一种导向装置的制作方法

1.本技术属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种导向装置。


背景技术：

2.在半导体晶圆制造中，由于纯净硅的导电性能很差，需要加入少量杂质使其结构和电导率发生改变，从而变成一种有用的半导体，这个过程称为掺杂。离子注入机是掺杂的主要设备，由加速器、离子源、离子引入和质量分析器、扫描系统和工艺腔等部件组成。
3.在离子注入机的保养期间，有许多部件需要拆除、维护和重新安装，其中加速器由于作业空间小，只能采用人工拆装的方式。但加速器重量较大，又含有石墨等脆弱易碎的部分，在安装时费时费力，严重影响安装效率。


技术实现要素：

4.本技术实施例提供一种导向装置，能够将加速器快速导入离子注入机。
5.本技术实施例提供一种导向装置，用于将加速器导入离子注入机，其特征在于，导向装置包括：引导板，包括沿其厚度方向设置的承载面和背面、开口位于承载面的容纳槽及连接承载面和背面的连接面，承载面沿预设轨迹延伸成型并用于承载加速器，以使加速器能够沿预设轨迹移动，连接面位于预设轨迹的一端；连接机构，连接于连接面并由连接面伸出，连接机构用于与离子注入机连接；滑动机构，安装于容纳槽，滑动机构包括至少一个滚动杆，滚动杆沿与预设轨迹相交的方向延伸成型并与引导板可转动连接，滚动杆用于引导加速器移动。
6.根据本技术第一方面的实施方式，至少部分滚动杆从容纳槽的开口伸出承载面。
7.根据本技术第一方面的实施方式，容纳槽贯穿承载面与背面。
8.根据本技术第一方面的实施方式，预设轨迹呈v形，引导板包括沿预设轨迹相交连接的第一分段和第二分段，第一分段的第一表面和第二分段的第二表面呈锐角连接。
9.根据本技术第一方面的实施方式，第一表面和/或第二表面上设置有护栏，护栏凸出于承载面。
10.根据本技术第一方面的实施方式，第二表面上设置有把手。
11.根据本技术第一方面的实施方式，容纳槽包括位于第一分段的第一槽和位于第二分段的第二槽，第一槽和第二槽连通。
12.根据本技术第一方面的实施方式，第一槽与第二槽内均设有滚动杆，多个滚动杆沿预设轨迹间隔设置。
13.根据本技术第一方面的实施方式，连接机构包括：第一挂钩，包括第一挂钩头和第一挂钩杆，第一挂钩杆连接于连接面并由连接面伸出，第一挂钩头与第一挂钩杆远离连接面的一端连接，第一挂钩头朝第一表面的方向弯折，第一挂钩头用于与离子注入机连接。
14.根据本技术第一方面的实施方式，连接机构还包括：第二挂钩，包括第二挂钩头和第二挂钩杆，第二挂钩杆连接于连接面并由连接面伸出，第二挂钩头与第二挂钩杆远离连
接面的一端连接，第二挂钩头朝第一表面的方向弯折，第二挂钩头用于与离子注入机连接；第二挂钩与第一表面的距离小于第一挂钩与第一表面的距离，第二挂钩杆的宽度大于第一挂钩杆的宽度；第一挂钩杆、第二挂钩杆的延伸方向与连接面之间的夹角为5
°‑
15
°
。
15.本技术实施例的导向装置，通过连接机构将引导板连接在离子注入机上，引导板避免了加速器掉落造成损坏以及砸伤操作人员，提高人员操作安全性；通过使连接机构连接于预设轨迹一端的连接面上，连接面朝向离子注入机，加速器沿预设轨迹移动后最终与离子注入机相连，无需人工费力调控加速器运动方位，节约人力成本；通过引导板上的承载面承载加速器，并通过滑动机构的滚动杆引导加速器沿预设轨迹移动，最终将加速器导入离子注入机，大大提高了安装加速器的效率及成功率。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1为本技术一些实施例的导向装置、加速器和离子注入机的俯视结构示意图；
18.图2示出一种示例的图1中导向装置、加速器和离子注入机在a-a截面的的剖视结构示意图；
19.图3示出一种示例的图1中导向装置的俯视结构示意图。
20.附图标记：
21.10、导向装置；11、引导板；111、承载面；112、背面；113、连接面；114、容纳槽；1141、第一槽；1142、第二槽；115、第一分段；1151、第一表面；116、第二分段；1161、第二表面；12、连接机构；121、第一挂钩；1211、第一挂钩头；1212、第一挂钩杆；122、第二挂钩；1221、第二挂钩头；1222、第二挂钩杆；13、滑动机构；131、滚动杆；14、护栏；15、把手；
22.20、加速器；
23.30、离子注入机；31、安装口；32、安装槽；321、限位柱。
具体实施方式
24.下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本技术进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅意在解释本技术，而不是限定本技术。对于本领域技术人员来说，本技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本技术的示例来提供对本技术更好的理解。
25.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
26.申请人发现在现有技术中，将加速器安装进离子注入机时，由于作业空间小，只能采用人工拆装的方式。但加速器重量较大(大约15公斤)，又含有石墨等脆弱易碎的部分，在安装时费时费力，严重影响安装效率。
27.鉴于上述问题，申请人提出导向装置，用于将加速器导入离子注入机，导向装置包括：引导板，包括沿其厚度方向设置的承载面和背面、开口位于承载面的容纳槽及连接承载面和背面的连接面，承载面沿预设轨迹延伸成型并用于承载加速器，以使加速器能够沿预设轨迹移动，连接面位于预设轨迹的一端；连接机构，连接于连接面并由连接面伸出，连接机构用于与离子注入机连接；滑动机构，安装于容纳槽，滑动机构包括至少一个滚动杆，滚动杆沿与预设轨迹相交的方向延伸成型并与引导板可转动连接，滚动杆用于引导加速器移动。
28.本技术提供的导向装置，通过连接机构将引导板连接在离子注入机上，引导板避免了加速器掉落造成损坏以及砸伤操作人员，提高人员操作安全性；通过使连接机构连接于预设轨迹一端的连接面上，连接面朝向离子注入机，加速器沿预设轨迹移动后最终与离子注入机相连，无需人工费力调控加速器运动方位，节约人力成本；通过引导板上的承载面承载加速器，并通过滑动机构的滚动杆引导加速器沿预设轨迹移动，最终将加速器导入离子注入机，大大提高了安装加速器的效率及成功率。
29.请参考图1至图3，为了解决现有技术问题，本技术实施例提供了一种导向装置。下面对本技术实施例所提供的导向装置进行介绍。在本实施例中，将x方向定为预设轨迹方向。
30.请参考图1和图2，图1为本技术一些实施例的导向装置、加速器和离子注入机的俯视结构示意图；图2示出一种示例的图1中导向装置、加速器和离子注入机在a-a截面的的剖视结构示意图。
31.如图1和图2所示，导向装置10用于将加速器20导入离子注入机30，离子注入机30上设有安装口31，用于容纳加速器20，安装口31外部的一侧有障碍物(未图示)，使得在安装加速器20时，工人的操作空间狭小。导向装置10包括：引导板11、连接机构12和滑动机构13。引导板11包括承载面111、背面112、连接面113和开口位于承载面111的容纳槽114，承载面111和背面112沿引导板11的厚度方向设置。承载面111沿预设轨迹(图中的x方向)延伸成型并用于承载加速器20，以使加速器20能够沿预设轨迹(图中的x方向)移动。连接面113位于预设轨迹(图中的x方向)的一端，连接面113连接承载面111和背面112。连接机构12连接于连接面113并由连接面113伸出，连接机构12用于与离子注入机30连接。滑动机构13安装于容纳槽114，滑动机构13包括至少一个滚动杆131，滚动杆131沿与预设轨迹(图中的x方向)相交的方向延伸成型并与引导板11可转动连接，滚动杆131用于引导加速器20移动。
32.本实施例提供的导向装置10，通过连接机构12将引导板11连接在离子注入机30上，引导板11避免了加速器20掉落造成损坏以及砸伤操作人员，提高人员操作安全性；通过使连接机构12连接于预设轨迹(图中的x方向)一端的连接面113上，连接面113朝向离子注入机30，使得加速器20沿预设轨迹(图中的x方向)移动后最终与离子注入机30相连，无需人工费力调控加速器20运动方位，节约人力成本；通过引导板11上的承载面111承载加速器20，并通过滑动机构13的滚动杆131引导加速器20沿预设轨迹(图中的x方向)移动，最终将加速器20导入离子注入机30，大大提高了安装加速器20的效率及成功率。
33.在一些可选的实施例中，预设轨迹(图中的x方向)呈v形，引导板11包括沿预设轨迹(图中的x方向)相交连接的第一分段115和第二分段116，第一分段115的第一表面1151和第二分段116的第二表面1161呈锐角连接。
34.本实施例提供的导向装置10，通过沿v形的预设轨迹(图中的x方向)相交连接的第一分段115和第二分段116，使得引导板11避开了安装口31外部一侧的障碍物，合理利用有限的作业空间来安装导向装置10。
35.请参考图2和图3，图3示出一种示例的图1中导向装置的俯视结构示意图。
36.如图2和图3所示，在一些可选的实施例中，离子注入机30上还可以设有至少一个安装槽32，安装槽32内设有限位柱321。连接机构12包括第一挂钩121，第一挂钩121包括第一挂钩头1211和第一挂钩杆1212。第一挂钩杆1212连接于连接面113并由连接面113伸出，第一挂钩头1211与第一挂钩杆1212远离连接面113的一端连接。第一挂钩头1211朝第一表面1151的方向弯折，第一挂钩头1211用于与离子注入机30相连。
37.在将导向装置10与离子注入机30连接时，将第一挂钩121伸入安装槽32内，第一挂钩头1211绕过限位柱321后钩住限位柱防止第一挂钩121从安装槽32内脱出。
38.本实施例提供的导向装置10，通过朝向第一表面1151弯折的第一挂钩头1211，使得将导向装置10安装在离子注入机30时向第一表面1151一侧移动并挂住限位柱321，避开了安装口31外部一侧的障碍物，合理利用有限的作业空间来安装导向装置10。
39.在一些可选的实施例中，连接机构12还可以包括第二挂钩122，安装槽32的数量与连接机构12中挂钩的数量相等且一一对应。第二挂钩122包括第二挂钩头1221和第二挂钩杆1222。第二挂钩杆1222连接于连接面113并由连接面113伸出，第二挂钩头1221与第二挂钩杆1222远离连接面113的一端连接。第二挂钩头1221朝第一表面1151的方向弯折，第二挂钩头1221用于与离子注入机30相连。第二挂钩122与第一表面1151的距离小于第一挂钩121与第一表面1151的距离，第二挂钩122的宽度大于第一挂钩121的宽度。
40.本实施例提供的导向装置10，通过将远离第一表面1151的第一挂钩121宽度设计的更小，使得将导向装置10安装在离子注入机30时避免第一挂钩121与安装口31外部的障碍物出现干涉，合理利用有限的作业空间来安装导向装置10。
41.在一些可选的实施例中，第一挂钩杆1212、第二挂钩杆1222与连接面113之间的夹角为5
°‑
15
°
。
42.本实施例提供的导向装置10，通过使承载面111稍稍倾斜与水平面形成夹角，使加速器20能更轻松的滑向离子注入机30。
43.在一些可选的实施例中，第一挂钩杆1212、第二挂钩杆1222与连接面113之间也可以垂直连接，而将安装槽32设置为与水平面倾斜，同样能使承载面111稍稍倾斜于水平面。
44.在一些可选的实施例中，第一表面1151和/或第二表面1161上设置有护栏14，护栏14凸出于承载面111。
45.本实施例提供的导向装置10，通过凸出承载面111的护栏14，使得将加速器20引导入离子注入机30时，避免加速器20在承载面111上侧翻砸伤操作人员或损坏设备。而只在第一表面1151、第二表面1161一侧设置护栏14，是由于安装口31外部一侧有障碍物，由于障碍物的干涉作用，加速器20不会从障碍物一侧侧翻。
46.在一些可选的实施例中，第二表面1161上还设置有把手15。
47.本实施例提供的导向装置10，通过把手15使得将导向装置10安装在离子注入机30时便于人员操作。
48.在一些可选的实施例中，至少部分滚动杆131从容纳槽114的开口伸出伸出承载面111。
49.本实施例提供的导向装置10，通过部分伸出容纳槽114的滚动杆131，使得加速器20在引导板11上移动时是与滚动杆131接触，降低加速器20移动时的摩擦力。
50.在一些可选的实施例中，容纳槽114贯穿承载面111与背面112。
51.本实施例提供的导向装置10，通过贯穿承载面111、背面112的容纳槽114，既降低引导板11的重量，也避免容纳槽114积灰后难清理。
52.在一些可选的实施例中，容纳槽114包括位于第一分段115的第一槽1141和位于第二分段116的第二槽1142，第一槽1141和第二槽1142连通。
53.在一些可选的实施例中，第一槽1141和第二槽1142内均设有滚动杆131，多个滚动杆131沿预设轨迹(图中的x方向)间隔设置。
54.本实施例提供的导向装置10，通过第一槽1141、第二槽1142以及多个沿预设轨迹(图中的x方向)间隔设置的滚动杆131，使得加速器20可以从第二分段116一直借助滚动杆131移动到第一分段115，大大提高了安装加速器20的效率以及成功率。
55.在一些可选的实施例中，引导板11、连接机构12、滑动机构13和护栏14均为高强度不锈钢制成，引导板11与连接机构12可通过焊接相连或钢板一体切割成型，引导板11与护栏14通过焊接相连。把手15既可以为不锈钢材质，也可以为塑料材质。当把手15为不锈钢材质时，把手15与引导板11可通过焊接相连，当把手15为塑料材质时，把手15与引导板11可通过螺栓连接。
56.本实施例提供的导向装置10，通过连接机构12将引导板11连接在离子注入机30上，引导板11避免了加速器20掉落造成损坏以及砸伤操作人员，提高人员操作安全性；通过使连接机构12连接于预设轨迹(图中的x方向)一端的连接面113上，连接面113朝向离子注入机30，使得加速器20沿预设轨迹(图中的x方向)移动后最终与离子注入机30相连，无需人工费力调控加速器20运动方位，节约人力成本；通过引导板11上的承载面111承载加速器20，并通过滑动机构13的滚动杆131引导加速器20沿预设轨迹(图中的x方向)移动，最终将加速器20导入离子注入机30，大大提高了安装加速器20的效率及成功率。
57.以上所述，仅为本技术的具体实施方式，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的系统、模块和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。应理解，本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本技术的保护范围之内。