一种双面隧穿钝化接触太阳能电池结构及其制备方法与流程

文档序号:36977857发布日期:2024-02-07 13:31阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,包括硅基体,所述硅基体正面的非金属化区域由内向外依次为正面隧穿氧化层、第一n型掺杂多晶硅层、n型掺杂碳化硅层和正面减反层;所述硅基体正面的金属化区域由内向外依次为正面隧穿氧化层、第一n型掺杂多晶硅层、n型掺杂碳化硅层、第二n型掺杂多晶硅层、正面减反层和正面电极;所述正面电极穿过所述正面减反层后与所述第二n型掺杂多晶硅层和所述n型掺杂碳化硅层形成欧姆接触;

2.根据权利要求1所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述第二n型掺杂多晶硅层的厚度大于所述第一n型掺杂多晶硅层;所述第一n型掺杂多晶硅层的厚度为1nm~100nm;所述第二n型掺杂多晶硅层的厚度为10nm~200nm。

3.根据权利要求2所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述第一n型掺杂多晶硅层的厚度为3nm~20nm;所述第二n型掺杂多晶硅层的厚度为40nm~100nm。

4.根据权利要求3所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述硅基体为n型硅片;所述硅基体的电阻率为0.3ω·cm~7ω·cm;

5.根据权利要求4所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述硅基体的电阻率为0.5ω·cm~3.5ω·cm;

6.根据权利要求1~5中任一项所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述硅基体的背面由内向外依次为背面隧穿氧化层、第一p型掺杂多晶硅层、p型掺杂碳化硅层、第二p型掺杂多晶硅层和背面减反层;所述硅基体的背面还设有背面电极,所述背面电极穿过所述背面减反层后与所述第二p型掺杂多晶硅层形成欧姆接触;

7.根据权利要求6所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述背面隧穿氧化层为氧化硅层;所述背面隧穿氧化层的厚度为0.5nm~3nm;

8.根据权利要求7所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述背面隧穿氧化层的厚度为1nm~2nm;

9.一种双面隧穿钝化接触太阳能电池结构的制备方法,其特征在于,采用以下任意一种方式进行制备:

10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,步骤s11和步骤s21中,采用碱性溶液对硅基体进行双面制绒,直至在表面形成尺寸为0.5μm~2.5μm的金字塔;所述硅基体为n型硅片;所述硅基体的电阻率为0.3ω·cm~7ω·cm;


技术总结
本发明公开了一种双面隧穿钝化接触太阳能电池结构及其制备方法,该结构包括硅基体,以及其正面非金属化区域设置的正面隧穿氧化层、第一N型掺杂多晶硅层、N型掺杂碳化硅层和正面减反层或透明导电氧化物薄膜,正面金属化区域设置的正面隧穿氧化层、第一N型掺杂多晶硅层、N型掺杂碳化硅层、第二N型掺杂多晶硅层、正面减反层或透明导电氧化物薄膜和正面电极,并形成欧姆接触。本发明中,在电池正面金属化区域和非金属化区域构建隧穿接触结构,不仅可以提高正面钝化效果,而且也能减少正面寄生吸收,提高正面光学利用率,从而构建得到钝化效果好、转换效率高的双面隧穿钝化接触电池结构,对于实现TOPCon电池的广泛应用具有重要意义。

技术研发人员:李兵,陈骏,赵增超,成秋云,李明
受保护的技术使用者:湖南红太阳光电科技有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/6
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