一种湿法制程装置及产线模拟系统的制作方法

本技术涉及湿法制程领域，具体而言，涉及一种湿法制程装置及产线模拟系统。

背景技术：

1、在泛半导体前期工艺研发阶段，通常要对实际生产制造过程进行模拟，包括湿刻、剥离、显影等工艺，各个工艺会集成在一个装置内进行作业，每个工艺需要朝产品喷洒对应的湿电子化学品，但是各工艺切换过程中难免存在残留的湿电子化学品，而不同的湿电子化学品接触时会对产品质量造成影响，导致整体产品合格率降低。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种湿法制程装置及产线模拟系统，其能够对产品在各个工艺切换过程中进行清洁作业，避免残留的湿电子化学品相互接触影响产品质量。

2、本实用新型的实施例可以这样实现：

3、本实用新型的实施例提供了一种湿法制程装置，其包括：

4、壳体、输送件、第一喷出件和第二喷出件；

5、其中，输送件、第一喷出件以及第二喷出件设置于壳体，第一喷出件和第二喷出件分别设置于输送件的两侧，第一喷出件用于喷出湿电子化学品，第二喷出件用于喷出清洁介质。

6、上述技术方案中，输送件用于输送供给产品，壳体则用于起到遮挡保护的作用，第一喷出件通过喷出湿电子化学品对各个工艺进行模拟，第二喷出件用于在工艺切换过程中喷出清洁介质，减少前工艺的湿电子化学品残留，避免不同的湿电子化学品相接触影响产品质量，进而确保整体产品的合格率。

7、可选地，第二喷出件包括底座、延伸杆、转盘以及第二喷嘴，底座、延伸杆以及转盘依次设置，转盘可转动地连接于延伸杆，第二喷嘴设置于转盘并连通有第二供应管。

8、上述技术方案中，底座用于起到定位的作用，延伸杆用于支撑转盘，转盘用于带动第二喷嘴转动，由第二供应管向第二喷嘴供应用于喷洒作业的液体或气体介质，最终通过第二喷嘴进行喷出，从而对产品进行清洁作业。

9、可选地，延伸杆包括伸缩臂和缓冲垫，转盘可转动地连接于伸缩臂远离所述缓冲垫的一端，缓冲垫设置于伸缩臂与底座之间。

10、上述技术方案中，通过设置伸缩臂用于带动转盘进行伸缩移动，使得第二喷嘴与产品的间距得到调整，缓冲垫则用于对伸缩臂的伸缩移动起到缓冲作用。

11、可选地，第二喷嘴的数量为至少两个，至少两个第二喷嘴分别设置于转盘远离延伸杆的一端的端面和侧壁。

12、上述技术方案中，通过在转盘的端面和侧壁设置第二喷嘴，在对产品进行喷洒作业的同时还可以对壳体以及输送件进行喷洒作业，避免物质残留，防止对产品造成污染。

13、可选地，第一喷出件包括聚集管和第一喷嘴，第一喷嘴连通于聚集管，聚集管连通有第一供应管。

14、上述技术方案中，由第一供应管向聚集管供应用于喷洒作业的湿电子化学品，并在聚集管中进行聚集，最终通过第一喷嘴进行喷出，从而实现工艺模拟。

15、可选地，第一喷嘴的数量为至少两个，至少两个第一喷嘴平行间隔设置。

16、上述技术方案中，通过将第一喷嘴平行间隔设置，可以对依次通过的产品进行重复喷洒，确保喷洒作业的彻底性。

17、可选地，湿法制程装置还包括活动隔板，活动隔板设置于壳体并用于将壳体的内腔分隔为上空腔和下空腔，输送件以及第一喷出件设置于上空腔内，第二喷出件设置于下空腔并用于伸入至上空腔进行喷洒作业。

18、上述技术方案中，通过设置活动隔板对壳体的内腔进行分隔，可以避免喷洒过程中第一喷出件喷出的喷洒介质残留在第二喷出件的表面。

19、可选地，湿法制程装置还包括喷洒液刀，喷洒液刀连通于第一喷出件并位于输送件的上侧。

20、上述技术方案中，通过设置喷洒液刀用于对流经的产品进行补充喷洒，从而进一步确保经过产品的喷洒效果。

21、可选地，输送件包括相连接的支撑框和多个滚轮，多个滚轮间隔设置。

22、上述技术方案中，支撑框用于连接固定滚轮，滚轮通过与产品的滚动配合进行输送产品，并使滚轮之间存在间隙，方便喷洒介质通过该间隙对产品进行喷洒作业。

23、本实用新型的实施例还提供了一种产线模拟系统，包括：液体循环系统、气体循环系统以及上述湿法制程装置，液体循环系统以及气体循环系统用于与第一喷出件或第二喷出件或壳体的内腔连通。

24、上述技术方案中，液体循环系统和气体循环系统分别用于提供用于喷洒作业的液体和气体，使得对产品进行清洗喷淋的同时还能够干燥吹干。

技术特征：

1.一种湿法制程装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的湿法制程装置，其特征在于，所述延伸杆(142)包括伸缩臂(1421)和缓冲垫(1422)，所述转盘(143)可转动地连接于所述伸缩臂(1421)远离所述缓冲垫(1422)的一端，所述缓冲垫(1422)设置于所述伸缩臂(1421)与所述底座(141)之间。

3.根据权利要求1所述的湿法制程装置，其特征在于，所述第二喷嘴(144)的数量为至少两个，所述至少两个第二喷嘴(144)分别设置于所述转盘(143)远离所述延伸杆(142)的一端的端面和侧壁。

4.根据权利要求1所述的湿法制程装置，其特征在于，所述第一喷嘴(132)的数量为至少两个，所述至少两个第一喷嘴(132)平行间隔设置。

5.根据权利要求1-4任一项所述的湿法制程装置，其特征在于，所述湿法制程装置还包括活动隔板(150)，所述活动隔板(150)设置于所述壳体(110)并用于将所述壳体(110)的内腔分隔为上空腔(111)和下空腔(112)，所述输送件(120)以及所述第一喷出件(130)设置于所述上空腔(111)内，所述第二喷出件(140)设置于所述下空腔(112)并用于伸入至所述上空腔(111)进行喷洒作业。

6.根据权利要求1-4任一项所述的湿法制程装置，其特征在于，所述湿法制程装置还包括喷洒液刀(160)，所述喷洒液刀(160)连通于所述第一喷出件(130)并位于所述输送件(120)的上侧。

7.根据权利要求1-4任一项所述的湿法制程装置，其特征在于，所述输送件(120)包括相连接的支撑框(121)和多个滚轮(122)，多个所述滚轮(122)间隔设置。

8.一种产线模拟系统，其特征在于，包括：液体循环系统、气体循环系统以及权利要求1-7任一项所述的湿法制程装置，所述液体循环系统以及气体循环系统用于与所述第一喷出件(130)或所述第二喷出件(140)或所述壳体(110)的内腔连通。

技术总结
本技术的实施例提供了一种湿法制程装置及产线模拟系统，涉及湿法制程领域。该湿法制程装置包括壳体、输送件、第一喷出件和第二喷出件；其中，输送件、第一喷出件以及第二喷出件设置于壳体，第一喷出件和第二喷出件分别设置于输送件的两侧，第一喷出件用于喷出湿电子化学品，第二喷出件用于喷出清洁介质。输送件用于输送供给产品，壳体则用于起到遮挡保护的作用，第一喷出件通过喷出湿电子化学品对各个工艺进行模拟，第二喷出件用于在工艺切换过程中喷出清洁介质，减少前工艺的湿电子化学品残留，避免不同的湿电子化学品相接触影响产品质量，进而确保整体产品的合格率。该产线模拟系统包括湿法制程装置，具备湿法制程装置的全部功能。

技术研发人员：张伟明,沈楠,聂航,章学春,李玉兴
受保护的技术使用者：上海盛剑微电子有限公司
技术研发日：20230310
技术公布日：2024/1/15