一种晶圆固定载具的制作方法

本发明涉及一种载具，具体涉及一种晶圆固定载具，属于半导体封装。

背景技术：

1、目前，半导体晶圆底部填充后制程工艺中，在晶圆底部填充后，需要进行超声波扫描，以此确认胶水填充情况，传统超声波扫描设备只支持条状基板，无法对晶圆类型进行扫描。

2、因此，有必要提供一种晶圆固定载具以解决超声波扫描的问题。

技术实现思路

1、为解决现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种晶圆固定载具。

2、为了实现上述目标，本发明采用如下的技术方案：

3、一种晶圆固定载具，包括主体面板；

4、所述主体面板设有匹配晶圆的凹槽，于所述凹槽的任一侧设置延伸至主体面板的敞口槽；

5、并于敞口槽处设置匹配的紧固结构；

6、所述紧固结构包括水平置于敞口槽内的舌片，

7、所述舌片的两侧分别由挡板夹持，舌片近凹槽的端面呈弧形，远离凹槽的端面接弹簧的一端，弹簧的另一端抵接固定板。

8、于上述主体面板的底面设有一对平行的脚板，所述脚板用于匹配检测仪器。

9、上述舌片内侧端面的曲率与凹槽的曲率一致。

10、沿主体面板的厚度方向，上述敞口槽未通透主体面板的底面。

11、进一步的，上述挡板包括与主体面板固定的上挡板；舌片的侧端置于上挡板和主体面板间。

12、上述弹簧沿凹槽的半径方向布置。

13、上述弹簧的旋向为右，有效圈数为5圈，总圈数为6圈，表面镀锌退磁处理。

14、本发明的有益之处在于：

15、本发明的一种晶圆固定载具，通过于主体面板上设置匹配晶圆的凹槽，再设置弹性的紧固结构，使晶圆稳定的置于凹槽内，待检测。通过设于主体面吧板底面的脚板，使载有晶圆的面板与检测仪器固定，进而使得设备支持对晶圆的超声波扫描。

16、本发明的一种晶圆固定载具，其结构简单，使用方便，可实现设备同时支持基板和晶圆的两种方式作业，解决设备作业单一性问题，具有很强的实用性和广泛的适用性。

技术特征：

1.一种晶圆固定载具，其特征在于，包括主体面板；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆固定载具，其特征在于，于所述主体面板的底面设有一对平行的脚板，所述脚板匹配检测仪器的夹具。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆固定载具，其特征在于，所述舌片内侧端面的曲率与凹槽的曲率一致。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆固定载具，其特征在于，沿主体面板的厚度方向，所述敞口槽未通透面板的底面。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆固定载具，其特征在于，所述挡板包括与主体面板固定的上挡板；舌片的侧端置于上挡板和面板间。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆固定载具，其特征在于，所述弹簧沿凹槽的半径方向布置。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆固定载具，其特征在于，所述弹簧的旋向为右，有效圈数为5圈，总圈数为6圈，表面镀锌退磁处理。

技术总结
本发明的一种晶圆固定载具，包括设有匹配晶圆的凹槽的主体面板，于凹槽的任一侧设置延伸至面板的敞口槽；并于敞口槽处设置匹配的紧固结构；紧固结构包括水平置于敞口槽内的舌片，舌片的两侧分别由挡板夹持，舌片近凹槽的端面呈弧形，远离凹槽的端面接弹簧的一端，弹簧的另一端抵接固定板。其通过于主体面板上设置匹配晶圆的凹槽，再设置弹性的紧固结构，使晶圆稳定的置于凹槽内，待检测。通过设于主体面板底面的脚板，使载有晶圆的主体面板与检测仪器固定，进而使得设备支持对晶圆的超声波扫描。其结构简单，使用方便，可实现设备同时支持基板和晶圆的两种方式作业，解决设备作业单一性问题，具有很强的实用性和广泛的适用性。

技术研发人员：鲁国健,刘畅
受保护的技术使用者：江苏芯德半导体科技有限公司
技术研发日：20230524
技术公布日：2024/1/15