第一方法步骤120中，检测第一信号路径。在第二方法步骤121中，检测第二信号路径6。对于第二信号路径6，选择多个选择点125a、125b、125c、125d、125e。在当前情况下这些点的时间间隔是等间距的。这并不是绝对必要的。也不必选择第二信号路径6的每个样本点。可以选择每十个或每一百个或每一千个样本点。在高精确度与识别信号的生成的速度之间必须找到良好的平衡。在第三方法步骤121中，几何构件126a至126e位于每个选择点125a、125b、125c、125d、125e周围，并且表示最小时间差距离23和最小信号振幅差距离20。这例如可以是长方形的或者如在当前情况下是椭圆形的。几何构件126在时间方向上的尺寸是最小时间差距离23的两倍，并且在振幅方向上的尺寸是最小信号振幅差距离20的两倍。在几何构件126不再包括第一信号路径2的部分的选择点125e处，识别出第二信号路径6离第一信号路径2至少上述距离的偏离的确定。
[0148]被设计用于通过将最小时间差和最小信号振幅差结合在一起来确定距离的距离确定装置，因此可以被设计为通过将最小时间差和最小信号振幅差矢量相加来建立这种结入口 ο
【主权项】
1.一种用于监测等离子体处理部中的放电的监测装置(7)，具体而言，一种用于监测在阴极溅射器件(13)的电极(11，12)之间的放电的监测装置(7)，电力发生器(14)利用所述电力发生器的周期性变化的输出信号(19)向所述等离子体处理部供给功率，其中，所述监测装置(7)具有: a.信号检测装置(8)，所述信号检测装置(8)用于检测至少一个等离子体源信号(19)的在所述等离子体源信号(19)的至少一个周期内的至少第一时间范围内的至少第一信号路径⑵， b.信号检测装置(8)，所述信号检测装置(8)用于检测至少一个等离子体源信号(19)的在所述等离子体源信号(19)的至少另外一个周期中的至少第二时间范围内的至少第二信号路径(6)，所述第二时间范围位于与所述第一时间范围相对应的点处，以及 c.识别信号发生装置(17)，所述识别信号发生装置(17)被配置为如果所述第二信号路径偏离所述第一信号路径至少一距离，那么生成识别信号(5)，其中，所述识别信号发生装置具有距离确定装置，所述距离确定装置被配置为通过结合最小时间差(22)和最小信号振幅差(21)来确定所述距离。2.—种用于监测等离子体处理部中的放电的监测装置(7)，具体而言，一种用于监测在阴极溅射器件(13)的电极(11，12)之间的放电的监测装置(7)，电力发生器(14)利用所述电力发生器的周期性变化的输出信号(19)向所述等离子体处理部供给功率，其中，所述监测装置(7)具有: a.信号检测装置(8)，所述信号检测装置(8)用于检测至少一个等离子体源信号(19)的在所述等离子体源信号(19)的至少一个周期内的至少第一时间范围内的至少第一信号路径⑵， b.信号检测装置(8)，所述信号检测装置(8)用于检测等离子体源信号(19)的在所述等离子体源信号(19)的至少另外一个周期中的至少第二时间范围内的至少第二信号路径(6)，所述第二时间范围位于与所述第一时间范围相对应的点处，以及 c.识别信号发生装置(17)，所述识别信号发生装置(17)被配置为借助于阈值线确定装置根据所述第一信号路径(2)来确定阈值线(3)，并且当所述第二信号路径达到所述阈值线时生成识别信号，其中，所述阈值线确定装置被配置为将最小时间差(22)和最小信号振幅差(21)加到所述第一信号路径，以便确定所述阈值线。3.根据权利要求1所述的监测装置(7)，其中，所述距离确定装置被设计为使得所述距离具有所述最小时间差(22)作为在时间方向上与所述第一信号路径(2)的最小距离，并且具有所述最小信号振幅差(21)作为在信号振幅方向上与所述第一信号路径(2)的最小距离。4.根据权利要求2所述的监测装置(7)，其中，阈值线确定装置被设计为使得所述阈值线(3)具有所述最小时间差(22)作为在时间方向上与所述第一信号路径(2)的最小距离，并且具有所述最小信号振幅差(21)作为在信号振幅方向上与所述第一信号路径(2)的最小距离。5.根据权利要求1至4中任一项所述的监测装置(7)，其中，所述监测装置(7)具有用于指定所述最小时间差(22)和所述最小信号振幅差(21)的输入界面，或者具有用于指定用于确定流动间隔的值的输入界面。6.—种用于监测等离子体处理部中的放电的方法，具体而言，一种用于监测在阴极溅射器件(13)的电极之间的放电的方法，电力发生器(14)利用所述电力发生器的周期性变化的输出信号向所述等离子体处理部供给功率，所述方法包括以下方法步骤: a.检测至少一个等离子体源信号(19)的在所述等离子体源信号(19)的至少一个周期内的至少第一时间范围内的至少第一信号路径(2)， b.检测至少一个等离子体源信号(19)的在所述等离子体源信号(19)的至少另外一个周期中的至少第二时间范围内的至少第二信号路径(6)，所述第二时间范围位于与所述第一时间范围相对应的点处， c.如果所述第二信号路径(6)偏离所述第一信号路径至少一距离，那么生成识别信号，其中，所述距离具有最小时间差(22)和最小信号振幅差(21)。7.—种用于监测等离子体处理部中的放电的方法，具体而言，一种用于监测在阴极溅射器件(13)的电极之间的放电的方法，电力发生器(14)利用所述电力发生器的周期性变化的输出信号向所述等离子体处理部供给功率，所述方法包括以下方法步骤: a.检测等离子体源信号(19)的在所述等离子体源信号(19)的至少一个周期内的至少第一时间范围内的至少第一信号路径(2)， b.检测至少一个等离子体源信号(19)的在所述等离子体源信号(19)的至少另外一个周期中的至少第二时间范围内的至少第二信号路径(6)，所述第二时间范围位于与所述第一时间范围相对应的点处， c.根据所述第一信号路径(2)确定阈值线(3)， d.如果所述第二信号路径(6)达到所述阈值线(3)，那么生成识别信号，其中，通过将最小时间差(22)和最小信号振幅差(21)两者都加到所述第一信号路径(2)来确定所述阈值线。8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，通过将所述最小时间差(22)和所述最小信号振幅差(21)加到所述第一信号路径(2)和/或从所述第一信号路径(2)中减去所述最小时间差(22)和所述最小信号振幅差(21)，来执行对所述距离或所述阈值线(3)的确定。9.根据权利要求6至8中任一项所述的方法，其中，通过执行一计算来执行对所述距离或所述阈值线(3)的确定，所述计算以在时间方向上的距离为至少所述最小时间差(22)并且在信号振幅方向上的距离为至少所述最小信号振幅差(21)的方式、根据第一信号路径(2)、最小时间差(22)和最小彳目号振幅差(21)来执行。10.根据权利要求6至9中任一项所述的方法，其中，所述最小时间差(22)和所述最小信号振幅差(21)可以由用户预先确定。11.一种具有电力发生器(14)的等离子体处理系统(I)，所述电力发生器(14)被配置为利用所述电力发生器(14)的周期性变化的输出信号向等离子体处理部供给功率，所述等离子体处理系统具有根据权利要求1至6中的一项权利要求所述的监测装置(7)。12.根据权利要求11所述的等离子体处理系统(I)，其中，所述电力发生器(14)是自激MF发生器。13.根据权利要求11或12所述的等离子体处理系统(I)，其中，所述电力发生器(14)具有用于产生交变电压的桥接电路(70)。14.根据权利要求11至13中任一项权利要求所述的等离子体处理系统(I)，包括信号检测装置(8)，所述信号检测装置(8)适用于利用相应的测量数据检测装置(91，90)测量在所述等离子体处理部的所述两个电极(11，12)中的每个电极处的相对于参考地(92)的电压。15.根据权利要求1至6中任一项权利要求所述的监测装置(7)，其中，所述信号检测装置(8)具有模拟-数字转换器(ABC)，所述模拟-数字转换器(ABC)具有2兆样本/s的时间分辨率以及I 8位的振幅分辨率，特别地所述时间分辨率I 40兆样本/s，优选地所述时间分辨率I 80兆样本/s，特别地所述振幅分辨率I 10位，优选地所述振幅分辨率I 12位，特别优选地所述振幅分辨率14位。16.根据权利要求1至6或权利要求15中任一项权利要求所述的监测装置(7)，其中，所述识别信号发生装置(17)容纳在可编程逻辑组件(PLD)中。
【专利摘要】本发明涉及用于监测等离子体处理部中的放电的装置和方法，具体而言，涉及用于监测阴极溅射器件(13)的电极之间的放电的装置和方法，电力发生器利用电力发生器的周期性变化的输出信号向等离子体处理部供给功率，具有以下步骤：a.检测至少一个等离子体源信号(19)的在等离子体源信号的至少一个周期内的至少第一时间范围内的至少第一信号路径(2)，b.检测至少一个等离子体源信号(19)的在等离子体源信号的至少另外一个周期中的至少第二时间范围内的至少第二信号路径(6)，该第二时间范围位于与第一时间范围相对应的点处，c.如果第二信号路径偏离第一信号路径至少一距离，那么生成识别信号，其中，所述距离具有最小时间差(22)和最小信号振幅差(21)。特别地，由此可以以非常可靠和非常快速的方式识别电弧。
【IPC分类】H01J37/32
【公开号】CN105637611
【申请号】CN201480054484
【发明人】D·莱波尔德, U·里希特, F·文恩
【申请人】通快许廷格两合公司
【公开日】2016年6月1日
【申请日】2014年9月30日
【公告号】DE102013110883B3, WO2015049213A1