1.一种2004nm pin光电探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤一中,n型inp缓冲层的厚度为0.5~2μm,掺杂浓度为1×1017/cm3~2×1018/cm3。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤一中,在步骤一中,n型ingaas抛物线异变缓冲层中in组分从53%开始,自下而上按照开口向下的抛物线函数增加至70%-85%,所述n型ingaas抛物线异变缓冲层的厚度为1~5μm。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤一中,n型ingaas组分回退层中in组分小于n型ingaas抛物线异变缓冲层最上方in组分,其差值为1%~10%,n型ingaas组分回退层的厚度为1~5μm。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤一中,非故意掺杂型ingaas吸收层与n型ingaas组分回退层的晶格常数相同,非故意掺杂型ingaas吸收层中in组分大于等于70%,其室温荧光(pl)波长大于等于2100nm,其室温截止波长大于2004nm,在-40℃下对于2004nm光线的响应度不低于0.5a/w。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤二中,所述sin薄膜的厚度为100~500nm。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤三中,zn扩散窗口为圆形或者方形,其直径或边长均为10~5000μm。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤四中,p-型zn扩散区域自上而下依次从非故意掺杂inasp盖层的上表面到非故意掺杂型ingaas吸收层内,其中,在非故意掺杂型ingaas吸收层的深度为0.1~0.5μm。
9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤五中,sin减反膜对于2004nm波长光线的反射率大于等于70%;
10.如权利要求1~9中任一项所述制备方法获得的2004nm pin光电探测器。