1.一种双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,包括硅基体,所述硅基体正面的非金属化区域由内向外依次为正面隧穿氧化层、第一n型掺杂多晶硅层、n型掺杂碳化硅层和正面减反层;所述硅基体正面的金属化区域由内向外依次为正面隧穿氧化层、第一n型掺杂多晶硅层、n型掺杂碳化硅层、第二n型掺杂多晶硅层、正面减反层和正面电极;所述正面电极穿过所述正面减反层后与所述第二n型掺杂多晶硅层和所述n型掺杂碳化硅层形成欧姆接触;
2.根据权利要求1所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述第二n型掺杂多晶硅层的厚度大于所述第一n型掺杂多晶硅层;所述第一n型掺杂多晶硅层的厚度为1nm~100nm;所述第二n型掺杂多晶硅层的厚度为10nm~200nm。
3.根据权利要求2所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述第一n型掺杂多晶硅层的厚度为3nm~20nm;所述第二n型掺杂多晶硅层的厚度为40nm~100nm。
4.根据权利要求3所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述硅基体为n型硅片;所述硅基体的电阻率为0.3ω·cm~7ω·cm;
5.根据权利要求4所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述硅基体的电阻率为0.5ω·cm~3.5ω·cm;
6.根据权利要求1~5中任一项所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述硅基体的背面由内向外依次为背面隧穿氧化层、第一p型掺杂多晶硅层、p型掺杂碳化硅层、第二p型掺杂多晶硅层和背面减反层;所述硅基体的背面还设有背面电极,所述背面电极穿过所述背面减反层后与所述第二p型掺杂多晶硅层形成欧姆接触;
7.根据权利要求6所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述背面隧穿氧化层为氧化硅层;所述背面隧穿氧化层的厚度为0.5nm~3nm;
8.根据权利要求7所述的双面隧穿钝化接触太阳能电池结构,其特征在于,所述背面隧穿氧化层的厚度为1nm~2nm;
9.一种双面隧穿钝化接触太阳能电池结构的制备方法,其特征在于,采用以下任意一种方式进行制备:
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,步骤s11和步骤s21中,采用碱性溶液对硅基体进行双面制绒,直至在表面形成尺寸为0.5μm~2.5μm的金字塔;所述硅基体为n型硅片;所述硅基体的电阻率为0.3ω·cm~7ω·cm;