专利名称：半导体制造设备控制系统的配置设备单元状态控制方法
技术领域：
本发明涉及在半导体制造设备控制系统中对配置的设备单元状态进行控制的方法，特别涉及通过单元监控模块对控制系统中配置的各设备的实际工作能力的自动控制方法，由此使设备的整个生产力达到最大。
通常，用高精密工艺制造半导体器件。配置在半导体生产线上的高功能设备用于高精密加工。
为提高设备的工作效率，工作人员通过控制系统精心监视设备的工作。
如
图1所示，半导体制造设备3设置在生产线上。批量的加工件(lots)(没示出)引入设备3中待加工。
当批量加工件引入设备中并加工时，操作员用与设备3联机连接的操作员接口个人计算机O/I PC2精心监视设备3的工作。
设备3分别用设备服务器4联机连接到主计算机1。主计算机1联机连接至O/I PC2。
一旦操作员把基本的制造数据，例如，在设备3中待加工的批量加工件的ID(标识符)和用于对批量加工件进行加工的设备3的ID(标识符)输进主计算机1，主计算机1根据操作员输入的基本的制造数据，检索其用于加工批量加工件的适当的加工条件数据的数据库。
此后，操作员检查加工条件数据，并输入加工起始指令或加工结束指令。之后，批量加工件在设备3的内外迅速被跟踪。
此时，设备3用其操作单元如装载部件和卸载部件(没画)，室5等对批量加工件进行加工。
设备3对批量加工件进行加工时，操作员连续精心监视设备3的各单元的工作，判别各单元的工作状态。如果判明单元中的某些单元如室5中的某个室由于它正在维修或运转出了故障而处于不工作状态中，则确定包括处在不工作状态的某些室的整个设备处于不工作状态中。因此，关闭包括处于不工作状态的某些室的设备，以防止出现与不工作状态室有关的一些问题。
生产线中，输送装置，例如，自动滑行引导车(auto guided vehicle(AGV))6配置在设备3之间和库房(bay)之间，以自动输送装加工件的盒子。AGV 6有助于半导体制造自动化。
AGV 6由与主计算机1联机通信被控制。主计算机1把工作指令连续传送给AGV 6，因此，AGV 6能无任何工作障碍地迅速进行它的产品运输功能。
但是，这种常规控制系统有一些问题。
首先，即使设备中只有几个单元处于不工作状态时，操作员认为整个设备处于不工作状态。结果，不能有效控制设备的整个生产力。
第二，操作员很难实时识别单元的工作状态。包括处于不工作状态的单元的设备会被认为是处在工作状态。之后，操作员给设备输入正常加工条件数据。这时，过多的加工件送入设备中，超出了设备的生产能力。这会造成过量的加工件送入设备中并累积在设备中。
第三，AGV在无操作员干预的情况下工作会增加进入设备并累积在设备中的过量的加工件数量。
第四，过量的加工件送入并累积在设备中时，整个生产效率会降低。
本发明的目的是，通过实时识别设备中单元的工作状态，并按设备的实际工作能力进行加工，以有效控制设备的整个生产力。
本发明的另一目的是，按照设备的实际工作能力控制送进设备中的加工件的数量，以防止过量的加工件送入并累积在设备中。
为实现上述目的和其它优点，半导体制造设备的控制系统的配置设备单元状态控制方法包括以下步骤接收来自设备服务器的设备单元的工作状态数据；确定设备中是否有设备出现了不正常的单元工作状态数据；如果确定设备中的某个设备出现了不正常的单元工作状态数据，确定某设备中的全部单元是否处于不工作状态，如果确定某设备的全部单元均处于不工作状态，则阻截下载到某设备中的全部加工条件数据；如果确定某设备的全部单元不是处于不工作状态，识别某设备的全部单元之中处于不工作状态的单元，并阻截下载到处于不正常工作状态的单元的某些加工条件数据。
最好在阻截下载到某设备的全部加工条件数据的步骤之后，或在阻截下载到处于不工作状态的单元的某些加工条件数据之后，在半导体制造设备的控制系统中用于对配置设备的单元状态进行控制的方法还包括下列步骤把设备单元状态消息下载到某设备中；并把传送设备控制消息下载到传送设备中。
设备单元状态消息和传送设备控制消息最好是流函数消息。
因此，本发明提供了相应于设备实际工作能力的适当控制的生产力。
通过参考附图对优选实施例的详细说明，本发明的上述目的和其它优点将会更清楚。
图1是半导体制造设备的常规控制系统的方框图；图2是本发明实施例的半导体制造设备的控制系统的方框图；图3是本发明的配置在控制系统中的半导体制造设备的单元的状态控制方法的流程图；图4是本发明的配置在控制系统中的半导体制造设备的单元的状态控制方法的第一实施例的流程图。
以下将参见展示出本发明优选实施例的附图更充分地说明本发明。但是，本发明可以按许多不同的形式实施，本发明不受这里所述实施例的限制。提供这些实施例只是为了更充分和完全地公开发明，并将本发明的范围完全告知本领域的技术人员。
如图2所示，主计算机1包括单元监控模块10，它接收从设备3通过各设备服务器4提供的设备3的单元的实时工作状态数据。
当单元监控模块10插入主计算机1时，报告模块20被插入每个设备服务器4中，因此，设备3的单元的各个工作状态数据能实时报告给单元监控模块10。
单元监控模块10接收由设备3通过设备服务器4输入的单元的工作状态数据，连续实时监视设备3的单元的工作状态。按照识别结果，单元监控模块10控制该加工结果设备3按其实际操作的可能性进行加工。
换句话说，如果识别出设备3的某设备的某单元，例如，第一设备3a的第一室5a，处于其不工作的状态，单元监控模块10阻截下载到第一室5a的加工(process)条件数据，并且，只把加工条件数据下载给其它室，即第一设备3a的第二室5b和第三室5c。同时，单元监控模块10控制AGV 6，把原来要装入第一室5a的加工件装入其它设备中。结果，按其操作能力把适当数量的加工件装入第一设备3a中并进行加工。
参见图3，将更详细说明半导体制造设备控制系统中配置设备单元的状态控制方法。首先，单元监控模块10实时接收从设备3通过服务器4提供的单元的工作状态数据。(S10)，从而，单元监控模块10立即识别设备3的单元的工作状态，例如，室5的工作状态。
之后，单元监控模块109确定设备3是否有设备出现不正常的单元工作状态数据，(S20)。
如果确定没有设备出现不正常的单元工作状态数据，所有的设备3均处于工作状态中，单元监控模块10返回到该控制过程的第一步骤(S10)接收设备3的单元的工作状态数据。
反之，如果确定设备3的某设备出现不正常单元的工作状态数据，单元监控模块10确定某设备的全部单元是否处于不工作状态(S30)。
如果确定某设备的全部单元均处于不工作状态，单元监控模块10把确定的结果输入主计算机1中，因此，能阻截下载给某设备的全部加工条件数据，(S40)。结果，包括处于不工作状态的单元的某设备立即与正常工作流程分开。例如，如果第一设备3a的第一、第二和第三室5a,5b和5c均处于不工作状态，单元监控模块10阻截下载到第一设备3a的全部加工条件数据，因此，第一设备3a可立即与处于工作状态的其它设备的处理流程分开。
反之，如果确定某设备全部单元不是处于不工作状态，单元监控模块10检索不正常单元工作状态数据，并识别某设备的全部单元中处于不正常工作状态的单元。之后，单元监控模块10把识别结果送入主计算机1，除处于工作状态的单元的加工条件数据之外，阻截下载给处于不工作状态单元的加工条件数据。(S51和S52)，结果，处于不工作状态的单元与处于工作状态单元的正常加工流程立即分开，例如，如果识别出第一设备3a的第一室5a处于不工作状态，其它室，即，第二室5b和第三室5c，处于工作状态，单元监控模块10把识别结果输入主计算机10，以便把加工条件数据‘b’和‘c’下载到第二室5b和第三室5c，而不把加工条件数据‘a’下载给第一室5a，因此，第一室5a可与由第二室5b和第三室5c进行的正常加工流程分开，除处于不工作状态的第一室5a之外，第一设备3a可用处于工作状态的第二室5b和第三室5c迅速进行加工。结果，第一设备3a可按其工作能力进行加工。
常规控制系统中，尽管只有设备的几个单元处于不工作状态，而其它单元仍处于工作状态，也认为整个设备处于不工作状态，造成整个设备的生产力的控制效率降低。
但是，在本发明的控制系统中，包括处于不工作状态单元的某设备可与处于工作状态的其它设备实时区分开。只有某设备的处于不工作状态的单元与正常加工流程分开，因此，某设备的其它单元仍可进行正常加工。从而，某设备可在处于其工作状态的单元中进行加工。这就是说，能有效控制某设备的整个生产力。
另一方面，如图4所示，在阻截下载到某设备的全部加工条件数据的步骤S40之后，或阻截下载到处于不工作状态的单元的某加工条件数据的步骤S50之后，单元监控模块10可把其上加载了某设备的单元状态数据的设备单元状态消息经过联机连接到某设备的某设备服务器下载给某设备的监视器，因此，操作员可用眼睛识别出现了错误的某设备的单元的状态。(S61)，例如，单元监控模块10将第一设备3a的单元状态数据处理作为正文数据，例如，“第一设备的第一室处于停机状态，其第二室处于运行状态，第三室处于运行状态”，并把其上加载了正文数据的设备单元状态消息通过设备服务器4a下载给第一设备3a的监视器(未示出)。由此，操作员可使第一设备按其工作能力进行加工。
设备单元状态消息最好是允许平滑通信的流函数(stream function)消息。
此后，操作员采取适当动作，如修复第一设备3a。
之后，单元监控模块10按某设备的工作状态，下载能控制传送设备，如AGV 6，的传送设备控制消息。(S62)，而且，传送设备按某设备的工作能力分配加工件。结果，当加工件累积在某设备中时能防止出现其它的问题。例如，AGV 6仅把能在第二室5b和第三室5c中处理的加工件中的某些加工件加入第一设备3a中，并把其它加工件分配和加入第n设备的3n中其中所有的室5均处于工作状态。而且，按设备3a的工作能力分配加工件。结果，能防止加工件累积在第一设备3a中。
常规控制系统中，即使设备的某些单元处于不工作状态，也可能认为该设备是处于工作状态，并输入正常加工条件指令，这会造成超过设备的实际工作能力而把过多的加工件加入到设备中并累积在设备中。而且，用AGV能使设备中累积的加工件增多。
但是，按本发明，通过单元监控模块10控制传送设备，按设备的工作状态分配加工件。因此，按设备本身的工作能力把加工件分配并加入到设备3中。结果能预先防止出现与加工件的累积相关的问题。
而且，按照本发明，能在没有操作员干预的情况下进行全部数据处理。结果使用AGV 6的自动化效率达到最大。
与设备单元状态消息相同，传送设备控制消息也最好是允许平滑(smooth)通信的流函数消息。
此后，单元监控模块10重复进行上述步骤。结果，能有效控制设备3的全部生产力。
如上所述，按照本发明，通过单元监控模块自动控制设备的工作能力，使设备的生产力达到最大。
本发明能应用于设置在生产线上并需要预控制的半导体制造设备中，不会使效率造成任何损坏。
以上参考所述实施例说明了本发明，但是，对本领域技术人员而言，在不脱离本发明范围的情况下，显然会有许多替换、改进和变化。因此，本发明包括全部这些替换、改进和变化，它们都全部落入本发明权利要求书确定的本发明的精神和范围内。
如上所述，包括主计算机中的预定单元监控模块的半导体制造设备的控制系统中配置设备的单元的状态控制方法，实时识别设备的单元的状态。由此，能有效控制设备的整个生产能力，其次，能按各设备的工作能力而把加工件分配和送进设备中，以防止加工件集中和累积在设备中。
权利要求
1．在半导体制造设备的控制系统中用于对配置设备的单元的状态进行控制的方法，其特征是，包括以下步骤接收来自对应于所述设备中各设备的设备服务器的所述设备的工作状态数据；确定所述设备中是否有设备出现不正常单元工作状态数据；如果确定某设备出现不正常单元工作状态数据，确定所述某设备的所有单元是否处于不工作状态；如果确定所述某设备的所有单元均处于不工作状态，则阻截下载到所述某设备的所有加工条件数据；和如果确定所述某设备的所有单元不是处于不工作状态，则识别所述某设备的所有单元中处于不工作状态的单元，并阻截下载到处于不工作状态的所述单元的某些加工条件数据。
2．按照权利要求1的方法，其特征是，在阻截下载给所述某设备的全部加工条件数据的步骤之后，或在阻截下载给处于所述不工作状态的所述单元的某些加工条件数据之后，还包括以下步骤把设备单元状态消息下载给所述某设备；和把传送设备控制消息下载给传送设备。
3．按照权利要求2的方法，其特征是，所述设备单元状态消息和所述传送设备控制消息是流函数消息。
全文摘要
一种包括主计算机的预定单元监控模块的半导体制造设备控制系统中配置设备的状态控制方法,通过单元监控模块,实时识别设备的单元工作状态,并控制设备,按各设备的实际工作能力对加工件进行加工。结果,能有效控制设备的整个生产力,并按设备的工作能力把待处理的加工件分配进设备中。
文档编号H01L21/677GK1223457SQ9811673
公开日1999年7月21日 申请日期1998年7月30日 优先权日1998年1月14日
发明者林龙一 申请人:三星电子株式会社