片粘贴装置以及片粘贴方法与流程

本发明涉及一种片粘贴装置以及片粘贴方法。

背景技术：

1、公知有一种将粘接片粘贴于被粘物的片粘贴装置(例如参照专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2022-30877号公报

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、对于专利文献1所记载的带粘贴系统(片粘贴装置)而言，在不能顺利地进行保护带27(粘接片)的折曲的情况下，会发生如下的粘接片的粘贴不良：在利用第一辊46(伸出区域粘贴单元)粘贴于晶圆w(被粘物)的粘接片部分(伸出区域)形成褶皱，或者形成气泡。

3、本发明的目的在于，提供一种片粘贴装置以及片粘贴方法，能够减少粘接片的粘贴不良。

4、(二)技术方案

5、本发明采用了权利要求记载的结构。

6、(三)有益效果

7、根据本发明，在粘接片形成折曲起始部位，该折曲起始部位是粘接片的折曲的起始部位，从而能够顺利地进行该粘接片的折曲。因此，能够减少粘接片的粘贴不良。

技术特征：

1.一种片粘贴装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的片粘贴装置，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的片粘贴装置，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的片粘贴装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的片粘贴装置，其特征在于，

6.一种片粘贴方法，其特征在于，实施：

技术总结
提供片粘贴装置及片粘贴方法，可尽量消除粘接片的粘贴不良。具备：供给单元(10)，沿规定的供给方向(SD)供给粘接片(AS)；按压单元(20)，以使得利用供给单元供给的粘接片的沿供给方向的一端(AS1)侧及另一端(AS2)侧至少一方形成从被粘物(WK)的外缘端面(WKE)伸出的伸出区域(ASH)的方式将粘接片按压于外缘端面；移动单元(30)，使按压单元和被粘物相对移动，将粘接片粘贴于外缘端面；伸出区域粘贴单元(40)，将伸出区域向与外缘端面相邻的其他面(WK1、WK2)方向折曲进行粘贴。还具备折曲起始部位形成单元(60)，在粘接片形成折曲起始部位(ASC)，折曲起始部位是粘接片的折曲的起始部位。

技术研发人员：丸山政徳
受保护的技术使用者：琳得科株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15