技术特征：
1.一种导向装置，用于将加速器导入离子注入机，其特征在于，所述导向装置包括：引导板，包括沿其厚度方向设置的承载面和背面、开口位于所述承载面的容纳槽及连接所述承载面和所述背面的连接面，所述承载面沿预设轨迹延伸成型并用于承载所述加速器，以使所述加速器能够沿所述预设轨迹移动，所述连接面位于所述预设轨迹的一端；连接机构，连接于所述连接面并由所述连接面伸出，所述连接机构用于与所述离子注入机连接；滑动机构，安装于所述容纳槽，所述滑动机构包括至少一个滚动杆，所述滚动杆沿与预设轨迹相交的方向延伸成型并与所述引导板可转动连接，所述滚动杆用于引导所述加速器移动。2.根据权利要求1所述的导向装置，其特征在于，至少部分所述滚动杆从所述容纳槽的开口伸出所述承载面。3.根据权利要求1所述的导向装置，其特征在于，所述容纳槽贯穿所述承载面与所述背面。4.根据权利要求1所述的导向装置，其特征在于，所述预设轨迹呈v形，所述引导板包括沿所述预设轨迹相交连接的第一分段和第二分段，所述第一分段的第一表面和所述第二分段的第二表面呈锐角连接。5.根据权利要求4所述的导向装置，其特征在于，所述第一表面和/或所述第二表面上设置有护栏，所述护栏凸出于所述承载面。6.根据权利要求4所述的导向装置，其特征在于，所述第二表面上设置有把手。7.根据权利要求4所述的导向装置，其特征在于，所述容纳槽包括位于所述第一分段的第一槽和位于所述第二分段的第二槽，所述第一槽和所述第二槽连通。8.根据权利要求7所述的导向装置，其特征在于，所述第一槽与所述第二槽内均设有所述滚动杆，多个所述滚动杆沿预设轨迹间隔设置。9.根据权利要求4所述的导向装置，其特征在于，所述连接机构包括：第一挂钩，包括第一挂钩头和第一挂钩杆，所述第一挂钩杆连接于所述连接面并由所述连接面伸出，所述第一挂钩头与所述第一挂钩杆远离所述连接面的一端连接，所述第一挂钩头朝所述第一表面的方向弯折，所述第一挂钩头用于与所述离子注入机连接。10.根据权利要求9所述的导向装置，其特征在于，所述连接机构还包括：第二挂钩，包括第二挂钩头和第二挂钩杆，所述第二挂钩杆连接于所述连接面并由所述连接面伸出，所述第二挂钩头与所述第二挂钩杆远离所述连接面的一端连接，所述第二挂钩头朝所述第一表面的方向弯折，所述第二挂钩头用于与所述离子注入机连接；所述第二挂钩与所述第一表面的距离小于所述第一挂钩与所述第一表面的距离，所述第二挂钩杆的宽度大于所述第一挂钩杆的宽度；所述第一挂钩杆、所述第二挂钩杆的延伸方向与所述连接面之间的夹角为5
°‑
15
°
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技术总结
本申请公开一种导向装置，用于将加速器导入离子注入机，其特征在于，导向装置包括：引导板，包括沿其厚度方向设置的承载面和背面、开口位于承载面的容纳槽及连接承载面和背面的连接面，承载面沿预设轨迹延伸成型并用于承载加速器，以使加速器能够沿预设轨迹移动，连接面位于预设轨迹的一端；连接机构，连接于连接面并由连接面伸出，连接机构用于与离子注入机连接；滑动机构，安装于容纳槽，滑动机构包括至少一个滚动杆，滚动杆沿与预设轨迹相交的方向延伸成型并与引导板可转动连接，滚动杆用于引导加速器移动。本申请公开的导向装置，提高人员操作安全性的同时，大大提高了安装加速器的效率及成功率。效率及成功率。效率及成功率。
技术研发人员：杜雷 关云明 杨晶峰
受保护的技术使用者：台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日：2022.09.05
技术公布日：2022/11/29