一种植球装置的制作方法

1.本技术涉及植球技术领域，尤其是涉及一种植球装置。


背景技术：

2.晶圆植球是一种高端半导体封装技术，用于将锡球精准放置于已经印刷助焊剂的晶圆上，植球时需要大量的锡球，供球是其关键技术之一。
3.目前植球设备主要是采用人工供球的方式，授权公告号cn203774257u的中国专利公开了采用手工操作，此种方式不能把握锡球的供应量，有时会出现浪费锡球的现象，在工厂大批量生产情况下，植球质量受人工操作的影响，即现有供球方式，存在改进之处。


技术实现要素：

4.为了实现自动、定量供应锡球，本技术提供一种植球装置。
5.本技术提供的一种植球装置采用如下的技术方案：一种植球装置，包括植球网板，设有与晶圆pad点对应的网孔，用于让锡球落入晶圆上；供球组件，用于定量供应锡球至植球网板上；植球组件，用于使锡球从植球网板植入到晶圆上；所述供球组件包括料盒和驱动料盒沿x方向转动的驱动件，所述料盒内设有填料腔、与填料腔连通的输料道，所述填料腔和输料道的连通处形成有进料口，初始状态下，所述填料腔内的锡球从进料口进入输料道内，当驱动件驱动料盒转动进入供球状态，所述进料口位于填料腔和输料道的上方，锡球从所述输料道落入植球网板上。
6.通过采用上述技术方案，将晶圆固定在植球网板对应位置的下方，等待植球，而后将锡球填充进填料腔内，填料腔内的锡球会进入输料道内，处于待供球状态，驱动件驱动料盒转动一定角度，使得输料道的输料口朝向植球网板上，此时进料口位于填料腔和输料道的上方，即填料腔内的锡球不会再进入输料道内，即输料道内落入植球网板上的锡球是定量的，实现了定量、自动供球作业，随后植球组件将锡球植入到晶圆上，实现植球作业。
7.优选的，所述输料道由定量存料腔和出料腔组成，所述进料口形成于定量存料腔和填料腔之间，所述出料腔位于定量存料腔远离进料口的一端，所述定量存料腔沿远离进料口的方向呈倾斜向下设置，所述出料腔沿远离定量存料腔的方向呈倾斜向上设置，所述填料腔位于定量存料腔的上方。
8.通过采用上述技术方案，存料腔呈倾斜向下设置，便于锡球进入存料腔内，另外出料腔呈倾斜向上设置，即存料腔内的锡球不会立马进入其中，即定量中的量指的是定量存料腔可容纳的锡球数量，在驱动件驱动料盒转动一定角度后，锡球会经过出料腔的缓冲之后均匀滑落出，有助于提高锡球滑落的均匀度。
9.优选的，包括基台，所述植球网板设置在基台的中部，所述基台位于植球网板的一侧滑移连接有安装座，所述料盒转动连接在安装座上，所述驱动件设置在安装座上，所述基
台上设置有用于驱动安装座往复滑移的驱动组件，所述安装座的滑移方向与料盒的转动轴线方向平行。
10.通过采用上述技术方案，在供球状态下，可利用驱动组件驱动安装座滑移，此时从出料腔滑落出来的锡球，会均匀沿着植球网板一侧的长度方向排布，不会冗余在一起，便于后续植球时，能够高效地将锡球植入晶圆内。
11.优选的，所述驱动组件包括皮带轮组件和驱使皮带轮组件运动的伺服电机，所述安装座固设在皮带轮组件的皮带上。
12.通过采用上述技术方案，在运转驱动件使得料盒转动至供料状态的同时，运转伺服电机，使得安装座带动料盒沿x方向做直线运动，实现安装座的往复运动。
13.优选的，所述驱动件设置为固设在安装座上的驱动气缸，所述驱动气缸活塞杆的伸缩方向呈水平且与安装座的滑移方向垂直，所述驱动气缸的活塞杆端部固设置有联动板，所述料盒的侧壁上设有联动块，所述联动块位于料盒转动连接处远离植球网板的一侧，所述联动板上沿竖直方向开设有滑移槽，所述联动块滑移在滑移槽内。
14.通过采用上述技术方案，运转驱动气缸，驱使联动板移动，此时联动块会在滑移槽内进行滑移，实现料盒的翻转动作。
15.优选的，所述安装座位于远离料盒转动连接处的一侧设有缓冲器，所述缓冲器与料盒的底部抵接并使料盒具有向植球网板一侧翻转的趋势。
16.通过采用上述技术方案，利用缓冲器与料盒的底部抵接，使得料盒具有向植球网板一侧翻转的趋势，即使得联动块在滑移槽内具有向上滑移的趋势，有助于联动板移动时，联动块能够流畅的在滑移槽内移动，以防出现卡死的情况；另外在驱动件驱动料盒回转时，利用缓冲器可起到缓冲的作用。
17.优选的，所述基台沿安装座的滑移方向设有安装块，所述安装块的两端均设有接近型传感器，所述安装座上设置有感应块，用于与接近型传感器的感应面接触，所述接近型传感器与外部报警器信号连接。
18.通过采用上述技术方案，安装座的往复运动范围在两个接近型传感器之间，当安装座上的感应块与接近型传感器的感应面接触时，代表安装座偏离了自身的运动行程，此时会传递信号至报警器发出报警声音，并关闭伺服电机，起到保护作用，有助于提高该装置的安全性能。
19.优选的，所述植球组件包括固设在基台上的六轴机械手和安装在六轴机械手上的刮板，所述刮板将锡球通过植球网板上的网孔植入晶圆上。
20.通过采用上述技术方案，六轴机械手带动刮板移动，使得刮板沿设定路径刮动锡球，使得锡球均匀从植球网板上的网孔落入晶圆上，实现植球作业。
21.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：1.首先将锡球填充进料盒的填料腔内，而后填料腔内的锡球会从进料口进入定量存料腔内，而后驱动件驱动料盒转动一定角度，使得进料口位于填料腔和定量存料腔的上部，即使得两个腔室分离，此时定量存料腔内的锡球会定量从出料腔滚落进植球网板上，即该植球装置实现了自动、定量供球作业；2.借助缓冲器与料盒的底部抵接，使得料盒处于向植球网板侧翻转的趋势，即使得联动块在滑移槽内有向上滑移的趋势，即有助于使得联动板在移动的时候，联动块能够
流畅的在滑移槽内滑移，进而实现料盒的转动，以防联动块在联动板上卡死。
附图说明
22.图1为本技术实施例的整体结构示意图；图2为本技术实施例的部分机构示意图，主要体现供球组件和驱动组件的结构；图3为本技术实施例中料盒的内部结构示意图；图4为本技术实施例料盒的的供料状态示意图，主要体现联动板和联动块的结构。
23.附图标记：1、基台；11、安装块；12、接近型传感器；2、植球网板；3、供球组件；31、料盒；311、分隔板；312、联动块；32、驱动气缸；4、植球组件；41、六轴机械手；42、刮板；5、安装座；51、缓冲器；52、感应块；6、驱动组件；61、皮带轮组件；62、伺服电机；7、填料腔；8、输料道；81、定量存料腔；82、出料腔；821、出料口；9、进料口；10、联动板；101、滑移槽。
具体实施方式
24.以下结合附图1-4对本技术作进一步详细说明。
25.本技术实施例公开一种植球装置。
26.参照图1，植球装置包括基台1，基台1的中部固定连接有植球网板2，植球网板2上设有与晶圆pad点相对应的网孔，用于让锡球落入晶圆内，基台1位于植球网板2的一侧设置有用于向植球网板2上定量供应锡球的供球组件3，基台1的一侧还设置有用于将植球网板2上锡球植入到晶圆上的植球组件4。
27.利用供球组件3将锡球定量倾倒在植球网板2上，而后植球组件4刮动锡球，使锡球从植球网板2的网孔中落入晶圆的pad点上，实现植球作业。
28.参照图1和图2，基台1位于植球网板2的一侧沿x方向滑移连接有安装座5，基台1上设置有用于驱动安装座5往复滑移的驱动组件6；安装座5上沿竖直方向安装有缓冲器51，供球组件3包括通过合页转动连接在安装座5上的料盒31和驱动料盒31沿x方向转动的驱动件，料盒31的转动连接处位于安装座5靠近植球网板2的一侧，料盒31的顶部铰接有封盖，封盖通过带扣固定，实现开合动作；缓冲器51的上端与料盒31远离其转动连接处一侧的底部抵接配合，使得料盒31处于向植球网板2一侧轻微倾斜的状态。
29.参照图2和图3，料盒31内固定安装有分隔板311，料盒31位于分隔板311的上方形成有填料腔7，用于装填锡球，料盒31位于分隔板311的下方形成有输料道8，分隔板311和料盒31内壁之间形成有使填料腔7和输料道8连通的进料口9，进料口9位于料盒31远离植球网板2的一侧；输料道8由定量存料腔81和出料腔82组成，定量存料腔81与进料口9连通，出料腔82位于定量存料腔81远离进料口9的一侧，出料腔82远离定量存料腔81的一侧形成有出料口821。
30.其中，分隔板311的上表面呈倾斜设置，沿远离进料口9的方向呈倾斜向上设置，由于缓冲器51与料盒31抵接的关系，因此初始状态下，定量存料腔81呈倾斜设置，沿远离进料口9的方向呈倾斜向下设置，出料腔82沿远离定量存料腔81的方向呈倾斜向上设置。
31.实际中，将晶圆固定在植球网板2对应的位置下方，等待植球作业，而后将锡球装填进料盒31的填料腔7内，由于分隔板311的上侧呈倾斜设置，即填料腔7的底部为倾斜设置，因此锡球会从进料口9进入定量存料腔81内，当驱动件驱动料盒31沿x方向转动时，即向
植球网板2一侧转动并处于供球状态，此时进料口9位于填料腔7和定量存料腔81的上方，填料腔7内的锡球不会再进入定量存料腔81内，定量存料腔81内的锡球会进入出料腔82内，并从出料腔82口倾倒处植球网板2上，同时，驱动组件6驱动安装座5沿x方向做往复移动，使得锡球能够定量均匀的铺设在植球网板2的一侧，且有助于提高后续植球作业的效率。
32.另外，安装座5上安装有发射型传感器，料盒31为透明材质，发射型传感器用于检测料盒31填料腔7内的锡球高度，当锡球高度较低时，发射型传感器会传递信号，提示工作人员进行加球作业。
33.参照图1和图2，驱动组件6包括安装在基台1上的皮带轮组件61和驱使皮带轮组件61运动的伺服电机62，皮带轮组件61中皮带沿x方向移动，伺服电机62的输出轴与皮带轮组件61中的主动轮同轴固定，安装座5固设在皮带轮组件61的皮带上；基台1沿安装座5的滑移方向还铺设有导轨，安装座5与滑轨上的滑块固定连接，用于提高安装座5移动时的稳定性。
34.利用伺服电机62驱动皮带轮组件61运转，实现安装座5的往复移动，使得锡球从料盒31倾倒出来时，能够排布均匀整齐，进而便于后续进行植球作业。
35.基台1位于滑轨的一侧还铺设有长条状的安装块11，安装块11的长度方向与滑轨的长度方向平行，安装块11的两端均安装有接近型传感器12，安装座5的下方固定连接有感应块52，用于与接近型传感器12的感应面接触，接近型传感器12与外界的报警器信号连接。
36.当处于供球状态时，伺服电机62驱动安装座5移动，正常情况下，安装座5会在两个接近型传感器12之间进行往复运动；当感应块52与接近型传感器12的感应面时，说明安装座5已偏离原本的行程，此时接近型传感器12传递信号给报警器发出报警信号，并使得伺服电机62停机，有助于提高该装置的安全性能。
37.参照图2和图4，驱动件设置为驱动气缸32，驱动气缸32固定安装在安装座5上，驱动气缸32活塞杆的伸缩方向呈水平设置且与安装座5的滑移方向垂直，驱动气缸32的活塞杆端部固定连接有联动板10，联动板10上沿竖直方向开设有滑移槽101，料盒31靠近驱动气缸32的一侧固定连接有联动块312，联动块312位于料盒31远离其转动连接处的一侧，滑移槽101的顶端高于联动块312转动轨迹的最高端。其中，本技术中的联动块321上固定有转动轴承，与滑移槽101内壁滚动配合。
38.运转驱动气缸32，驱动联动板10移动，由于初始状态下，料盒31处于倾斜状态，具有向植球网板2侧翻转的趋势，此时，联动块312会在滑移槽101内滑移，即实现了料盒31的转动。
39.参照图1，植球组件4包括固设在基台1上的六轴机械手41和安装在六轴机械手41上的刮板42，刮板42用于将植球网板2上的锡球，均匀高效的植入到晶圆上。
40.本技术实施例一种植球装置的实施原理为：实际中，将锡球倒入料盒31中的填料腔7内，而后锡球会从进料口9进入定量存料腔81内，当驱动气缸32驱动料盒31转动一定角度时，此时填料腔7会和定量存料腔81分隔，即定量存料腔81内的锡球会定量从出料腔82内倾倒至植球网板2上，即定量中所定的量即为定量存料腔81所能容纳的锡球数量，实现定量供球；另外，伺服电机62会驱动安装座5沿x方向移动，带动料盒31移动，使得锡球能够均匀的排布在植球网板2上，在后续刮板42刮动锡球时，可以更高效的使锡球落入晶圆上，降低刮板42的刮球次数，即有助于提高植球的效率。
41.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术
的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。