进行图案化操作,形成第二金属氧化物半导体子层,其中,所述第一金属氧化物半导体子层包括所述有源段,所述第二金属氧化物半导体子层包括所述第一导体部和所述第二导体部。10.一种移动终端,其特征在于,所述移动终端包括终端主体和如权利要求1-7中所述的显示面板,所述终端主体与所述显示面板组合为一体。

技术总结
本申请提供一种显示面板及其制作方法、移动终端,该显示面板包括层叠设置的基底、第一栅极、第一绝缘层、有源层、第二绝缘层以及第二栅极;有源层包括层叠设置于第一绝缘层上的第一金属氧化物半导体层和第二金属氧化物半导体层;本申请实施例通过设置第一金属氧化物半导体层的含氧量大于第二金属氧化物半导体层的含氧量,第一金属氧化物半导体层包括第一导体部、第二导体部以及位于第一导体部和第二导体部之间的有源段,在垂直于基底的方向上,第二金属氧化物半导体层的正投影至少覆盖有源段的正投影,从而避免现有技术中,有源层与绝缘层接触时会在接触界面处产生缺陷,提升有源层的载流子迁移率,并且提升显示面板的稳定性。性。性。


技术研发人员:李才文 覃事建 袁夏梁
受保护的技术使用者:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日:2022.07.08
技术公布日:2022/11/1
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