一种2004nmPIN光电探测器及其制备方法与流程

文档序号:35959872发布日期:2023-11-08 22:05阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种2004nm pin光电探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤一中,n型inp缓冲层的厚度为0.5~2μm,掺杂浓度为1×1017/cm3~2×1018/cm3。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤一中,在步骤一中,n型ingaas抛物线异变缓冲层中in组分从53%开始,自下而上按照开口向下的抛物线函数增加至70%-85%,所述n型ingaas抛物线异变缓冲层的厚度为1~5μm。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤一中,n型ingaas组分回退层中in组分小于n型ingaas抛物线异变缓冲层最上方in组分,其差值为1%~10%,n型ingaas组分回退层的厚度为1~5μm。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤一中,非故意掺杂型ingaas吸收层与n型ingaas组分回退层的晶格常数相同,非故意掺杂型ingaas吸收层中in组分大于等于70%,其室温荧光(pl)波长大于等于2100nm,其室温截止波长大于2004nm,在-40℃下对于2004nm光线的响应度不低于0.5a/w。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤二中,所述sin薄膜的厚度为100~500nm。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤三中,zn扩散窗口为圆形或者方形,其直径或边长均为10~5000μm。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤四中,p-型zn扩散区域自上而下依次从非故意掺杂inasp盖层的上表面到非故意掺杂型ingaas吸收层内,其中,在非故意掺杂型ingaas吸收层的深度为0.1~0.5μm。

9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤五中,sin减反膜对于2004nm波长光线的反射率大于等于70%;

10.如权利要求1~9中任一项所述制备方法获得的2004nm pin光电探测器。


技术总结
本发明公开了一种2004nm PIN光电探测器及其制备方法。本发明的目的在于提供一种In组分成抛物线函数变化的异变缓冲层和一层组分回退层。相比于传统的组分渐变多层异变缓冲层,In组分成抛物线函数变化的异变缓冲层可以在较薄的厚度(小于2μm)内实现晶格常数从N型InP衬底到InGaAs吸收层的变化,并将大部分的位错限制在异变缓冲层的底部区域。其上生长的InGaAs组分回退层,可以进一步平衡异变缓冲层中未完全释放的长应力,从而为上层InGaAs吸收层的生长提供了一种“虚拟衬底”,从而可以在其上进行高质量的高In组分的InGaAs吸收层的生长。

技术研发人员:朱岩,杨志茂
受保护的技术使用者:江苏拓微光电科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/16
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