兼容式花篮夹持装置的制作方法

本发明属于半导体加工，具体涉及一种兼容式花篮夹持装置。

背景技术：

1、圆晶(wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶或硅片。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶。

2、晶圆加工中一般包括如下步骤，先将晶圆适当清洗，再在其表面进行氧化及化学气相沉积，然后进行涂膜、曝光、显影、蚀刻、离子植入、金属溅镀等反复步骤，最终在晶圆上完成数层电路及元件加工与制作。

3、在对晶圆进行加工过程中，通常都放在花篮中进行加工，因此需要对花篮进行夹持。现有的花篮夹持装置通常采用传动机构如齿轮传动机构等将驱动源传动至两个夹棒进行相向旋转或向背旋转，通过夹棒上的夹具实现对花篮的夹持或松开。

4、由于晶圆的规格不同，需要放在不同规格的花篮中，针对不同规格的花篮需要采用不同的花篮夹持装置进行夹持，花篮夹持装置无法兼容较多规格的花篮，大大增加了生产成本。

5、另外，现有的花篮夹持装置在处于夹持状态下，若干预传动机构，会较容易的使得两个夹棒转动，严重影响了花篮夹持的稳定性。

技术实现思路

1、本发明针对现有的花篮夹持装置由于无法兼容多种规格的花篮，增加了生产成本，在外界干预时，影响夹持稳定性的技术问题，目的在于提供一种兼容式花篮夹持装置。

2、为了解决前述技术问题，本发明提供一种兼容式花篮夹持装置，所述兼容式花篮夹持装置包括两个夹棒、设置在所述夹棒上的夹具以及驱动组件；

3、所述驱动组件包括：

4、横移机构，所述横移机构具有做水平横移的横移端；

5、过度滑块，所述过度滑块上设置有凸轮槽口，所述过度滑块连接于所述横移机构的横移端；

6、两个凸轮随动器，各所述凸轮随动器的一端滑动连接于所述凸轮槽口内，各所述凸轮随动器的另一端连接对应的所述夹棒；

7、由所述横移机构带动所述过度滑块水平横移时，带动两个所述凸轮随动器上下摆动，进而带动两个所述夹棒上的夹具做相向夹持或向背松开动作。

8、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述横移机构包括：

9、伺服电机；

10、丝杆，所述丝杆的一端连接所述伺服电机的电机轴，由伺服电机转动带动所述丝杆转动；

11、丝杆螺母，所述丝杆螺母连接于所述丝杆上，所述丝杆螺母作为所述横移机构的横移端，由所述丝杆转动带动所述丝杆螺母做水平横移。

12、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述兼容式花篮夹持装置还包括：

13、驱动壳体，所述驱动壳体内设置有所述驱动组件，所述夹棒的一端插入于所述驱动壳体内与所述凸轮随动器的另一端连接；

14、所述丝杆的另一端通过第一轴承座及第一轴承支撑在所述驱动壳体内。

15、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，位于所述驱动壳体内的夹棒通过第二轴承座及第二轴承支撑在所述驱动壳体内。

16、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述凸轮槽口是纵截面为矩形或腰形的通槽，所述凸轮槽口的两侧为敞开结构，所述凸轮槽口的长度方向倾斜于所述横移机构的横移方向；

17、两个所述凸轮随动器分别设置在所述凸轮槽口的两侧。

18、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述凸轮随动器包括：

19、万向球轴承，所述万向球轴承的外壁与所述凸轮槽口滑动连接，所述万向球轴承的连接杆伸出于所述凸轮槽口；

20、连接盘，所述连接盘的侧边延伸有连接块，所述连接块与所述万向球轴承的连接杆连接，所述连接盘连接对应的所述夹棒。

21、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述兼容式花篮夹持装置还包括位置感应组件，所述位置感应组件包括：

22、霍尔传感器，所述霍尔传感器的感应端位于所述过度滑块的侧边；

23、感应片，所述感应片连接于所述过度滑块的侧边，由所述过度滑块水平横移带动所述感应片靠近或远离所述霍尔传感器的感应端。

24、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述位置感应组件为两组，两组所述位置感应组件分别设置在所述过度滑块的两侧。

25、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述兼容式花篮夹持装置还包括：

26、两个位置传感器，各所述位置传感器的感应端设置在所述连接杆或连接块的上方或下方。

27、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述兼容式花篮夹持装置还包括夹持感应组件，所述夹持感应组件包括：

28、感应壳体，所述感应壳体固定在所述夹棒上；

29、触点传感器，所述触点传感器设置在所述感应壳体内，所述触点传感器具有感应端；

30、挡板，所述挡板设置在所述感应壳体内，所述挡板的一端位于所述触点感应器的感应端外侧；

31、信号传动杆，所述信号传动杆的一端与所述挡板连接，所述信号传动杆的另一端延伸至所述夹具的夹紧件的上沿；

32、当所述夹具夹持花篮时，所述花篮顶部外缘抵接并使得所述信号传动杆的另一端向外侧摆动，带动所述信号传动杆一端连接的所述挡板向内侧摆动，所述挡板碰触所述触点感应器的感应端。

33、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述信号传动杆包括：

34、上传动杆，所述上传动杆与所述挡板连接；

35、下传动杆，所述下传动杆与所述上传动杆可拆卸连接。

36、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述上传动杆为复合层，所述上传动杆的外层为非金属材质层，所述上传动杆的内层为金属材质层。

37、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述下传动杆为非金属材质；

38、或，所述下传动杆为复合层，所述下传动杆的外层为非金属材质层，所述下传动杆的内层为金属材质层。

39、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述夹持感应组件还包括：

40、连接轴，所述连接轴的一侧与所述信号传动杆的一端连接，所述连接轴的另一侧插入于所述感应壳体内并与所述感应壳体转动连接；

41、所述挡板具有连接部，所述连接部与所述连接轴的另一侧连接，所述挡板通过第三轴承固定在所述感应壳体内。

42、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述第三轴承为深沟球轴承。

43、可选地，在如前所述的兼容式花篮夹持装置中，所述夹持感应组件还包括：

44、密封板，所述密封板套设在所述连接轴与所述感应壳体之间，所述密封板与所述连接轴之间、所述密封板与所述感应壳体之间均采用密封圈密封。

45、本发明的积极进步效果在于：

46、1、本发明改进的驱动组件，通过横移机构带动过度滑块水平横移时，带动两个凸轮随动器上下摆动，进而带动两个夹棒上的夹具做相向夹持或向背松开动作，本发明将横移行程转化为上下摆动幅度，摆幅范围大大增加，可夹持不同规格的花篮需求。

47、2、本发明的驱动组件，在多种结构的相互配合下，若处于某一状态时，外部人为无法干预驱动夹棒动作，特别是夹持状态下，能保证花篮夹持的稳定性。

48、3、本发明通过设计夹持感应组件可监测夹具是否夹持有花篮。

49、其中，信号传动杆的设计，可以延伸至夹具的夹紧件的上沿，可大大防止花篮处液体或混合气体对感应部分的腐蚀。

50、信号传动杆的分体设计，还可以根据不同规格的花篮选择不同长度的下传动杆。即使，下传动杆太长情况下，可根据实际场景剪去部分下传动杆，保证其位于夹紧件的上沿即可。