铝电解电容器用电极的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及一种在己二酸锭水溶液中对侣电极进行化学转化的侣电解电容器用 电极的制造方法。
【背景技术】
[000引 目前，在制造侣电解电容器时，利用化学转化处理在通过蚀刻处理扩大了实效表 面积的侣巧的表面形成氧化薄膜（电介质膜），构成阳极。在该种用于侣电解电容器的阳极 中，在形成薄膜耐电压为200V W上的氧化膜的情况下，在纯水中煮沸侣巧后，在棚酸盐、磯 酸盐的水溶液中进行化学转化，并且在化学转化的途中进行加热侣巧的热去极化处理（去 极处理）。另外，提出有在制造薄膜耐电压为200V W上的阳极时，与低压用的阳极同样，也 在己二酸锭水溶液中进行针对侣巧的化学转化，由此提高静电容量（参照专利文献1、2)。
[0003] 另一方面，提出有作为侣电解电容器的阳极，代替进行了蚀刻处理的侣巧，使用将 烧结侣粉体而成的多孔层叠层在侣巧材的表面而得到的多孔性侣电极，利用该种多孔性侣 电极，具有不需要进行使用盐酸等的蚀刻处理该样的优点（参照专利文献3)。另外，若为多 孔性侣电极，则可W形成非常厚的多孔层，并且，成为空隙交错复杂的结构，因此，也具有可 W增大静电容量该样的优点。
[0004] 现有技术文献 [000引专利文献
[0006] 专利文献1 ;日本特开平11-45827号公报
[0007] 专利文献2 ;日本特开平11-45828号公报 [000引专利文献3 ;日本特开2011-52291号公报
【发明内容】
[0009] 发明所要解决的课题
[0010] 然而，在使用上述的多孔性侣电极的情况下，若在己二酸锭水溶液中进行化学转 化，则产生在进行热去极化处理时，附着在多孔性侣电极上的己二酸锭燃烧爆炸，破坏了多 孔层该样的问题。
[0011] 关于该种原因进行了精屯、研究，结果，本申请发明人得到W下的新见解。首先，在 烧结侣粉体而成的多孔层中，空隙交错复杂至深处，因此，该样可得到较高的静电容量，另 一方面，在化学转化时溶出的侣离子W氨氧化侣的形式析出时，容易在多孔层的空隙内封 入有己二酸锭水溶液。因此，在进行热去极化处理时，空隙中所封入的己二酸锭燃烧爆炸， 破坏了多孔层。
[0012] 鉴于W上的问题点，本发明的课题提供一种即使在针对多孔性侣电极的化学转化 中使用己二酸锭水溶液的情况下，也可W防止在热去极化处理时破坏多孔层的侣电解电容 器用电极的制造方法。
[0013] 用于解决课题的方案
[0014] 为了解决上述课题，本发明为一种侣电解电容器用电极的制造方法，其具有：在 纯水中煮沸侣电极的纯水煮沸工序；和在该纯水煮沸工序之后，对上述侣电极进行化学转 化至薄膜耐电压为200V W上的化学转化工序，上述侣电极为将烧结侣粉体而成的多孔层 叠层在侣巧材的表面而得到的多孔性侣电极，在上述化学转化工序中，至少进行在液温为 80°CW下的己二酸锭水溶液中进行化学转化的第一化学转化处理和在该第一化学转化处 理之后、在无机酸系化学转化液中进行化学转化的第二化学转化处理，进行上述第一化学 转化处理W后，最初进行加热上述侣电极的热去极化处理时，在该热去极化处理之前，对上 述多孔性侣电极进行5分钟W上的水清洗处理。
[0015] 在本发明中，由于在纯水中煮沸侣电极后进行化学转化处理，因此能够W较少的 电量形成非常厚的氧化薄膜，由此，可W得到薄膜耐电压高的侣电极。另外，由于侣电极为 将烧结侣粉体而成的多孔层叠层在侣巧材的表面而得到的多孔性侣电极，因此，不需要进 行使用盐酸等的蚀刻处理，并且，可W得到比进行了蚀刻处理的侣电极高的静电容量。另 夕F，在化学转化工序中，进行在己二酸锭水溶液中的第一化学转化处理后，进行在棚酸系、 磯酸系等无机系化学转化液中的第二化学转化处理，因此，可W得到较高的静电容量，并 且，可W降低泄露电流。另外，在第一化学转化处理中，在液温为80°cw下的己二酸锭水溶 液中进行化学转化，因此，可W抑制化学转化时的侣离子的溶出使其较低。因此，不易发生 由于侣离子W氨氧化侣的形式析出而在多孔层的空隙内封闭有己二酸锭水溶液该样的情 况。另外，在进行第一化学转化处理后，最初进行加热侣电极的热去极化处理时，在热去极 化处理之前，对侣电极进行5分钟W上的水清洗处理，因此，可W可靠地从空隙中冲掉己二 酸锭水溶液。因此，可W防止在热去极化处理时己二酸锭在多孔层的空隙内燃烧爆炸，因 此，可W防止破坏多孔层。
[0016] 本发明若在上述多孔层的厚度为150 ym?3000 ym的情况下应用，则特别有效。 多孔层越厚，越能够得到较高的静电容量，另一方面，容易产生在多孔层的空隙内封闭有己 二酸锭水溶液该样的情况，但根据本发明，即使多孔层的厚度为150ym W上，在热去极化 处理时，己二酸锭也不易残留在多孔层的空隙内。因此，可W防止空隙内的己二酸燃烧爆 炸，因此可W防止破坏多孔层。
[0017] 在本发明中，在上述第一化学转化处理中，优选上述己二酸锭水溶液的温度为 30°C?80°C。若己二酸锭水溶液的温度为30°CW上，则可W得到较高的静电容量。
[0018] 在本发明中，在上述第一化学转化处理中，优选上述己二酸锭水溶液中的己二酸 锭的浓度为0. 3重量％?1. 3重量％。
[0019] 在本发明中，上述多孔层优选是通过烧结平均粒径为1 ym?5 ym的侣粉体而得 到的。
[0020] 在本发明中，优选上述热去极化处理中的处理温度为450°C?550°C。若处理温 度低于450°C，则热去极化的效果不充分，因此，无法充分降低泄露电流，另一方面，若超过 550°C，则产生薄膜生长，静电容量降低。
[0021] 在本发明中，优选在上述第一化学转化处理的途中，进行在磯酸水溶液中浸溃上 述侣电极的中间处理。根据该种构成，可W在第一化学转化处理的途中，除去阻塞多孔层的 空隙该样的氨氧化侣，因此，可W防止在热去极化处理时，己二酸锭在多孔层的空隙内燃烧 爆炸。
[00巧发明效果
[0023] 在本发明中，由于在纯水中煮沸侣电极后进行化学转化处理，因此能够W较少的 电量形成非常厚的氧化薄膜。另外，由于侣电极为将烧结侣粉体而成的多孔层叠层在侣巧 材的表面而得到的多孔性侣电极，因此，不需要进行使用盐酸等的蚀刻处理，并且，可W得 到比进行了蚀刻处理的侣电极高的静电容量。另外，在化学转化工序中，进行在己二酸锭水 溶液中的第一化学转化处理后，进行在棚酸系、磯酸系等的无机系化学转化液中的第二化 学转化处理，因此，可W得到较高的静电容量，并且，可W降低泄露电流。另外，在第一化学 转化处理中，在液温为80°CW下的己二酸锭水溶液中进行化学转化，因此，可W抑制化学转 化时的侣离子的溶出使其较低。因此，不易发生由于侣离子W氨氧化侣的形式析出而在多 孔层的空隙内封闭有己二酸锭水溶液该样的情况。另外，在进行第一化学转化处理后，最初 进行加热侣电极的热去极化处理时，在热去极化处理之前，对侣电极进行5分钟W上的水 清洗处理，因此，可W可靠地从空隙中冲掉己二酸锭水溶液。因此，可W防止在热去极化处 理时己二酸锭在多孔层的空隙内燃烧爆炸，因此，可W防止破坏多孔层。
【附图说明】
[0024] 图1是表示应用了本发明的多孔性侣电极的截面结构的说明图。
[0025] 图2是表示应用了本发明的多孔性侣电极的详细结构的说明图。
[0026] 图3是表示应用了本发明的侣电解电容器用电极的制造方法（化学转化方法）的 说明图。
【具体实施方式】
[0027] 在本发明中，在制造侣电解电容器用电极时，代替侣蚀刻巧，使用将烧结侣粉体而 成的多孔层叠层在侣巧材的表面而得到的多孔性侣电极，对该种多孔性侣电极进行化学转 化。下面，对多孔性侣电极的构成进行说明后