一种具有上料功能的半导体机台

本发明涉及半导体生产领域，更具体的，涉及一种具有上料功能的半导体机台。

背景技术：

1、随着电子产品的进步，半导体技术被广泛地应用来制造记忆体、中央处理器、液晶显示器、发光二极管、激光二极管以及其他元件或晶片组。为了达到高集成密度和高速的要求，半导体集成电路的尺寸已经大幅缩减，同时各种不同的材质，例如铜或超低介电系数材质，也被建议与其他用来克服这些材质所衍生的制程难题的技术一起使用。当集成电路的特征尺寸降低时，集成电路各层之间的厚度差异，将会影响集成电路的电性表现。在半导体制程中，利用适当制程方法，可进行薄膜沉积以及蚀刻等制程。此类制程可再具有多重反应室的群集工具(cluster tools)下执行，将不同的制程整合在一个系统中，使制程之间的闲歇时间减少，以增加产能。

2、现有技术中，中国专利公布号为cn107622943a，公布日为2018年01月23日，专利名称为“半导体刻蚀机台”的发明专利申请，刻蚀装置包括：侧壁，所述侧壁围成刻蚀腔；顶盖，密封设置于所述侧壁的顶部；真空泵，固定设置于所述刻蚀腔的底部；晶圆吸附盘，设置于所述刻蚀腔内；悬臂，固定连接所述晶圆吸附盘和所述侧壁，所述悬臂的高度尺寸大于所述悬臂的厚度尺寸；且从所述悬臂的顶端至所述悬臂的底端，所述悬臂的厚度先逐渐增大，后逐渐减小。因此，能够减小悬臂对气体流动的阻挡，使得从顶盖排出的反应气体和化学反应产生的杂质气体能够快速通过悬臂、流向刻蚀腔的底部，从而能够提高晶圆靠近悬臂一侧的刻蚀速度，使晶圆在各个区域具有相对均衡的刻蚀速度，保证晶圆在不同位置均具有相接近的刻蚀程度，提高产品良率。

3、现有技术中，现有的半导体机台在对半导体材料进行制作加工的过程中由于缺乏上料的组件，导致该半导体机台进行加工过程中需要手动上料，以至于降低生产效率的问题。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的缺陷，本发明所要解决的技术问题在于提出一种具有上料功能的半导体机台，以解决上述背景技术提出的现有技术操作时由于缺乏上料的组件，导致该半导体机台进行加工过程中需要手动上料，以至于降低生产效率的问题。

2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：

3、本发明提供了一种具有上料功能的半导体机台，包括机台主体，所述机台主体的一端安装有上料组件，所述机台主体外侧设置有监控机构，所述机台主体的内部一侧设置有定位组件，所述上料组件的一侧安装有分料组件，所述机台主体的一侧开设有通槽，所述上料组件的两侧安装有上料架，所述上料架的两端设置有上料输送辊，所述上料输送辊的外壁缠绕有输送带，所述上料架的一端贯穿于通槽的内侧，所述上料组件的外侧均匀分布有多个限位条，所述上料架的一侧安装有上料电机，所述上料架的一端安装有送料板，通过通槽开设于机台主体的一侧可以为上料装置提供上料的空间，随后将上料装置安装于该位置，并且将上料装置的一端延伸入其内侧，通过上料架对上料的装置提供架设支撑，上料输送辊传动带动输送带运行实现输送，从而可以将需要加工的半导体材料放置于输送带上，从而可以将半导体材料经过输送输入机台主体的内部进行雕刻加工处理工作，通过此上料方式有利于提高了上料的效率，进而提升了半导体生产制造的进度，进一步提升了产量，限位条可以对半导体进行限位输送，上料电机为输送工作提供驱动力，送料板方便了当半导体材料输送至的内侧时进行滑落导向输送，提升了便捷性；

4、所述机台主体的内部安装有两个监控摄像头，所述机台主体的顶部安装有警报灯，所述机台主体的顶部安装有监控显示器，所述监控显示器安装在警报灯的侧方，所述定位组件的底部安装有定位台，所述定位台的顶部两侧安装有长推杆，所述长推杆的侧面连接有气动推杆，所述定位台的顶部两端安装有伸缩座，所述伸缩座的侧面连接有电动伸缩杆，监控摄像头分布在机台主体的内部上方，可以无死角的对生产的过程中进行监控记录，同时监控显示器可以在外部实时查看，便于直观的查看设备工作情况，在发生设备意外时通过内部监测设备的信号分析传输，可以通过警报灯进行警报提醒，从而能够实时监测上料过程中的材料位置和状态，提高生产质量和稳定性。定位台为半导体的生产提供托载的位置，方便了将半导体材料放置在表面进行下一步的加工操作，长推杆与气动推杆连接可以实现合并，且内侧滑动连接有伸缩座的组件，配合上电动伸缩杆的电动伸缩控制，进而可以通过合并拢聚的方式将半导体材料推动至中心位置，方便了雕刻的装置正对半导体材料的上方，进而有利于提高了激光雕刻精度，有效地保证了半导体的生产质量；

5、所述分料组件的外侧安装有分料槽，所述分料槽的一端设置在上料架的一侧，所述分料组件的顶部分布有多个分料监控探头，所述分料槽的侧面安装有外框体，所述外框体的内侧设置有多个液压伸缩机，所述液压伸缩机的一端安装有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的一端安装有连接头，所述连接头的底部安装有吸盘，通过分料槽装载不同尺寸的半导体片，再通过分料监控探头根据需求分析并控制设备进行分类，随后通过对应需求的液压伸缩机控制吸盘移动至半导体片的上方，通过吸附后配合升降电动机的升降调节以及液压伸缩机的延伸移动将半导体片移动至上料部件的位置，从而实现了快速分类上料的作用，有利于提升了分类的效率，进而保证了可以针对不同的半导体进行上料工作，提升了工作的范围。

6、在本发明较佳的技术方案中，所述机台主体的外侧设置有外壳体，所述外壳体的正面活动安装有盖板，所述盖板的侧面安装有提手，所述上料电机的侧面安装有侧装架，所述上料架的底部安装有斜撑架，所述分料槽的内侧分布有多个半导体片，所述分料槽的顶部安装有顶框架，所述分料槽的侧面开设有多个通孔，所述液压伸缩杆贯穿于通孔的内侧，所述外框体的两端安装有螺纹升降架，所述螺纹升降架的内侧螺纹连接有升降螺纹杆，所述升降螺纹杆的底部安装有升降电动机，所述升降电动机的侧面固定安装在分料槽的底部，所述吸盘的顶部贯穿于连接头的顶部连接有气管，所述气管的一端连接有电磁阀门，所述电磁阀门的侧面连接有气压罐，通过外壳体可以对外部的部件进行安装固定，同时提供了一定的防护效果，提手安装在盖板的底部外侧，可以在需要开启盖板时通过手动抬升完成开启的作用，反之则闭合设备，从而有利于保证半导体安全生产的效果，通过侧装架对上料电机提供了稳定的安装，斜撑架可以将托起，保证了稳定支撑。液压伸缩杆穿入通孔的内侧可以提供升降的空间效果，螺纹升降架与升降螺纹杆之间螺纹连接配合升降电动机可以实现有效地升降调节功能，电瓷阀门可以单独控制管道的气体输送，气压罐则提供了有效地气压供给效果。

7、在本发明较佳的技术方案中，所述机台主体的内部设置有雕刻机，所述雕刻机的底部安装有雕刻头，所述雕刻机的顶部连接有连接线路，连接线路可以与设备连接并接入信号输出，并且控制雕刻机经过雕刻头进行激光雕刻处理工作。

8、在本发明较佳的技术方案中，所述雕刻机的两侧安装有升降杆，所述升降杆的顶部贯穿于外壳体的顶部，所述升降杆的顶部连接有升降机，所述升降机的底部与外壳体的顶部相连接，通过升降杆配合升降机进行升降调节，从而实现了高度调整的效果，有利于在雕刻工程中根据需要调节，提升了操作范围。

9、在本发明较佳的技术方案中，所述机台主体的正面一端安装有控制台，所述控制台的正面一端安装有状态显示屏，所述控制台的正面另一端分布有多个控制按钮，通过控制台上安装有状态显示屏和控制按钮，从而方便了实现手动的操作控制，以及对设备的工作状态信息进行查看。

10、在本发明较佳的技术方案中，所述外壳体的一端安装有挡板，所述挡板设置在上料组件的一端上方，所述外壳体的正面设置有机箱封板，通过挡板可以提供一定的遮挡功能，通过机箱封板可以方便了开启设备底部的空间，对部件维修检查提供便捷性。

11、在本发明较佳的技术方案中，所述机台主体的底部四角固定安装有支撑座，所述机台主体的底部安装有四个移动轮，支撑座对整体可以提供稳定的支撑作用，移动轮方便了移动时的便捷，在不需要移动时可以进行收缩，使得支撑座保持稳定的支撑。

12、在本发明较佳的技术方案中，所述监控摄像头的底部安装有外透明罩，所述监控摄像头的顶部固定连接有吊装柱，所述吊装柱顶部与机台主体的内壁顶部之间安装有吊装座，所述警报灯的底部与外壳体的顶部之间固定安装有竖杆，所述外壳体的顶部与监控显示器的底部之间固定安装有底座，通过外透明罩对监控摄像头的镜头部分组件提供安全防护的作用，通过吊装柱与吊装座对监控摄像头提供安装支撑的作用，竖杆对警报灯提供安装支撑，底座主要作用于对监控显示器安装。

13、在本发明较佳的技术方案中，所述长推杆的一侧开设有滑槽，所述滑槽的内侧滑动连接有滑动撑块，所述伸缩座的两端安装有弹性伸缩杆，两个所述弹性伸缩杆的一端与滑动撑块相连接，滑槽为滑动撑块的滑动提供导向的作用，提升了精准性，滑动撑块与弹性伸缩杆连接于伸缩座的两端，可以保证了合并时实现伸缩调节的效果，有助于将半导体推动至中心位置，也方便了雕刻过程中进行推动移动，实现完整的雕刻步骤。

14、在本发明较佳的技术方案中，所述气动推杆的一端连接有气缸，所述气缸的底部安装在机台主体的内壁，所述电动伸缩杆的底部与定位台的顶部两端连接，所述长推杆的中部设置有定位推块，通过气缸可以为气动推杆提供了有效地气动推动的效果，从实现了精准的定位作用，定位推块有助于提升了辅助推动的效果。

15、本发明的有益效果为：

16、本发明提供的一种具有上料功能的半导体机台，通过通槽开设于机台主体的一侧可以为上料装置提供上料的空间，随后将上料装置安装于该位置，并且将上料装置的一端延伸入其内侧，通过上料架对上料的装置提供架设支撑，上料输送辊传动带动输送带运行实现输送，从而可以将需要加工的半导体材料放置于输送带上，从而可以将半导体材料经过输送输入机台主体的内部进行雕刻加工处理工作，通过此上料方式有利于提高了上料的效率，进而提升了半导体生产制造的进度，进一步提升了产量。

17、通过监控摄像头分布在机台主体的内部上方，可以无死角的对生产的过程中进行监控记录，同时监控显示器可以在外部实时查看，便于直观的查看设备工作情况，在发生设备意外时通过内部监测设备的信号分析传输，可以通过警报灯进行警报提醒，从而能够实时监测上料过程中的材料位置和状态，提高生产质量和稳定性。

18、通过定位台为半导体的生产提供托载的位置，方便了将半导体材料放置在表面进行下一步的加工操作，长推杆与气动推杆连接可以实现合并，且内侧滑动连接有伸缩座的组件，配合上电动伸缩杆的电动伸缩控制，进而可以通过合并拢聚的方式将半导体材料推动至中心位置，方便了雕刻的装置正对半导体材料的上方，进而有利于提高了激光雕刻精度，有效地保证了半导体的生产质量。

19、分料槽装载不同尺寸的半导体片，再通过分料监控探头根据需求分析并控制设备进行分类，随后通过对应需求的液压伸缩机控制吸盘移动至半导体片的上方，通过吸附后配合升降电动机的升降调节以及液压伸缩机的延伸移动将半导体片移动至上料部件的位置，从而实现了快速分类上料的作用，有利于提升了分类的效率，进而保证了可以针对不同的半导体进行上料工作，提升了工作的范围。