一种基座支撑结构以及腔室的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种基座支撑结构以及腔室。
【背景技术】
[0002]在半导体生产过程中，进行各工艺步骤的腔室中经常需要通过基座来承载晶片，同时，在特定的工艺腔室中还可以通过基座对晶片进行精确的温度控制。通常，通过一个贯穿腔室底壁的基座支撑结构对基座进行支撑，由于基座直接承载晶片，因此，支撑基座时的水平度将影响到一些工艺步骤的质量，例如，在气相沉积的工艺步骤中，如果基座的水平度不佳，则会影响到在晶片上所沉积的薄膜的均匀性。
[0003]现有的基座支撑结构如图1所示，波纹管3和波纹管底座4固定连接，波纹管底座3通过螺钉8与腔室主体底壁I固定连接，轴承6通过螺钉9固定在垫环5上，垫环5通过螺钉7固定在腔室主体底壁I的下表面上，升降杆2用于与基座连接以固定基座且升降杆2能够穿过波纹管底座4和轴承6竖直移动。
[0004]在上述现有的基座支撑结构中，由于波纹管底座和轴承分别固定在腔室底壁上，难以精确保证波纹管底座和轴承之间的同轴度，若波纹管和轴承之间的同轴度存在偏差，则会导致升降杆的竖直度存在偏差，从而会进一步影响基座的水平度，同时，升降杆的竖直度偏差容易造成与波纹管的刮擦，导致波纹管的损坏。上述基座支撑结构中，固定波纹管底座的螺钉需要在腔室内安装至腔室底壁上，而腔室内空间较小，不便于进行安装操作。此夕卜，在半导体的制造设备中，腔室的加工较为繁琐，且加工工期较长，上述基座支撑结构需要在腔室底壁上加工多个螺纹孔，进一步增加了腔室加工的复杂度，且上述基座支撑结构安装拆卸较为不便，同时，若有螺纹孔失效，则可能导致整个腔室无法使用，需要重新加工腔室,增加了成本。
【发明内容】
[0005]有鉴于此，本发明的目的在于提供一种基座支撑结构以及腔室，以能够较好的保证基座支撑结构中升降杆的竖直度，并且使得基座支撑结构便于安装或拆卸。
[0006]为实现上述目的，本发明提供一种基座支撑结构，用于支撑腔室中的基座，所述基座支撑结构包括底座、升降杆、轴承部件，所述底座包括上部和形成在所述上部下端面的下部，所述底座的上部的外边缘延伸超过所述底座的下部的外边缘，所述轴承部件和所述底座的下部连接，所述升降杆穿过所述轴承部件和所述底座，以和所述基座相连。
[0007]优选地，还包括卡盘，所述卡盘环绕所述轴承部件设置，且所述卡盘通过紧固件与所述底座的下部固定连接。
[0008]优选地，所述轴承部件包括轴承主体和轴承套，所述轴承主体与所述底座的下部连接，所述轴承套设置在所述轴承主体外，并通过紧固件与所述底座的下部固定连接。
[0009]优选地，所述底座上设置有贯穿所述底座的通孔，所述轴承主体通过所述通孔与所述底座的下部过盈连接。
[0010]优选地，所述轴承部件还包括弹性挡圈，所述弹性挡圈设置在所述轴承套内壁上并位于所述轴承主体下方，用于固定所述轴承主体。
[0011]优选地，所述升降杆的顶端固定设置有上板，所述上板能够与所述基座连接。
[0012]优选地，所述基座支撑结构还包括波纹管，所述波纹管设置在所述升降杆外，且所述波纹管的上部与所述上板固定连接，所述波纹管的下部与所述底座的上部固定连接。
[0013]相应地，本发明还提供一种腔室，所述腔室包括腔室主体，所述腔室还包括上述本发明所提供的基座支撑结构，所述腔室主体的底壁上设置有固定孔，所述底座的下部设置在所述固定孔中，所述底座的上部支撑在所述腔室主体的底壁的上表面上。
[0014]优选地，所述基座支撑结构包括所述卡盘，所述卡盘与所述底座的下部固定连接，使所述卡盘和所述底座的下部卡合在所述固定孔中，以固定所述基座支撑结构。
[0015]优选地，所述底座的上部与所述腔室主体的底壁的上表面之间设置有密封圈。
[0016]优选地，所述底座的下部与所述固定孔侧壁的内表面之间设置有导电线圈。
[0017]上述为对本发明所提供的基座支撑结构和腔室进行的描述，可以看出，本发明通过将轴承部件与底座相连，能够更好地保证轴承部件与底座之间的同轴度，同时，与现有技术相比，本发明中基座支撑结构的安装更加便捷，并且，本发明仅需在腔室底壁上加工一个固定孔而无需加工螺纹孔，避免了现有技术中可能导致的腔室底壁螺纹孔失效而需要重新加工腔室的问题。
【附图说明】
[0018]附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中:
[0019]图1为现有的基座支撑结构不例图；
[0020]图2为本发明所提供的基座支撑结构与腔室底壁连接示例图；
[0021]图3为本发明所提供的基座支撑结构示例图；
[0022]图4为本发明所提供的卡盘示例图。
[0023]附图标记说明
[0024]1、50_腔室主体底壁；2、20_升降杆；3、22_波纹管；4_波纹管底座；5-垫环；6-轴承；7、8、9_螺钉；10_底座；11_底座上部；12_底座下部；13_密封圈；14_导电线圈；21_上板；30_轴承部件；31-轴承主体；32_轴承套；33_弹性挡圈；40_卡盘；41_卡盘上部；42-卡盘下部；43_第一安装孔；60_基座。
【具体实施方式】
[0025]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
[0026]作为本发明的一个方面，提供一种基座支撑结构，用于支撑腔室中的基座，如图2至图4所示，该基座支撑结构可以包括底座10、升降杆20、轴承部件30，其中，底座10可以包括底座上部11和形成在底座上部11下端面的底座下部12，且底座上部11的外边缘延伸超过底座下部12的外边缘，轴承部件30可以和底座下部12连接，升降杆20可以穿过轴承部件30和底座10，以和基座60连接。
[0027]上述结构中，基座支撑结构的底座10和轴承部件30直接相连，与现有技术相比，能够较好的保证底座10和轴承部件30之间的同轴度。并且，在上述结构中，底座上部11的外边缘延伸超过底座下部12的外边缘(例如，当底座采用环形结构时，底座上部11的外径大于底座下部12的外径)，这样，在将该基座支撑结构用于支撑腔室中的基座60时，可以使得底座下部12能够设置在腔室底壁的固定孔中，而底座上部11能够支撑在固定孔周围的腔室底壁的上表面上，以稳定整个基座支撑结构，同时，可以通过轴承部件30与底座下部12的配合以使得轴承部件30和底座下部12能够卡合在腔室底壁的固定孔中，以使整个基座支撑结构更加稳固。
[0028]此外，与现有技术相比，采用上述结构也便于在腔室中进行安装，具体地，可以将升降杆20与基座60连接后，与底座10 —起从腔室内安装在腔室底壁的固定孔上，之后，可以将轴承部件30在腔室外由下至上安装在固定孔中，并使轴承部件30和底座下部12连接，使得轴承部件30和底座下部12卡合在固定孔中以稳定基座支撑结构，最后可以将升降杆与外部升降装置连接以能够支撑基座60。轴承部件30可以通过紧固件从下至上与底座下部12连接，与现有技术相比，采用上述结构，无需在腔室内安装螺钉，减少了安装复杂度。
[0029]更进一步地，该基座支撑结构还可以包括卡盘40，该卡盘40可以环绕轴承部件30设置，且该卡盘40可以通过紧固件与底座下部12固定连接。
[0030]S卩，作为另一种实施方式，同时，也为了能够使的上述基座支撑结构在支撑基座60时更加稳固，可以设置卡盘40，并且该卡盘40与底座下部12连接后，二者相互配合后能够使卡盘40与底座下部12卡合在固定孔中以稳固基座支撑结构。具体地，可以如图4所示，卡盘40可以采用与底座10类似的结构，即，卡盘40可以包括卡盘上部41和卡盘下部42，其中，卡盘下部42的外边缘延伸超过卡盘上部41的外边缘，这样，卡盘上部41能够设置在腔室底壁的固定孔中并与底座下部12连接，并且和底座下部12卡合在固定孔中，而卡盘下部42能够支撑在固定孔周围的腔室底壁的下表面上，以使整个基座支撑结构更加稳固。
[0031]具体地，卡盘40上可以设置有第一安装孔43，底座下部12上可以设置有第二安装孔，卡盘40可以通过第一安装孔43和第二安装孔并利用紧固件与底座的下部固定连接，可以如图4所示，第一安装孔43可以设置在卡盘上部41上。
[0032]采用上述结构，无需对轴承部件30做特殊的加工以将轴承部件30和底座下部12卡合在固定孔中，而能够通过单独设置的卡盘40来和底座下部12卡合在固定孔中。实际安装时，可以将底座10、轴承部件30、升降杆20和基座60按对应关系连接后，从腔室内安装在固定孔中，之后在腔室外由下至