br>[0176]C接收部
[0177]CTL控制部
[0178]D切断部
[0179]E清洗部
[0180]Μ 电机
[0181]ΜΙ单片化物品的制造装置
【主权项】
1.一种单片化物品的移送方法，利用具有多个吸附垫的移送机构，将通过切断对象物从而被单片化的单片化物品移送到容器中，其特征在于，包括: 使用开闭阀，来关闭能够连接有与所述多个吸附垫分别具有的开口分别相连的多个个别配管并与加压源相连的加压系配管的工序； 使用对被连接于吸引源的吸引系配管与所述加压系配管进行切换的多个切换阀，来连接所述多个个别配管与所述加压系配管的工序； 读出用于确定所述多个吸附垫之中的对所述单片化物品进行吸附的运转垫的运转垫信息的工序； 通过使用所述多个切换阀之中的与由和所述运转垫相连的所述个别配管构成的运转个别配管相连的运转切换阀，来连接所述运转个别配管与所述吸引系配管，从而在所述运转垫中对所述单片化物品进行吸附的工序； 使用所述移送机构，来将所述单片化物品运送至所述容器的上方为止的工序； 使用所述运转切换阀，来将所述运转个别配管与所述吸引系配管遮断，并将所述运转个别配管与所述加压系配管连接的工序；以及 通过使用所述开闭阀按规定的喷射时间打开所述加压系配管，从而依次经由所述加压源、所述加压系配管、所述运转个别配管和所述运转垫所具有的所述开口，对所述单片化物品按所述规定的喷射时间喷射高压气体，用以朝向所述容器吹走所述单片化物品的工序，在读出所述运转垫信息的工序之后，进一步包括: 根据所述运转垫信息，计算出所述运转垫的数量的工序；以及 按照所述运转垫的数量，对所述喷射时间进行确定的工序， 在所述进行确定的工序中，当所述运转垫的数量多时，延长所述喷射时间，当所述运转垫的数量少时，缩短所述喷射时间。2.根据权利要求1所述的单片化物品的移送方法，其特征在于，包括: 对在所述多个吸附垫之中的包含一个的少数个中吸附了所述单片化物品时的适当的第一喷射时间进行存储的工序；以及 对在所述多个吸附垫之中的包含所有个的多数个中吸附了所述单片化物品时的适当的第二喷射时间进行存储的工序， 在所述进行确定的工序中，作为所述规定的喷射时间，根据所述第一喷射时间和所述第二喷射时间，计算出在所述多个吸附垫之中的所述运转垫的数量下吸附了所述单片化物品时的适当的第三喷射时间并进行确定。3.根据权利要求2所述的单片化物品的移送方法，其特征在于， 所述第一喷射时间是作为在所述少数个中吸附了所述单片化物品时的适当的喷射时间，根据实测值而预先获得的时间， 所述第二喷射时间是作为在所述多数个中吸附了所述单片化物品时的适当的喷射时间，根据实测值而预先获得的时间。4.一种单片化物品的制造方法，具有切断对象物的工序，其特征在于，包括: 使用开闭阀，来关闭能够连接有与多个吸附垫分别具有的开口分别相连的多个个别配管并与加压源相连的加压系配管的工序； 使用对被连接于吸引源的吸引系配管与所述加压系配管进行切换的多个切换阀，来连接所述多个个别配管与所述加压系配管的工序； 读出用于确定所述多个吸附垫之中的对所述单片化物品进行吸附的运转垫的运转垫信息的工序； 通过使用所述多个切换阀之中的与由和所述运转垫相连的所述个别配管构成的运转个别配管相连的运转切换阀，来连接所述运转个别配管与所述吸引系配管，从而在所述运转垫中对所述单片化物品进行吸附的工序； 使用移送机构，来将所述单片化物品运送至容器的上方为止的工序； 使用所述运转切换阀，来将所述运转个别配管与所述吸引系配管遮断，并将所述运转个别配管与所述加压系配管连接的工序；以及 通过使用所述开闭阀按规定的喷射时间打开所述加压系配管，从而依次经由所述加压源、所述加压系配管、所述运转个别配管和所述运转垫所具有的所述开口，对所述单片化物品按所述规定的喷射时间喷射高压气体，用以朝向所述容器吹走所述单片化物品的工序，在读出所述运转垫信息的工序之后，进一步包括: 根据所述运转垫信息，计算出所述运转垫的数量的工序；以及 按照所述运转垫的数量，对所述喷射时间进行确定的工序， 在所述进行确定的工序中，当所述运转垫的数量多时，延长所述喷射时间，当所述运转垫的数量少时，缩短所述喷射时间。5.根据权利要求4所述的单片化物品的制造方法，其特征在于，包括: 对在所述多个吸附垫之中的包含一个的少数个中吸附了所述单片化物品时的适当的第一喷射时间进行存储的工序；以及 对在所述多个吸附垫之中的包含所有个的多数个中吸附了所述单片化物品时的适当的第二喷射时间进行存储的工序， 在所述进行确定的工序中，作为所述规定的喷射时间，根据所述第一喷射时间和所述第二喷射时间，计算出在所述多个吸附垫之中的所述运转垫的数量下吸附了所述单片化物品时的适当的第三喷射时间并进行确定。6.根据权利要求5所述的单片化物品的制造方法，其特征在于， 所述第一喷射时间是作为在所述少数个中吸附了所述单片化物品时的适当的喷射时间，根据实测值而预先获得的时间， 所述第二喷射时间是作为在所述多数个中吸附了所述单片化物品时的适当的喷射时间，根据实测值而预先获得的时间。7.一种单片化物品的制造装置，具备:切断单元、以及移送机构，将通过使用所述切断单元来切断对象物从而被单片化的单片化物品移送到容器中，其特征在于，具备: 吸引源，用于吸附所述单片化物品； 吸引系配管，与所述吸引源连接； 多个吸附垫，设置于所述移送机构，用于分别吸附多个所述单片化物品； 多个开口，分别被形成于所述多个吸附垫； 多个个别配管，设置于所述移送机构，与所述多个开口分别连接； 加压源，用于通过对所述多个个别配管供给高压气体来对所述单片化物品进行加压，从而将所述单片化物品从所述多个吸附垫吹走； 加压系配管，与所述加压源连接； 开闭阀，设置于所述加压系配管，对所述加压系配管进行开闭； 多个切换阀，分别设置于所述多个个别配管，将所述多个个别配管中的每一个与所述吸引系配管连接，或者将所述多个个别配管中的每一个与所述加压系配管连接；以及 控制部，至少对所述开闭阀和所述多个切换阀进行控制， 所述控制部至少如下所示对所述开闭阀和所述多个切换阀进行控制， (1)吸附所述单片化物品时 (a)使用所述开闭阀来关闭所述加压系配管， (b)读出用于确定所述多个吸附垫之中的对所述单片化物品进行吸附的运转垫的运转垫信息， (c)通过使用所述多个切换阀之中的运转切换阀来连接所述运转个别配管与所述吸引系配管，从而在所述运转垫中吸附所述单片化物品，其中所述运转切换阀被设置于由与所述运转垫所具有的所述开口相连通的所述个别配管构成的运转个别配管， (2)将所述单片化物品移载到容器中时 (a)根据所述运转垫信息，计算出所述运转垫的数量， (b)按照所述运转垫的数量，当所述运转垫的数量多时，延长对所述单片化物品喷射所述高压气体的喷射时间，当所述运转垫的数量少时缩短所述喷射时间，来对规定的喷射时间进行确定， (c)使用所述运转切换阀，来遮断所述运转个别配管与所述吸引系配管，并连接所述运转个别配管与所述加压系配管， (d)通过使用所述开闭阀按所述规定的喷射时间打开所述加压系配管，从而依次经由所述加压源、所述加压系配管、所述运转个别配管和所述运转垫所具有的所述开口，对所述单片化物品按所述规定的喷射时间喷射高压气体，用以朝向所述容器吹走所述单片化物品Ο8.根据权利要求7所述的单片化物品的制造装置，其特征在于， 所述控制部如下所示对所述规定的喷射时间进行确定， (a)对在所述多个吸附垫之中的包含一个的少数个中吸附了所述单片化物品时的适当的第一喷射时间进行存储， (b)对在所述多个吸附垫之中的包含所有个的多数个中吸附了所述单片化物品时的适当的第二喷射时间进行存储， (c)作为所述规定的喷射时间，根据所述第一喷射时间和所述第二喷射时间，计算出在所述多个吸附垫之中的所述运转垫的数量下吸附了所述单片化物品时的适当的第三喷射时间并进行确定。9.根据权利要求8所述的单片化物品的制造装置，其特征在于， 所述第一喷射时间是作为在所述少数个中吸附了所述单片化物品时的适当的喷射时间，根据实测值而预先获得的时间， 所述第二喷射时间是作为在所述多数个中吸附了所述单片化物品时的适当的喷射时间，根据实测值而预先获得的时间。
【专利摘要】本发明公开一种单片化物品的移送方法、制造方法及制造装置。在将单片化物品移送于容器的工序中，抑制已收容于容器的单片化物品被真空破坏用的高压气体吹走。使用开闭阀(35)按规定的喷射时间打开各加压系配管(33)，由此依次经由加压源(19)、加压系配管、运转切换阀(30op)、运转个别配管(26op)和运转垫(28op)具有的开口(27)对电子部件(单片化物品)(24)按规定的喷射时间喷射高压气体，以向托盘(15)吹走电子部件。按照根据读出的运转垫信息而算出的运转垫的数量来确定喷射时间。当运转垫的数量多时延长喷射时间，当运转垫的数量少时缩短喷射时间。据此能够抑制已收容于容器的单片化物品被高压气体吹走。
【IPC分类】H01L21/78, H01L21/67, H01L21/683, H01L21/677
【公开号】CN105304542
【申请号】CN201510319500
【发明人】今井一郎, 渡边创
【申请人】东和株式会社
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年6月11日