用于对离子束形状匹配的可调变域进行识别的方法、介质以及系统与流程

背景技术：

1、离子束是一种由离子束产生器生成的带电粒子束。在许多领域中使用离子束来改变表面；例如，离子束常常用于电子装置制造业。可使用离子束来将离子植入到材料中(被称为“离子植入”)、对材料进行刻蚀、对经刻蚀表面进行清洁等。

技术实现思路

1、在一个方面中，一种计算机实施的方法包括：接收离子束的期望的一个或多个束形状参数以及被配置成产生离子束的离子束产生器的一个或多个可调变参数；在搜索空间内选择一组探测点，搜索空间中的每一点表示可调变参数的值组合；对于探测点中的每一者，基于由相应探测点定义的可调变参数的值组合而接收所测量束形状参数；对回归模型进行训练，回归模型被配置成提供探测点附近的插值点的所预测束形状参数；基于所预测束形状参数及所测量束形状参数在搜索空间内对多个聚类进行定义；针对每一相应聚类内的可调变参数的稳定性或灵敏度中的至少一者来对所述多个聚类进行评估；基于评估而选择所述多个聚类中的一者；以及输出针对与所选择的聚类对应的可调变参数组合的调变设定。

2、回归模型可被配置成提供插值点中的每一者的置信度值，且还包括：对所述多个聚类中的与具有高于或低于预定阈值的置信度值的低置信度插值点相关联的一者进行识别；以及使用由低置信度插值点定义的可调变参数的值组合而接收离子束的形状的测量值。

3、对所述多个聚类进行评估可包括：选择一聚类且对所选择的聚类的可调变参数的值组合进行识别；对可调变参数中的第一个可调变参数的值进行调整；以及对所述调整对于离子束的形状的值的影响进行识别。

4、基于评估而选择所述多个聚类中的一者可包括选择具有最大数目的可调变参数的聚类，所述最大数目的可调变参数具有已被锁定到适当位置的值。

5、基于评估而选择所述多个聚类中的一者可包括：识别出正在评估的聚类的第一个可调变参数对于束形状参数中的第一个束形状参数具有实质上线性的影响且对于束形状参数中的第二个束形状参数具有实质上中性的影响；识别出正在评估的聚类的第二个可调变参数对于束形状参数中的第一个束形状参数具有实质上中性的影响且对于束形状参数中的第二个束形状参数具有实质上线性的影响；以及选择正在评估的聚类。根据以下图、说明及权利要求，其他技术特征对于所属领域中的技术人员来说可能是显而易见的。

6、对可调变参数中的所述第一个可调变参数进行调整可使得离子束的形状的值实质上以非线性方式移动，且计算机实施的方法可还包括从考虑中放弃所选择的聚类。

7、对可调变参数中的第一个可调变参数进行调整可使得离子束的形状的值移动小于预定阈值量，或者使得离子束的形状的值实质上以抛物线方式移动，且计算机实施的方法可还包括选择可调变参数中的第一个可调变参数的值且将可调变参数中的第一个可调变参数锁定在所选择的值处。

8、这些技术可被实施为计算机实施的方法、以及存储用于实行所述方法的指令的非暂时性计算机可读介质、被配置成实行所述方法的设备等。根据以下图、说明及权利要求，其他技术特征对于所属领域中的技术人员来说可能是显而易见的。

技术特征：

1.一种计算机实施的方法，包括：

2.根据权利要求1所述的计算机实施的方法，其中所述回归模型还被配置成提供所述插值点中的每一者的置信度值，且还包括：

3.根据权利要求1所述的计算机实施的方法，其中对所述多个聚类进行评估包括：

4.根据权利要求3所述的计算机实施的方法，其中对所述可调变参数中的所述第一个可调变参数进行调整使得所述离子束的所述形状的所述值实质上以非线性方式移动，且还包括从考虑中放弃所选择的所述聚类。

5.根据权利要求3所述的计算机实施的方法，其中对所述可调变参数中的所述第一个可调变参数进行调整使得所述离子束的所述形状的所述值移动小于预定阈值量，或者使得所述离子束的所述形状的所述值实质上以抛物线方式移动，且还包括选择所述可调变参数中的所述第一个可调变参数的值且将所述可调变参数中的所述第一个可调变参数锁定在所选择的所述值处。

6.根据权利要求1所述的计算机实施的方法，其中基于所述评估而选择所述多个聚类中的一者包括选择具有最大数目的可调变参数的聚类，所述最大数目的可调变参数具有已被锁定到适当位置的值。

7.根据权利要求1所述的计算机实施的方法，其中基于所述评估而选择所述多个聚类中的一者包括：

8.一种非暂时性的计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质包括指令，所述指令在由计算机执行时使所述计算机：

9.根据权利要求8所述的计算机可读存储介质，其中所述回归模型还被配置成提供所述插值点中的每一者的置信度值，且其中所述指令还将所述计算机配置成：

10.根据权利要求8所述的计算机可读存储介质，其中对所述多个聚类进行评估包括：

11.根据权利要求10所述的计算机可读存储介质，其中对所述可调变参数中的所述第一个可调变参数进行调整使得所述离子束的所述形状的所述值实质上以非线性方式移动，且其中所述指令还将所述计算机配置成从考虑中放弃所选择的所述聚类。

12.根据权利要求10所述的计算机可读存储介质，其中对所述可调变参数中的所述第一个可调变参数进行调整使得所述离子束的所述形状的所述值移动小于预定阈值量，或者使得所述离子束的所述形状的所述值实质上以抛物线方式移动，且其中所述指令还将所述计算机配置成选择所述可调变参数中的所述第一个可调变参数的值且将所述可调变参数中的所述第一个可调变参数锁定在所选择的所述值处。

13.根据权利要求8所述的计算机可读存储介质，其中基于所述评估而选择所述多个聚类中的一者包括选择具有最大数目的可调变参数的聚类，所述最大数目的可调变参数具有已被锁定在适当位置的值。

14.根据权利要求8所述的计算机可读存储介质，其中基于所述评估而选择所述多个聚类中的一者包括：

15.一种计算设备，包括：

16.根据权利要求15所述的计算设备，其中所述回归模型还被配置成提供所述插值点中的每一者的置信度值，且其中所述指令还将所述设备配置成：

17.根据权利要求15所述的计算设备，其中对所述多个聚类进行评估包括：

18.根据权利要求17所述的计算设备，其中对所述可调变参数中的所述第一个可调变参数进行调整使得所述离子束的所述形状的所述值实质上以非线性方式移动，且其中所述指令还将所述设备配置成从考虑中放弃所选择的所述聚类。

19.根据权利要求17所述的计算设备，其中：

20.根据权利要求15所述的计算设备，其中基于所述评估而选择所述多个聚类中的一者包括：

技术总结
阐述用于对离子束的形状进行调整的技术。可对期望的束形状的特性进行定义。离子束产生器可包括与可调变参数相关联的束成形元件，所述可调变参数可彼此结合地设定。对可能组合的搜索空间进行定义。对搜索空间中的一组探测点进行测量，且使用所述一组探测点基于回归模型对大数目的插值点进行插值。可对与低置信度值相关联的插值点进行测量。基于所测量的及所插值的点，可对可调变参数组合的聚类进行识别以用于进行评估。针对稳定性及敏感性对聚类进行评估，且基于所述评估而选择聚类中的一者。可基于所选择的聚类而对离子束产生器进行配置。

技术研发人员：理查·艾伦·斯普林克,理查德·怀特,艾利克·唐纳德·威尔森,雪恩·康利,安娜·萨莫洛夫,尼莱·A·浦拉丹
受保护的技术使用者：应用材料股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/25