一种晶圆UV解胶机的制作方法

一种晶圆uv解胶机
技术领域
1.本发明涉及晶圆解胶设备技术领域，具体涉及一种晶圆uv解胶机。


背景技术：

2.在半导体工业生产中，有时需要在晶圆表面贴上uv膜，以便于对晶圆进行工艺加工。在加工完成后需要去除uv膜，用uv灯照射后，uv膜的粘度降低，可以方便去除uv膜。
3.现有的uv解胶机使用紫外灯作为光源照射晶圆，计时结束手动取下晶圆。由于紫外灯需要在封闭空间内照射晶圆，而晶圆放置在置物板上被推到紫外灯的照射区域后，若是缺少锁止件对置物板进行固定，或者锁止件损坏，置物板就会在晶圆处理过程中携带着晶圆意外脱离紫外灯的照射区域，影响晶圆解胶工作的正常进行。而对锁止件的操作不当或者遗忘操作，也会带来同样的问题。因此，需要提供一种晶圆uv解胶机，以解决上述现有存在的问题。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本发明提供一种晶圆uv解胶机，根据需要正常抽拉置物机构，操作便捷，弹性限位机构不阻碍格挡块朝向靠近机箱的一侧移动，即不阻碍置物机构滑行进入机箱内，但是，弹性限位机构阻碍格挡块朝向远离机箱的一侧移动，即阻碍置物机构滑出机箱，有效防止正常工作过程中晶圆意外离开紫外灯照射的工作区域。
5.为达到上述技术效果，本发明提供一种晶圆uv解胶机，采用如下技术方案：一种晶圆uv解胶机，包括：机箱，所述机箱的顶部开口；紫外灯，所述紫外灯设置于机箱内；置物机构，所述置物机构活动贯穿机箱的侧壁，所述置物机构与机箱的内壁滑动连接且滑动进出机箱，所述置物机构位于紫外灯的上方且用于盛装晶圆；机盖，所述机盖设置于机箱的顶部，所述机盖的一端与机箱铰接；格挡机构，所述格挡机构沿置物机构的滑动方向设置于置物机构的顶部，所述格挡机构包括依次连接的若干格挡块；弹性限位机构，所述弹性限位机构设置于机盖上，所述弹性限位机构与格挡机构相配合，所述弹性限位机构不阻碍格挡块朝向靠近机箱的一侧移动，所述弹性限位机构阻碍格挡块朝向远离机箱的一侧移动。
6.进一步的，所述格挡块的顶部呈倾斜的坡度，所述格挡块靠近机箱的一端的高度低于远离机箱的一端的高度。
7.进一步的，所述弹性限位机构包括设置于机盖上的固定座、可拆卸设置于固定座上的轴组件、转动套设于轴组件上的限位组件、设置于限位组件和固定座之间的弹簧。
8.进一步的，所述固定座包括固定块，所述固定块上开设对限位组件进行限位的限位槽，所述轴组件贯穿固定块和限位槽且与固定块可拆卸连接，所述限位组件转动套设于
轴组件上且在限位槽内转动。
9.进一步的，所述固定块上开设与限位槽连通的轴孔，所述固定块上开设与限位槽连通的安装孔，所述轴孔的中轴线的延长线与安装孔的中轴线的延长线重合，所述轴孔和安装孔分别位于限位槽的两侧，所述限位组件包括设置于轴孔内的定位轴和设置于安装孔内的安装螺栓，所述定位轴靠近安装螺栓的一端开设与安装螺栓相配合的螺孔，所述限位组件转动套设于定位轴上。
10.进一步的，所述限位组件包括转动套设于定位轴上的限位板，所述固定块上开设第一容置槽，所述限位板上开设与第一容置槽相对应的第二容置槽，所述弹簧设置于第一容置槽和第二容置槽内，所述弹簧的两端分别与固定块和限位板连接。
11.进一步的，所述置物机构包括与机箱的内壁滑动连接的置物板、设置于置物板远离机箱的一端的端板、设置于端板上的拉手，所述置物板上贯穿开设用于盛装晶圆的盛装槽。
12.进一步的，所述置物板上贯穿开设与盛装槽连通的开孔。
13.进一步的，所述机盖与机箱通过合页铰接，所述机箱的材质为铁，所述机盖靠近机箱的侧壁上远离合页的一端设有用于吸附机箱顶部的吸铁石。
14.本发明的上述技术方案至少包括以下有益效果：1、本发明结构简单，使用方便，根据需要正常抽拉置物机构，操作便捷，弹性限位机构不阻碍格挡块朝向靠近机箱的一侧移动，即不阻碍置物机构滑行进入机箱内，但是，弹性限位机构阻碍格挡块朝向远离机箱的一侧移动，即阻碍置物机构滑出机箱，有效防止正常工作过程中晶圆意外离开紫外灯照射的工作区域；2、将置物机构拉出机箱，便于对晶圆进行取放；直接打开机盖，便于对机箱内的紫外灯进行检修/更换；3、格挡块的顶部呈倾斜的坡度，格挡块靠近机箱的一端的高度低于远离机箱的一端的高度，这样一来，当格挡块进入机箱时，较低一端先与弹性限位机构接触，弹性限位机构不会阻碍格挡块进行机箱；当格挡块要离开机箱时，较高一端的侧壁直接与弹性限位机构相抵接，弹性限位机构阻挡格挡块滑出机箱；4、限位组件包括插装在轴孔内的定位轴和插装在安装孔内的安装螺栓，定位轴靠近安装螺栓的一端开设与安装螺栓相配合的螺孔，螺纹连接，拆装便捷；5、固定块上开设第一容置槽，限位板上开设与第一容置槽相对应的第二容置槽，弹簧安装在第一容置槽和第二容置槽内，弹簧的两端分别与固定块和限位板连接，弹簧对限位板起到复位作用，第一容置槽和第二容置槽对弹簧起到导向作用，有助于拉伸后的弹簧恢复原状；6、机盖与机箱通过合页铰接，机箱的材质为铁，机盖靠近机箱的侧壁上远离合页的一端安装有用于吸附机箱顶部的吸铁石，确保合上机盖时，机盖与机箱紧密连接，只有在机盖受到上拉的力时才能打开，防止工作过程中机盖轻易与机箱脱离。
附图说明
15.图1为本发明实施例中晶圆uv解胶机的结构示意图；图2为图1的俯视图；
图3为本发明实施例中晶圆uv解胶机的一个状态结构示意图；图4为本发明实施例中格挡机构的立体图；图5为本发明实施例中弹性限位机构的结构示意图；图6为图5的左视图；图7为图6中a-a方向的剖面结构示意图；图8为本发明实施例中弹性限位机构的立体图；图9为本发明实施例中弹性限位机构的爆炸图。
16.图中：1、机箱；2、机盖；3、置物机构；31、置物板；32、端板；33、拉手；34、开孔；4、格挡机构；41、格挡块；5、弹性限位机构；51、固定座；511、固定块；512、第一容置槽；513、限位槽；514、轴孔；515、安装孔；52、轴组件；521、定位轴；522、安装螺栓；53、限位组件；531、限位板；532、第二容置槽；533、定位孔；54、弹簧；6、紫外灯。
具体实施方式
17.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图1-9，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
18.一种晶圆uv解胶机，包括：机箱1，机箱1的顶部开口；紫外灯6，紫外灯6设置于机箱1内；置物机构3，置物机构3活动贯穿机箱1的侧壁，置物机构3与机箱1的内壁滑动连接且滑动进出机箱1，置物机构3位于紫外灯6的上方；机盖2，机盖2设置于机箱1的顶部，机盖2的一端与机箱1铰接；格挡机构4，格挡机构4沿置物机构3的滑动方向设置于置物机构3的顶部，格挡机构4包括依次连接的若干格挡块41；弹性限位机构5，弹性限位机构5设置于机盖2上，弹性限位机构5与格挡机构4相配合，弹性限位机构5不阻碍格挡块41朝向靠近机箱1的一侧移动，弹性限位机构5阻碍格挡块41朝向远离机箱1的一侧移动。
19.具体而言，如图1-3所示，一种晶圆uv解胶机，包括顶部开口的机箱1。机箱1内安装有紫外灯6，紫外灯6及安装结构为现有技术，不在这里做进一步赘述。机箱1的左侧壁顶部开设滑孔，滑孔内滑动安装置物机构3，置物机构3的前后两端与机箱1的前后两侧壁的内壁滑动连接，连接结构与现有技术中抽屉的滑动连接结构相同，这里不做进一步赘述。置物机
构3在水平方向上左右滑行，从而达到滑行进出机箱1的目的。置物机构3位于紫外灯6的上方。机箱1的顶部铰接机盖2，机盖2与机箱1的右端铰接，开合便捷。置物机构3的顶部沿置物机构3的滑行方向安装有格挡机构4，格挡机构4包括依次连接的九个格挡块41，九个格挡块41沿直线布置。机盖2上安装有与格挡机构4相配合的弹性限位机构5，弹性限位机构5不阻碍格挡块41朝向靠近机箱1的一侧移动，弹性限位机构5阻碍格挡块41朝向远离机箱1的一侧移动。将置物机构3拉出机箱1，便于对晶圆进行取放；直接打开机盖2，便于对机箱1内的紫外灯6进行更换；合上机盖2，直接将置物机构3推进机箱1内即可开始工作，弹性限位机构5不阻碍格挡块41朝向靠近机箱1的一侧移动，即不阻碍置物机构3滑行进入机箱1内，但是，弹性限位机构5阻碍格挡块41朝向远离机箱1的一侧移动，即阻碍置物机构3滑出机箱1，有效防止正常工作过程中晶圆意外离开紫外灯6照射的工作区域。
20.根据本发明的一个实施例，如图4所示，格挡块41的顶部呈倾斜的坡度，格挡块41靠近机箱1的一端的高度低于远离机箱1的一端的高度。具体地，格挡块41的纵截面为梯形。这样一来，当格挡块41进入机箱1时，较低一端先与弹性限位机构5接触，弹性限位机构5不会阻碍格挡块41进行机箱1；当格挡块41要离开机箱1时，较高一端的侧壁直接与弹性限位机构5相抵接，弹性限位机构阻挡格挡块41滑出机箱1。
21.根据本发明的另一个实施例，如图5-6所示，弹性限位机构5包括固定在机盖2上的固定座51、可拆卸安装在固定座51上的轴组件52、转动套装在轴组件52上的限位组件53、安装在限位组件53和固定座51之间的弹簧54。限位组件53与格挡块41接触配合，限位组件53能够在轴组件52上转动，同时，弹簧54给限位组件53提供复位力，确保限位组件53与格挡块41配合良好。固定座51包括固定块511，固定块511上开设对限位组件53进行限位的限位槽513，轴组件52贯穿固定块511和限位槽513且与固定块511可拆卸连接，限位组件53转动套装在轴组件52上且在限位槽513内转动。限位槽513对限位组件53进行限位，使得限位组件53只能在轴组件52上转动，而无法平移，确保限位组件53始终处于格挡块41的移动线路上。
22.如图7-9所示，固定块511上开设与限位槽513连通的轴孔514，固定块511上开设与限位槽513连通的安装孔515，轴孔514的中轴线的延长线与安装孔515的中轴线的延长线重合，轴孔514和安装孔515分别位于限位槽513的两侧，限位组件53包括插装在轴孔514内的定位轴521和插装在安装孔515内的安装螺栓522，定位轴521靠近安装螺栓522的一端开设与安装螺栓522相配合的螺孔，安装螺栓522插装进螺孔内与定位轴521螺纹连接。拆装便捷。限位组件53转动套装在定位轴521上。限位组件53包括转动套装在定位轴521上的限位板531，限位板531上贯穿开设定位孔533，定位轴521贯穿定位孔533。固定块511上开设第一容置槽512，限位板531上开设与第一容置槽512相对应的第二容置槽532，弹簧54安装在第一容置槽512和第二容置槽532内，弹簧54的两端分别与固定块511和限位板531连接。弹簧54对限位板531起到复位作用，当格挡块41进入机箱1，限位板531因为与格挡块41抵接而在定位轴521上发生转动时，弹簧54受到拉伸，对限位板531施加拉力（复位力），一旦格挡块41对限位板531的抵接力消失，弹簧54就会拉动相位板复位，从而使限位板531与格挡块41的较高端端部抵接，阻碍格挡块41离开机箱1。
23.在本发明的一个实施例中，如图2所示，置物机构3包括与机箱1的内壁滑动连接的置物板31、安装在置物板31远离机箱1的一端的端板32、安装在端板32上的拉手33。置物板31上贯穿开设用于盛装晶圆的盛装槽，便于放置晶圆。置物板31上对称贯穿开设有两个与
盛装槽连通的开孔34，便于使用者插入手指取出晶圆。
24.如图3所示，机盖2与机箱1通过合页铰接，机箱1的材质为铁，机盖2靠近机箱1的侧壁上远离合页的一端安装有用于吸附机箱1顶部的吸铁石，确保合上机盖2时，机盖2与机箱1紧密连接，只有在机盖2受到上拉的力时才能打开，防止工作过程中机盖2轻易与机箱1脱离。
25.本发明的工作原理/使用方法：打开机盖2，手握拉手33，拉出置物板31，紫外灯6暴露出来，工作人员可对紫外灯6进行检修或更换，确保紫外灯6能够正常工作后，合上机盖2。工作人员将待处理的晶圆放进置物板31上的盛装槽内，然后手握拉手33，施加朝向机箱1的推力。格挡块41的较低一端与限位板531抵接，随着置物板31向机箱1内移动，直至格挡块41的较高一端与限位板531抵接，这个过程中，限位板531围绕定位轴521转动，弹簧54拉伸，待限位板531与格挡块41的较高端脱离，弹簧54拉动限位板531复位旋转，限位板531与紧邻着的下一块格挡块41的较低端抵接，重复前边的动作，直至置物板31完全进入机箱1内，紫外灯6对置物板31上的晶圆进行照射处理。处理过程中，限位板531与格挡块41的较高端的端部抵接，不会轻易发生旋转，达到限制格挡块41朝远离机箱1的一侧移动的目的，从而达到阻碍置物板31滑出机箱1的目的，有效防止解胶过程中晶圆意外离开紫外灯6的照射区域，确保解胶工作正常进行。
26.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
27.以上是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。