一种柔性oled显示器及其制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体器件领域，特别是一种柔性OLED显示器及其制造方法。
【背景技术】
[0002]与诸多显示器相比，OLED显示器具有主动发光、高对比度、无视角限制等诸多优点，尤其是柔性OLED显示器，其优势更明显。柔性OLED显示器不仅在体积上更加轻薄，功耗上也低于原有器件，有助于提升设备的续航能力，同时基于其可弯曲、柔韧性佳的特性，其耐用程度也大大高于以往屏幕，降低设备意外损伤的概率。因此，柔性OLED显示器现已被广泛应用于显示技术领域。
[0003]请参见图1，其示出了现有技术中的一种柔性OLED显示器的纵截面结构示意图。如图1所示，OLED显示器包括柔性衬底1’、薄膜晶体管阵列2’、有机发光二极管器件3’以及薄膜封装层4’。其中，薄膜晶体管阵列2’设置于柔性衬底I’上；有机发光二极管器件3’设置于薄膜晶体管阵列2’上；薄膜封装层4’设置于有机发光二极管器件3’上。
[0004]由于有机发光二极管器件3’对水蒸汽和氧气都比较敏感，而与玻璃衬底相比，大部分柔性衬底I’的水、氧渗透率都比较高。如图1所示，水蒸汽和氧气可以从柔性OLED显示器的底部以及四周渗透进入柔性OLED显示器内，当水蒸汽和氧气进入柔性OLED显示器内接触有机发光二极管器件3’时，会影响有机发光二极管器件3’的阳极与发光层之间的粘附性，同时会使柔性OLED显示器内的各种有机膜层内发生化学反应。这些都会导致柔性OLED器件的光电特性急剧衰退，并且造成柔性OLED器件的老化、失效。
【发明内容】
[0005]针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种柔性OLED显示器及其制造方法，该柔性OLED显示器可以保证有机发光二极管器件的光电特性，并且提高有机发光二极管器件的寿命。
[0006]根据本发明的一个方面提供一种柔性OLED显示器，其包括:柔性衬底；薄膜晶体管阵列，设置于所述柔性衬底上；有机发光二极管器件，设置于所述薄膜晶体管阵列上；第一封装层，设置于所述有机发光二极管器件上；第二封装层，设置于所述柔性衬底下方；第三封装层，对所述第一封装层至第二封装层的外周进行侧封装，其与所述第一封装层以及第二封装层配合形成一密封空间，将所述柔性衬底、薄膜晶体管阵列以及有机发光二极管器件密封于所述密封空间内。
[0007]优选地，所述第一封装层、第二封装层以及第三封装层均为S1x薄膜、SiNx薄膜或者A1203薄膜中任一种或多种复合形成。
[0008]优选地，所述第一封装层的厚度为30nm?200nm。
[0009]优选地，所述第二封装层的厚度为30nm?200nm。
[0010]优选地，所述第三封装层的厚度为30nm?200nm。
[0011]优选地，所述柔性OLED显示器还包括保护层，所述保护层设置于所述第一封装层上。
[0012]优选地，所述保护层由软性塑料形成。
[0013]优选地，所述保护层的厚度为0.05mm?0.5mm。
[0014]优选地，所述柔性衬底由聚酰亚胺材料形成。
[0015]优选地，所述第二封装层和所述第三封装层为一体成型。
[0016]根据本发明的另一个方面，还提供一种如上述的柔性OLED显示器的制造方法，其包括如下步骤:在一基板上形成一柔性衬底；在所述柔性衬底上制作薄膜晶体管阵列；在所述薄膜晶体管阵列上制作有机发光二极管器件；在所述有机发光二极管器件上形成第一封装层；对所述基板进行裁切形成多个面板单元；将所述面板单元进行翻转，并剥离所述面板单元上的基板；在所述柔性衬底的底部形成第二封装层；对所述第一封装层至第二封装层的外周侧封装形成第三封装层，其与所述第一封装层以及第二封装层配合形成一密封空间，将所述柔性衬底、薄膜晶体管阵列以及有机发光二极管器件密封于所述密封空间内，形成柔性OLED显示器。
[0017]优选地，在将所述面板单元进行翻转之前在所述第一封装层的上方贴附保护膜。
[0018]优选地，在形成所述第二封装层的同时在所述保护膜上形成所述第三封装层。
[0019]相比于现有技术，本发明实施例提供的柔性OLED显示器通过第一封装层、第二封装层以及第三封装层形成一密封空间，柔性衬底、薄膜晶体管阵列以及有机发光二极管器件被密封于该密封空间内，避免现有技术中的柔性OLED显示器存在的水蒸汽和氧气从柔性OLED显示器的底面以及四周渗透进入柔性OLED显示器内，使有机发光二极管器件的阳极与发光层之间的粘附性受到影响、柔性OLED显示器内的各种有机膜层内发生化学反应等问题，保证了有机发光二极管器件的光电特性，提高了有机发光二极管器件的寿命。
【附图说明】
[0020]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
[0021]图1为现有技术中的一种柔性OLED显示器的纵截面结构示意图；
[0022]图2为本发明的柔性OLED显示器的纵截面结构示意图；
[0023]图3为本发明的柔性OLED显示器的制造方法的流程图；
[0024]图4为本发明的柔性OLED显示器制造过程中在基板上形成柔性衬底后的纵截面结构示意图；
[0025]图5为本发明的柔性OLED显示器制造过程中在柔性衬底上制作薄膜晶体管阵列后的纵截面结构示意图；
[0026]图6为本发明的柔性OLED显示器制造过程中在薄膜晶体管阵列上制作有机发光二极管器件后的纵截面结构示意图；
[0027]图7为本发明的柔性OLED显示器制造过程中在有机发光二极管器件上形成第一封装层后的纵截面结构示意图；
[0028]图8为本发明的柔性OLED显示器制造过程中经裁切形成多个面板单元，并且在面板单元的第一封装层的上方贴附保护膜后的纵截面结构示意图；
[0029]图9为本发明的柔性OLED显示器制造过程中将面板单元进行翻转，并剥离基板后的纵截面结构示意图；以及
[0030]图10为本发明的柔性OLED显示器制造过程中在柔性衬底的底部形成第二封装层后的纵截面结构示意图。
【具体实施方式】
[0031]依据本发明主旨构思，所述柔性OLED显示器包括:柔性衬底；薄膜晶体管阵列，设置于所述柔性衬底上；有机发光二极管器件，设置于所述薄膜晶体管阵列上；第一封装层，设置于所述有机发光二极管器件上；第二封装层，设置于所述柔性衬底下方；第三封装层，对所述第一封装层至第二封装层的外周进行侧封装，其与所述第一封装层以及第二封装层配合形成一密封空间，将所述柔性衬底、薄膜晶体管阵列以及有机发光二极管器件密封于所述密封空间内。
[0032]下面结合附图和实施例对本发明的技术内容进行进一步地说明。
[0033]请参见图2，其示出了本发明的柔性OLED显示器的纵截面结构示意图。如图2所示，在本发明的优选实施例中，所述柔性OLED显示器包括柔性衬底1、薄膜晶体管阵列2、有机发光二极管器件3、第一封装层4、第二封装层5、第三封装层6以及保护膜7。
[0034]柔性衬底I优选地由聚酰亚胺材料形成。柔性衬底I的横截面优选地呈矩形。
[0035]薄膜晶体管阵列2设置于柔性衬底I上。薄膜晶体管阵列2由多个薄膜晶体管组成，每个薄膜晶体管均设置于柔性OLED显示器的像素区。薄膜晶体管阵列2用于驱动有机发光二极管器件3。
[0036]有机发光二极管器件3设置于薄膜晶体管阵列2上，位于柔性OLED显示器的像素区。有机发光二极管器件3包括阳极、发光层以及阴极等，并且有机发光二极管器件3可以是顶发射结构或者底发射结构。
[0037]第一封装层4设置于有机发光二极管器件3上，并且覆盖有机发光二极管器件3。第一封装层4的横截面面积大于或等于柔性衬底I的横截面面积。第一封装层4的厚度优选地为30nm?200nm。第一封装层4为S1x薄膜、SiNx薄膜或者A1203薄膜中任一种或多种复合形成，第一封装层4通过气相沉积(例如蒸镀)的方式形成于有机发光二极管器件3上。
[0038]第二封装层5设置于柔性衬底I的下方。第二封装层5的横截面面积大于或等于柔性衬底I的横截面面积，其与第一封装层4的横截面面积大致相同。第二封装层5的厚度优选地为30nm?200nm。第二封装层5为S1x薄膜、SiNx薄膜或者A1203薄膜中任一种或多种复合形成，第二封装层5通过气相沉积(例如蒸镀)的方式形成于柔性衬底I的底部。
[0039]第三封装层6对第一封装层4至第二封装层5的外周进行侧封装，其与第一封装层4以及第二封装层5配合形成一密封空间，将柔性衬底1、薄膜晶体管阵列2以及有机发光二极管器件3密封于该密封空间内。具体地，如图2所示，由于第一封装层4和第二封装层5的横截面面积大致相同，且第一封装层4对应位于第二封装层5的上方，因此，第三封装层6可以围绕第一封装层4以及第二封装层5的外周设